The invention discloses a control method for rapid switching of process gas, in which the display performs process parameter setting and status display, the main industrial control computer receives commands from the display and sends them to the main controller, the main controller performs logical operation and control of process gas switching, and controls the output power of the radio frequency power supply and the switch of the diaphragm valve through point-to-point output signals. The source outputs radio frequency power to ionize the gas into plasma, and the diaphragm valve controls the on-off of the gas. The invention also discloses a control system for rapid switching of process gas. For the control of diaphragm valve and the setting of radio frequency power, the control system is realized by DO and AO points of the main controller, instead of by communication, which eliminates the period of instruction issued by the main industrial control computer and the time of network communication, thus greatly reduces the response time and improves the accuracy of control in the switching of process gas. When the time is set to 0.2 seconds, it can still respond quickly without delay.
【技术实现步骤摘要】
一种工艺气体快速切换的控制方法及系统
本专利技术属于半导体生产
,可以用于半导体工艺设备的生产芯片刻蚀机和镀膜机,具体涉及一种工艺气体快速切换的控制方法及系统。
技术介绍
目前高新科技领域的发展突飞猛进,尤其是半导体行业的生产水平日益提高,而对于气路和射频的控制及应用几乎是每个半导体加工设备不可或缺的重要组成部分。气路中流通的是镀膜与刻蚀的反应气体,射频用于将反应气体电离成等离子体,通过等离子体来对材料进行镀膜和刻蚀等工艺操作。目前传统的控制方式是:主工控机PC中包含各种控制程序及算法,通过网络协议TCP/IP向IO模块下达控制命令,IO模块只是进行点位的输入与输出,内部不包含逻辑控制程序,根据主工控机PC的指令,使相应的点位输出,控制气动隔膜阀动作,进而控制不同工艺气体的开和关。对于射频输出功率的控制也是如此,主工控机通过网络协议与射频电源进行交互,向射频电源下达功率控制指令。传统控制方式中所有的控制指令,都由主工控机PC下达,当工艺气体的切换速度要求高,切换周期在1S以内时,响应时间(PC下达指令的周期,网络通信的时间以及IO模块执行的时间)过长的问题就会凸显出来,无法满足工艺气体切换速度的要求。随着半导体镀膜与刻蚀设备的不断发展,工艺气体的切换速度越来越快,因此传统的控制方式已经无法满足工艺要求,需要一种新的工艺气体快速切换的控制方法,降低响应时间,提高切换周期。
技术实现思路
专利技术目的:针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的是提供一种结构简单,操作方便的工艺气体快速切换的控制方法。技术方案:为了实现上述专利技术目的,本专利技术采用的技术方案 ...
【技术保护点】
1.一种工艺气体快速切换的控制方法,其特征在于包括:1)显示器进行工艺参数设置及状态显示;2)主工控机接收来自显示器的命令并将命令下发至主控制器;3)主控制器进行工艺气体切换的逻辑运算与控制,并通过点位输出信号控制射频电源的输出功率和隔膜阀的开关;4)射频电源输出射频功率,将气体电离成等离子体;5)隔膜阀控制气体的通断。
【技术特征摘要】
1.一种工艺气体快速切换的控制方法,其特征在于包括:1)显示器进行工艺参数设置及状态显示;2)主工控机接收来自显示器的命令并将命令下发至主控制器;3)主控制器进行工艺气体切换的逻辑运算与控制,并通过点位输出信号控制射频电源的输出功率和隔膜阀的开关;4)射频电源输出射频功率,将气体电离成等离子体;5)隔膜阀控制气体的通断。2.根据权利要求1所述的工艺气体快速切换的控制方法,其特征在于:所述工艺参数包括工艺流程开始,工艺流程结束,工艺流程切换周期,射频输出功率和循环次数5个参数。3.根据权利要求1所述的工艺气体快速切换的控制方法,其特征在于:将工艺要求编制成程序语言,写入主控制器中,预留五个交互参数,当主控制器接收到主工控机下发的五个参数后,开始工艺流程的控制。4.根据权利要求1所述的工艺气体快速切换的控制方法,其特征在于:主控制器通过模拟量输出端口点位输出AO1,来控制射频电源的输出功率;主控制器通过开关量输出端口点位输出DO1-DOn,来控制若干...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵贝贝,胡冬冬,王佳,朱磊,索冲,
申请(专利权)人:江苏鲁汶仪器有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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