光学镜片防尘系统以及激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种光学镜片防尘系统，包括用以支撑固定光学镜片的支撑体，支撑体上设有进气通道和出气通道；进气通道外侧设有气体吹扫源；气体吹扫源穿过进气通道在光学镜片上表面和下表面形成气流；光学镜片上表面和下表面的气流穿过出气通道流出。上述光学镜片防尘系统，在光学镜片的上表面和下表面均形成气流。当光学镜片的上表面有微尘落下时，光学镜片上表面的气流将微尘吹扫至出气通道，并流出。当有微尘接近光学镜片的下表面时，光学镜片下表面的气流将微尘吹扫至出气通道，并流出。从而有效避免了微尘粘附在光学镜片的表面，降低光学镜片的保养频率，提高光学镜片的使用寿命。本实用新型专利技术还提供一种激光加工装置。

Optical lens dust-proof system and laser processing equipment

The utility model relates to an optical lens dust-proof system, which comprises a support for fixing the optical lens, an air inlet channel and an air outlet channel are arranged on the support body, a gas purge source is arranged on the outer side of the air inlet channel, a gas purge source passes through the air inlet channel to form airflow on the upper surface and the lower surface of the optical lens, and an air flow on the upper surface and the lower surface of the optical lens passes through the air outlet channel. The dust-proof system of the optical lens above forms airflow on both the upper and lower surfaces of the optical lens. When the dust falls on the upper surface of the optical lens, the air flow on the upper surface of the optical lens sweeps the dust into the outlet channel and flows out. When the dust is near the lower surface of the optical lens, the air flow on the lower surface of the optical lens sweeps the dust into the outlet channel and flows out. Thus, dust can be effectively avoided from adhering to the surface of optical lenses, the maintenance frequency of optical lenses can be reduced, and the service life of optical lenses can be improved. The utility model also provides a laser processing device.

