工件清洁装置以及工件清洁方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制溶剂蒸气的损失的工件清洁装置。工件清洁装置(1)具备输入输出室(8)、以及配置于输入输出室(8)的下方的处理室(9)，输入输出室(8)的输入输出口(4)由外门(6)封闭，输入输出室(8)与处理室(9)的连通口(50)由作为内门的内门(11)封闭。在处理室(9)内的底侧配置有清洁槽(12)，在清洁槽(12)的上侧形成有蒸气清洁区域(14)，在蒸气清洁区域(14)的上侧形成有具备冷却盘管的冷却干燥区域(16)。对外门(6)和作为内门的内门(11)独立地进行开闭控制，从而，在清洁动作中，不会形成为处理室(9)经由输入输出室(8)而与外部连通的状态。

Workpiece Cleaning Device and Workpiece Cleaning Method

The invention provides a workpiece cleaning device capable of suppressing the loss of solvent vapor. The workpiece cleaning device (1) has an input and output room (8) and a processing room (9) arranged below the input and output room (8). The input and output ports (4) of the input and output room (8) are closed by an outer door (6), and the connecting ports (50) of the input and output room (8) and the processing room (9) are closed by an inner door (11). A cleaning groove (12) is arranged on the bottom side of the treatment room (9), a steam cleaning area (14) is formed on the upper side of the cleaning groove (12), and a cooling and drying area (16) with a cooling coil is formed on the upper side of the steam cleaning area (14). The opening and closing of the outer door (6) and the inner door (11) as the inner door are controlled independently, so that in the cleaning operation, the processing room (9) is not connected with the outside through the input and output room (8).

【技术实现步骤摘要】
工件清洁装置以及工件清洁方法
本专利技术涉及用于电子零部件、金属零部件等各种工件的清洁的工件清洁装置及工件清洁方法。
技术介绍
作为工件清洁装置，已知专利文献1中公开的单槽式工件清洁装置。在该专利文献1所公开的工件清洁装置中，在其箱主体内的下部配置有供溶剂贮存的清洁槽，在清洁槽的溶剂液面的上侧形成有蒸气清洁区域，在该蒸气清洁区域的上侧形成有配置有冷却盘管(coil)的冷却区域，冷却区域的上侧为干燥区域。在干燥区域形成有工件出入口。在该结构的工件清洁装置中，仅在进行蒸气清洁时将蒸气溶剂从蒸气发生槽侧向蒸气清洁区域供给，从而，与始终供给溶剂蒸气的情况相比，溶剂消耗量得到抑制。另外，从蒸气清洁区域中的冷却区域侧的部分对蒸气溶剂进行吸引回收，从而，被带到冷却区域的上侧的蒸气溶剂的损失得到抑制。专利文献专利文献1：日本特开2005－74319号公报
技术实现思路
但是，蒸气清洁区域经由冷却区域而与其上侧的干燥室或者工件出入室连通。即便对蒸气清洁区域的溶剂蒸气量进行控制、且对溶剂蒸气进行吸引控制，溶剂蒸气也依然有可能在形成有工件出入口的那侧漏出。另外，由于需要附加设置用于对溶剂蒸气进行供给控制的控制机构、用于吸引溶剂蒸气的吸引机构，因此，制造成本有所提升。例如，作为工件清洁装置的清洁剂而使用氟系溶剂。氟系溶剂的挥发性较高且干燥性良好，因此，容易经由工件出入口而向大气中漏出。由于氟系溶剂价格昂贵，因此，希望尽可能地抑制伴随着蒸气的产生的损失量。本专利技术的目的在于提出一种能够抑制溶剂蒸气的损失的单槽式或者多槽式的工件清洁装置以及清洁方法。本专利技术的工件清洁装置的特征在于，其具有：输入输出室，该输入输出室具备工件的输入输出口；外门，该外门对所述输入输出口进行开闭；处理室，该处理室经由连通口而与所述输入输出室连通；内门，该内门对所述连通口进行开闭；清洁槽，该清洁槽配置于所述处理室的内部、且供溶剂贮存；蒸气清洁区域，该蒸气清洁区域在所述处理室的内部设置于所述清洁槽的上侧；冷却干燥区域，该冷却干燥区域在所述处理室的内部设置于所述蒸气清洁区域的上侧，并与所述连通口对置；输送机构，该输送机构经由所述连通口而将工件向所述输入输出室以及所述处理室输送；以及蒸气发生槽，该蒸气发生槽用于向所述蒸气清洁区域供给溶剂蒸气。另外，本专利技术是利用上述结构的工件清洁装置的工件清洁方法，其特征在于，在将所述处理室与所述输入输出室之间的所述连通口关闭的状态下，从所述输入输出口将作为清洁对象的工件输入至所述输入输出室，在将所述输入输出口关闭之后将所述连通口打开，使工件从所述输入输出室下降至浸渍于在所述处理室内的清洁槽贮存的溶剂中的位置而进行该工件的清洁处理，在清洁之后，经由所述蒸气清洁区域及所述冷却干燥区域而使工件上升至所述输入输出室，然后将所述连通口关闭，借助热交换器而使所述输入输出室内的气体循环，由此对所述气体中含有的溶剂进行冷却而使之液化并对其进行回收，然后，将所述输入输出口打开并将处理后的工件输出。