等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备，属于低温等离子体技术领域。等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；输送管的上端用于与等离子体发生器连接；喷头组件包括多个喷头和连接轴，喷头均匀环绕在连接轴周围，并与连接轴连接。喷头与输送管的下端可分离连接；喷头切换机构包括固定板，固定板水平设置并与输送管固定连接；固定板上设置有安装孔，连接轴与安装孔滑动连接，连接轴通过弹性件与输送管或固定板连接。上述等离子体喷射装置在更换喷头时，操作简单方便并且效率较高。另外，由于多个喷头连接为一个整体，因此，在更换喷头后，被换下的喷头不易丢失。

Plasma ejector, nozzle switching method and cryogenic plasma equipment

The invention provides a plasma jet device, a nozzle switching method and a cryogenic plasma device, belonging to the technical field of cryogenic plasma. The plasma jet device includes a conveyor pipe, a nozzle assembly and a nozzle switching mechanism; the upper end of the conveyor pipe is used to connect with the plasma generator; the nozzle assembly includes multiple nozzles and connecting shafts, and the nozzle is evenly surrounded by the connecting shaft and connected with the connecting shaft. The sprinkler head and the lower end of the conveyor pipe can be separately connected; the sprinkler switching mechanism includes a fixed plate, which is horizontally arranged and fixed with the conveyor pipe; the fixed plate is provided with an installation hole, and the connecting shaft is sliding connected with the installation hole, and the connecting shaft is connected with the conveyor pipe or the fixed plate through an elastic member. When the plasma jet device is replaced, the operation is simple, convenient and the efficiency is high. In addition, because multiple sprinklers are connected as a whole, it is not easy to lose the replaced sprinkler after replacing the sprinkler.

【技术实现步骤摘要】
等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备
本专利技术涉及低温等离子体
，具体而言，涉及一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备。
技术介绍
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体设备是指利用低温等离子体来对工件的表面进行处理或雾化镀膜的设备。处理不同的工件或对同一个工件的不同区域进行处理通常需要更换喷头，例如，常用的喷头有直管喷头、拉瓦尔喷头、狭缝喷头及细管喷头。现有的低温等离子体设备在更换喷头时，一般需要采用专用工具将喷头拆下，然后将另外的喷头装上。整个更换过程比较繁琐，效率偏低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供了一种等离子体喷射装置，其更换喷头比较方便。本专利技术的另一目的在于提供一种低温等离子体设备，其采用了上述等离子体喷射装置。本专利技术的另一目的在于提供一种喷头切换方法，其采用了上述等离子体喷射装置。本专利技术是这样实现的：一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括等离子体发生器，包括：所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括多个喷头和连接轴，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述输送管或所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。进一步，所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。进一步，所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。进一步，所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。进一步，还包括控制器和传感器，所述传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述传感器和所述电机电连接。进一步，所述控制器为PLC或单片机。进一步，还包括定位机构，所述定位机构包括定位盘、定位销、导向筒和电磁铁；所述定位盘水平设置，并套设在所述连接轴上，所述定位盘上均匀设置有多个定位孔，所述定位孔均匀围绕所述连接轴分布，所述定位孔的数量与所述喷头的数量相等；所述定位销竖直设置在所述定位孔的上方或下方，并通过所述导向筒与所述机架滑动连接，并包括第一极限位置和第二极限位置；所述定位销与所述导向筒之间还设置有弹簧；所述电磁铁通电时，所述定位销被吸合，使得所述定位销位于第一极限位置，所述电磁铁断电时，所述定位销在所述弹簧的作用下能够运动至第二极限位置；所述定位销位于第一极限位置时，所述定位销与所述定位孔分离，所述定位销位于第二极限位置时，所述定位销伸入到所述定位孔中；所述转动组件还包括带传动组件，所述主动齿轮通过带传动组件与所述电机连接。进一步，所述多个定位孔所在的圆周半径小于所述多个喷头所述在的圆周半径；所述定位孔为锥形孔，所述定位销包括尖端。进一步，所述喷头组件还包括多个连接杆，所述喷头通过所述连接杆与所述连接轴连接。进一步，所述喷头包括圆锥形的连接孔，所述输送管包括圆锥状的连接端；所述连接端的外表面设置有密封条，所述连接孔与所述连接端配合。进一步，所述喷头与所述连接杆可拆卸连接。一种等离子体喷射装置，包括：柜体、等离子体发生器以及所述的等离子体喷射装置；所述等离子体发生器与所述柜体连接，所述输送管竖直设置，所述输送管的上端与所述等离子体发生器连接；其中一个喷头与所述输送管连接。本专利技术的有益效果是：本专利技术通过上述设计得到的低温等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备，当需要更换喷头时，将喷头组件整体下拉，使得与连接管连接的喷头从输送管上被拉下；然后转动连接轴，当连接轴上预设的喷头转动到输送管正下方时，松开喷头组件。此时，由于弹性件的作用，输送管正下方的喷头与输送管配合；输送管中的等离子体能够通过该喷头喷射到工件的表面。上述等离子体喷射装置在更换喷头时，操作简单方便并且效率较高。另外，由于多个喷头连接为一个整体，因此，在更换喷头后，被换下的喷头不易丢失。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本专利技术实施例提供的低温等离子体设备整体结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的图1的左视图；图3是本专利技术实施例提供的等离子体喷射装置的喷头与输送管连接状态的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的等离子体喷射装置的喷头与输送管分离状态的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的喷头组件在图4中的俯视图；图6是本专利技术实施例提供的在图4中定位销位于第一极限位置时的局部结构示意图；图7是本专利技术实施例提供的在图4中定位销位于第二极限位置时的局部结构示意图；图8是本专利技术实施例提供的定位盘的俯视图。图标：100-等离子体喷射装置；110-输送管；112-连接端；120-喷头组件；121-喷头；1212-连接孔；122-连接杆；123-连接轴；130-喷头切换机构；131-固定板；132-弹性件；133-推动组件；1331-缸体；1332-活塞杆；1344-带传动组件134-转动组件；1341-电机；1342-主动齿轮；1343-从动齿轮；140-定位机构；142-定位盘；1422-定位孔；143-定位销；144-导向筒；145-电磁铁；；200-低温等离子体设备；210-柜体；220-等离子体发生器；230-X导轨；240-Y导轨；250-Z导轨；260-安装台；270-支撑杆。具体实施方式为使本专利技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括机架和等离子体发生器，其特征在于，包括：所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管竖直设置，所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括连接轴和多个喷头，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。

【技术特征摘要】
1.一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括机架和等离子体发生器，其特征在于，包括：所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管竖直设置，所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括连接轴和多个喷头，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。2.根据权利要求1所述的等离子体喷射装置，其特征在于：所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。3.根据权利要求2所述的等离子体喷射装置，其特征在于：所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。4.根据权利要求3所述的等离子体喷射装置，其特征在于：所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴传动连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。5.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：还包括控制器和位置传感器，所述位置传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述位置传感器和所述电机电连接。6.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：还包括定位机构，所述定位机构包括定位盘、定位销、导向筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵武，陈军，郭鑫，张梁坤，
申请(专利权)人：四川大学青岛研究院，
类型：发明
国别省市：山东,37