【技术实现步骤摘要】
光学镜片防尘系统以及激光加工装置
本技术涉及激光技术应用领域，特别是涉及一种光学镜片防尘系统以及激光加工装置。
技术介绍
激光由于其强度大、亮度大、波长频率确定、单色性好、相干性好、相干长度长、方向性好等特点，在工业加工领域得到了广泛的应用。激光加工为非接触加工，工件无受力变形，热变形小，加工精度高。激光可通过透明材料作用在工件上。一般的，激光穿过透明的光学玻璃作用在工件上。然而，在激光加工装置不工作时，环境中的微尘会掉落并粘附在光学玻璃的上表面；激光加工装置工作时，工艺腔室内工艺过程中产生的微尘会粘附在光学玻璃的下表面。在激光的照射下，粘附在光学玻璃上表面和下表面的微尘容易与光学镜片的表面的涂层粘黏在一起，难以清除，影响光学玻璃的光学品质和色差，进而影响激光加工的品质。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够有效避免灰尘粘附在光学镜片表面的光学镜片防尘系统。一种光学镜片防尘系统，包括用以支撑固定光学镜片的支撑体，所述支撑体上设有进气通道和出气通道；所述进气通道外侧设有气体吹扫源；气体吹扫源穿过所述进气通道在光学镜片上表面和下表面形成气流；光学镜片上表面和下表面的气流穿过所述出气通道流出。上述光学镜片防尘系统，在光学镜片的上表面和下表面均形成气流。当光学镜片的上表面有微尘落下时，光学镜片上表面的气流将微尘吹扫至出气通道，并流出。当有微尘接近光学镜片的下表面时，光学镜片下表面的气流将微尘吹扫至出气通道，并流出。从而有效避免了微尘粘附在光学镜片的表面，降低光学镜片的保养频率，提高光学镜片的使用寿命。在其中一个实施例中，所述进气通道和所述出气通道分别位于所述支撑体的相对的两端。在其中一个实施例中，所述支撑体具有用以放置光学镜片的承载面，所述进气通道包括分居在所述承载面的上下两侧的第一进气子通道和第二进气子通道，所述出气通道包括分居在所述承载面的上下两侧的第一出气子通道和第二出气子通道。在其中一个实施例中，所述进气通道还包括固定设于所述支撑体上的进气管，所述进气管与气体吹扫源、所述第一进气子通道以及所述第二进气子通道均相连通；所述出气通道还包括固定设于所述支撑体上的出气管，所述出气管与第一出气子通道和所述第二出气子通道均相连通。在其中一个实施例中，所述进气管包括主体段和转向段，所述转向段位于靠近所述第一进气子通道和所述第二进气子通道的一侧，所述转向段在垂直于光学镜片方向的宽度大于所述主体段在该方向上的宽度；所述转向段的长度小于3毫米。在其中一个实施例中，所述气体吹扫源为纯度为99.999％的氮气。在其中一个实施例中，还包括设于所述出气通道外侧的吸附源，用以吸附经所述出气通道流出的气流。在其中一个实施例中，还包括设于工艺腔室内的排气装置，用以排除工艺腔室内工艺过程中产生的灰尘。在其中一个实施例中，所述吸附源的吸附压力小于所述排气装置的排气压力。本技术还提供一种激光加工装置。一种激光加工装置，其特征在于，包括：工艺腔室，所述工艺腔室一侧设有窗口；本技术提供的光学镜片防尘系统，固定设于所述窗口处；光学镜片，支撑固定于支撑体上；激光发射单元，设于所述工艺腔室外侧，所述激光发射单元发射的激光束穿过在所述光学镜片和所述窗口照射在所述工艺腔室内的工件上。上述激光加工装置，包含了本技术提供的光学镜片防尘系统，有效避免了微尘粘附光学镜片的表面，从而降低光学镜片的保养频率，提高光学镜片的使用寿命。附图说明图1为本技术一实施例的光学镜片防尘系统的截面示意图。图2为将光学镜片装至图1所示光学镜片防尘系统的截面示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1至图2所示，为本技术一实施例提供的光学镜片防尘系统100，包括用以支撑固定光学镜片200的支撑体110。支撑体110上设有进气通道130，和出气通道150。进气通道130外侧设有气体吹扫源。气体吹扫源穿过进气通道130在光学镜片200的上表面和下表面形成气流；光学镜片200的上表面和下表面的气流穿过出气通道150流出。当光学镜片200的上表面有微尘落下时，光学镜片200上表面的气流将微尘吹扫至出气通道150，并流出。当有微尘接近光学镜片200的下表面时，光学镜片200下表面的气流将微尘吹扫至出气通道150，并流出。从而有效避免了微尘粘附在光学镜片200的表面，从而降低光学镜片200的保养频率，提高光学镜片200的使用寿命。具体的，本实施例中，支撑体110具有用以放置光学镜片200的承载面111。进气通道130包括分居在承载面111上下两侧的第一进气子通道131和第二进气子通道133。气体吹扫源穿过第一进气子通道131，在光学镜片200上表面形成气流；气体吹扫源穿过第二进气子通道133，在光学镜片200下表面形成气流。优选的，第一进气子通道131位于光学镜片200上表面的上侧；第二进气子通道133位于光学镜片200下表面的下侧。从而避免气流流向光学镜片200的侧面，损伤光学镜片200。同样的，出气通道150包括分居在承载面111上下两侧的第一出气子通道151和第二出气子通道153。光学镜片200上表面的气流穿过第一出气子通道151流出。光学镜片200下表面的气流穿过第二出气子通道153流出。优选的，本实施例中，进气通道130还包括固定设于支撑体110上的进气管135。进气管135与气体吹扫源、第一进气子通道131以及第二进气子通道133均相连通。如此，如此可仅向一个进气管提供气体吹扫源即可。同样的，出气通道150还包括固定设于支撑体110上的出气管155。出气管155与第一出气子通道151和第二出气子通道153均相连通。如此，在收集出气管155流出的气流时，采用一个收集装置即可。气体吹扫源依次穿过进气管135和第一进气子通道131，在光学镜片200上表面形成气流；气体吹扫源依次穿过进气管135和第二进气子通道133，在光学镜片200下表面形成气流。光学镜片200上表面的气流依次穿过第一出气子通道151和出气管155流出。光学镜片200下表面的气流依次穿过第二出气子通道153和出气管155流出。具体的气流流向如图2中箭头方向所示。优选的，进气管135包括主体段1351和转向段1353，转向段1353位于靠近第一进气子通道131和第二进气子通道133的一侧。具体的，转向段1353在垂直于光学镜片200方向的宽度大于主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学镜片防尘系统，其特征在于，包括用以支撑固定光学镜片的支撑体，所述支撑体上设有进气通道和出气通道；所述进气通道外侧设有气体吹扫源；气体吹扫源穿过所述进气通道在光学镜片上表面和下表面形成气流；光学镜片上表面和下表面的气流穿过所述出气通道流出。

【技术特征摘要】
1.一种光学镜片防尘系统，其特征在于，包括用以支撑固定光学镜片的支撑体，所述支撑体上设有进气通道和出气通道；所述进气通道外侧设有气体吹扫源；气体吹扫源穿过所述进气通道在光学镜片上表面和下表面形成气流；光学镜片上表面和下表面的气流穿过所述出气通道流出。2.根据权利要求1所述的光学镜片防尘系统，其特征在于，所述进气通道和所述出气通道分别位于所述支撑体的相对的两端。3.根据权利要求1所述的光学镜片防尘系统，其特征在于，所述支撑体具有用以放置光学镜片的承载面，所述进气通道包括分居在所述承载面的上下两侧的第一进气子通道和第二进气子通道，所述出气通道包括分居在所述承载面的上下两侧的第一出气子通道和第二出气子通道。4.根据权利要求3所述的光学镜片防尘系统，其特征在于，所述进气通道还包括固定设于所述支撑体上的进气管，所述进气管与气体吹扫源、所述第一进气子通道以及所述第二进气子通道均相连通；所述出气通道还包括固定设于所述支撑体上的出气管，所述出气管与第一出气子通道和所述第二出气子通道均相连通。5.根据权利要求4所述的光学镜片防尘系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕锋，王天，刘成，崔永鑫，赖善春，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13