本专利技术中，在输入输出口打开的状态下，必须将处理室与其上方的输入输出室之间隔断。阻止存在溶剂蒸气的处理室内部的蒸气清洁区域以及冷却干燥区域变为经由输入输出室而与外部连通的状态。因而，能够可靠地防止溶剂蒸气向外部漏出，从而能够尽可能地减少溶剂蒸气的损失。仅进行输入输出室的输入输出口的开闭、以及输入输出室与处理室之间的连通口的开闭，便能够降低溶剂蒸气的损失。通过廉价地构成开闭机构，装置成本的提升也得到抑制。由于仅在工件的输入、输出时使输入输出口敞开即可，因此，从外部经由输入输出口而侵入的空气的侵入量也减少。若从外部侵入的空气中含有的水分经由输入输出室而进入至处理室内，则在冷却干燥区域被冷却而在冷却盘管等的表面产生结露，从而产生其冷却效率降低等弊端。通过本专利技术还能够消除或者抑制该弊端。可以将所述输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口，并作为外门而配置对输入口进行开闭的输入侧外门、以及对输出口进行开闭的输出侧外门。还可以将所述连通口分为将工件向处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从处理室输出的输出侧连通口，并作为内门而配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。另外，还可以将所述输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口，并配置对输入口进行开闭的输入侧外门、以及对输出口进行开闭的输出侧外门，与此同时，将所述连通口分为输入侧连通口以及输出侧连通口，并配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。在处理室内配置有2个槽或者2个槽以上的清洁槽等处理槽的多槽式工件清洁装置等的情况下，优选地，将所述输入输出室分为输入室以及输出室，并配置对形成于输入室的输入口进行开闭的输入侧外门、以及对形成于输出室的输出口进行开闭的输出侧外门，并且，配置对将输入室和处理室连通的输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对将输出口和处理室连通的输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。本专利技术中，可以采用在处理室内配置有清洁槽和蒸气发生槽的双槽式结构。例如，在处理室的内部将蒸气发生槽配置于与清洁槽在横向上相邻的位置。在该情况下，作为输送机构，可以配置经由输入侧连通口而使工件升降的第一升降机构、经由输出侧连通口而使工件升降的第二升降机构、以及在蒸气清洁区域内对工件进行横向输送且从第一升降机构向第二升降机构交接的横向输送机构。本专利技术中，可以采用在处理室内配置有多个清洁槽的多槽式结构。例如，可以采用三槽式结构，其中，作为清洁槽，至少在横向上对第一清洁槽和第二清洁槽进行相邻配置，并在处理室的内部将蒸气发生槽配置为在第一清洁槽的相反侧与第二清洁槽相邻。在该情况下，例如，将第一清洁槽的正上方的位置设为经由输入侧连通口而将工件输入的输入位置，并将蒸气发生槽的正上方的位置设为经由输出侧连通口而将工件输出的输出位置。另外，例如，作为输送机构而配置有：输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由输入侧连通口而向所述输入位置输入；第一升降机构，该第一升降机构将输入至输入位置的工件向冷却干燥区域、蒸气清洁区域以及第一清洁槽输送；第二升降机构，该第二升降机构将工件向蒸气清洁区域以及第二清洁槽输送；第三升降机构，该第三升降机构将工件向蒸气清洁区域、冷却干燥区域以及输出位置输送；输出机构，该输出机构将工件从输出位置经由输出侧连通口而向输出室输出；以及横向输送机构，该横向输送机构在蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送而将该工件从第一升降机构依次向第二升降机构、第三升降机构交接。可以在处理室的内部的冷却干燥区域的上侧设置工件输入输出区域。在该情况下，在工件输入输出区域中，可以将第一清洁槽的正上方的位置设为经由输入侧连通口而将工件输入的输入位置，并将蒸气发生槽的正上方的位置设为经由输出侧连通口而将工件输出的输出位置。在该情况下，可以在工件输入输出区域中的输出位置与输出侧连通口之间设置干燥区域，并在利用输出机构将工件从输出位置输送至干燥区域而使其干燥之后将该工件输出。本专利技术中，可以借助热交换器而一边对所述输入输出室内的气体进行冷却、一边使其循环。在热交换器中对与从冷却干燥区域拉升至输入输出室(输出室)的工件一起进入输入输出室(输出室)的溶剂蒸气进行冷却而使其液化。由此，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件清洁装置，其中，所述工件清洁装置具有：输入输出室，该输入输出室具备工件的输入输出口；外门，该外门对所述输入输出口进行开闭；处理室，该处理室经由连通口而与所述输入输出室连通；内门，该内门对所述连通口进行开闭；清洁槽，该清洁槽配置于所述处理室的内部、且供溶剂贮存；蒸气清洁区域，该蒸气清洁区域在所述处理室的内部设置于所述清洁槽的上侧；冷却干燥区域，该冷却干燥区域在所述处理室的内部设置于所述蒸气清洁区域的上侧，并与所述连通口对置；输送机构，该输送机构经由所述连通口而将工件向所述输入输出室以及所述处理室输送；以及蒸气发生槽，该蒸气发生槽用于向所述蒸气清洁区域供给溶剂蒸气。

【技术特征摘要】
1.一种工件清洁装置，其中，所述工件清洁装置具有：输入输出室，该输入输出室具备工件的输入输出口；外门，该外门对所述输入输出口进行开闭；处理室，该处理室经由连通口而与所述输入输出室连通；内门，该内门对所述连通口进行开闭；清洁槽，该清洁槽配置于所述处理室的内部、且供溶剂贮存；蒸气清洁区域，该蒸气清洁区域在所述处理室的内部设置于所述清洁槽的上侧；冷却干燥区域，该冷却干燥区域在所述处理室的内部设置于所述蒸气清洁区域的上侧，并与所述连通口对置；输送机构，该输送机构经由所述连通口而将工件向所述输入输出室以及所述处理室输送；以及蒸气发生槽，该蒸气发生槽用于向所述蒸气清洁区域供给溶剂蒸气。2.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，所述输入输出口分为工件输入口以及工件输出口，作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门。3.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，所述连通口分为将工件向所述处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从所述处理室输出的输出侧连通口，作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。4.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，所述输入输出口分为工件输入口以及工件输出口，作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，所述连通口分为将工件向所述处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从所述处理室输出的输出侧连通口，作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。5.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，所述输入输出室分为输入室以及输出室，所述输入输出口分为形成于所述输入室的工件输入口、以及形成于所述输出室的工件输出口，作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，所述连通口分为将所述输入室和所述处理室连通的输入侧连通口、以及将所述输出口和所述处理室连通的输出侧连通口，作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。6.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置于与所述清洁槽在横向上相邻的位置，所述输送机构具备：第一升降机构，其使工件经由所述输入侧连通口而升降；第二升降机构，其使工件经由所述输出侧连通口而升降；以及横向输送机构，其在所述蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送、且将该工件从所述第一升降机构向所述第二升降机构交接。7.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，作为所述清洁槽，至少具备在横向上相邻配置的第一清洁槽以及第二清洁槽，所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置为：在所述第一清洁槽的相反侧与所述第二清洁槽相邻，所述第一清洁槽的正上方的位置为经由所述输入侧连通口而将工件输入的输入位置，所述蒸气发生槽的正上方的位置为经由所述输出侧连通口而将工件输出的输出位置，所述输送机构具备：输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由所述输入侧连通口而向所述输入位置输入；第一升降机构，该第一升降机构将输入至所述输入位置的工件向所述冷却干燥区域、所述蒸气清洁区域以及所述第一清洁槽输送；第二升降机构，该第二升降机构将工件向所述蒸气清洁区域以及所述第二清洁槽输送；第三升降机构，该第三升降机构将工件向所述蒸气清洁区域、所述冷却干燥区域以及所述输出位置输送；输出机构，该输出机构将工件从所述输出位置经由所述输出侧连通口而向所述输出室输出；以及横向输送机构，该横向输送机构在所述蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送、且将该工件从所述第一升降机构依次向所述第二升降机构、第三升降机构交接。8.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，还具有工件输入输出区域，该工件输入输出区域形成于所述处理室的内部的所述冷却干燥区域的上侧，作为所述清洁槽，至少具备在横向上相邻配置的第一清洁槽以及第二清洁槽，所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置为：在所述第一清洁槽的相反侧与所述第二清洁槽相邻，在所述工件输入输出区域中，所述第一清洁槽的正上方的位置为经由所述输入侧连通口而将工件输入的输入位置，所述蒸气发生槽的正上方的位置为经由所述输出侧连通口而将工件输出的输出位置，所述输送机构具备：输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由所述输入侧连通口而向所述输入位置输入；第一升降机构，该第一升降机构将输入至所述输入位置的工件向所述冷却干燥区域、所述蒸气清洁区域以及所述第一清洁槽输送；第二升降机构，该第二升降机构将工件向所述蒸气清洁...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈村和彦，
申请(专利权)人：株式会社富利美，
类型：发明
国别省市：日本,JP