压电驱动的流体喷射阀制造技术

本实用新型专利技术提供了一种压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于压电驱动机构的流体输送机构，及受驱于压电驱动机构的用于将流体喷射出的喷射机构，压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，响应于所施加的电压而变长的压电单元，与压电单元耦合的位移放大器，与位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，预紧弹性组件包括用于向位移放大器提供恒定预紧力的弹片。本实用新型专利技术采用了由形状记忆合金材料制成的弹片，通过弹片提供的恒定预紧力将消除压电单元推力情况下的位移放大器恢复到初始形状，有效地防止了传统的预紧弹性件在弹性范围内应力与应变发生正向变化的问题出现，从而解决了预紧弹性件的预紧力无法保持恒定导致压电驱动的冲程降低的问题。

Piezoelectric Driven Fluid Injection Valve

The utility model provides a piezoelectric-driven fluid injection valve, which comprises a piezoelectric driving mechanism, a fluid conveying mechanism connected with the piezoelectric driving mechanism, and a jet mechanism driven by the piezoelectric driving mechanism for ejecting fluid. The piezoelectric driving mechanism includes a shell with a capacitive cavity, a piezoelectric unit which is lengthened in response to the applied voltage, and a potential coupled with the piezoelectric unit. A shift amplifier, a pre-tightened elastic component tightly connected with a displacement amplifier, and a pre-tightened elastic component comprising a elastic shrapnel for providing a constant pre-tightening force to the displacement amplifier. The utility model adopts a shrapnel made of shape memory alloy material, and restores the displacement amplifier under the condition of eliminating the thrust of piezoelectric unit to its initial shape by the constant pre-tightening force provided by the shrapnel, which effectively prevents the problem that the stress and strain of the traditional pre-tightening elastomer change in the elastic range, thereby solving the problem that the pre-tightening force of the pre-tightening elastomer cannot be maintained Constancy causes the stroke reduction of piezoelectric drive.

【技术实现步骤摘要】
压电驱动的流体喷射阀
本技术属于流体喷射装置的
，更具体地说，是涉及一种压电驱动的流体喷射阀。
技术介绍
流体喷射装置是微电子封装中的关键设备之一，它可对流体(焊剂，导电胶，环氧树脂和粘合剂等)进行精确分配，可将理想大小的流体转移到工件(芯片，电子元件等)的合适位置，以实现元器件之间机械或电气的连接，并且由于点胶技术可以构造形成点，线，面及各种图形，被广泛应用于微电子封装中。随着微电子封装技术的发展，集成电路越来越呈现出复杂化和微型化，半导体封装要求具有更小的尺寸，更多的引线，更密的内连线等，导致对点胶技术的要求就越来越高。为了满足微电子封装的要求，点胶技术逐渐由接触式点胶向喷射式(非接触式)点胶转变，该喷射式点胶技术是利用高频振动的撞针驱动流体从喷嘴内高速喷出，其与接触式点胶技术相比，具有反应速度快，胶滴体积小，分配精度高等优点。目前，喷射式点胶是通过压电驱动的流体喷射阀实现的，压电驱动的流体喷射阀是流体喷射装置的重要组成部分之一，其包括压电驱动机构，流体输送机构，喷射机构等，其中压电驱动机构中一般用到预紧弹性件，如：公布号为CN106166530A，名称为《具有快速释放喷射阀的压电喷射系统》专利中所公开的扁平弹簧元件，在弹性范围内，其应变会随所受应力发生正向变化，即经过一段时间使用后，扁平弹簧元件的预紧力会逐渐减小，预紧力无法保持恒定，导致压电驱动的冲程降低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种压电驱动的流体喷射阀，以解决现有技术中，预紧弹性件的预紧力无法保持恒定导致压电驱动的冲程降低的技术问题。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于所述压电驱动机构的流体输送机构，及受驱于所述压电驱动机构的用于将流体自所述流体输送机构喷射出的喷射机构，所述压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，容置于所述容置腔内且响应于所施加的电压而变长的压电单元，容置于所述容置腔内且与所述压电单元耦合的位移放大器，及容置于所述容置腔内且与所述位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，所述预紧弹性组件包括用于向所述位移放大器提供恒定预紧力的弹片。进一步地，所述位移放大器包括与所述壳体紧固连接的固定部，相接于所述固定部的一端且与所述压电单元一端抵顶的支撑部，以及活动连接于所述固定部的另一端且与所述压电单元另一端抵顶的活动部，所述弹片的相对两端分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。进一步地，所述预紧弹性组件还包括紧固件，所述支撑部和所述活动部分别开设有第一安装孔，所述弹片的厚度为中间窄相对两端宽，且所述弹片的相对两端分别开设有与所述第一安装孔配合的第二安装孔，所述弹片通过所述紧固件的一端穿过所述第二安装孔且旋入所述第一安装孔内分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。进一步地，所述预紧弹性组件还包括夹设于所述紧固件与所述弹片之间且具有通孔的垫片，所述紧固件依次穿设于所述通孔、所述第二安装孔和所述第一安装孔内。进一步地，所述弹片的厚度均匀。进一步地，所述预紧弹性组件还包括紧固件，所述支撑部和所述活动部分别开设有安装槽及贯穿于所述安装槽的第一安装孔，所述弹片的相对两端分别开设有与所述第一安装孔配合的第二安装孔，且所述弹片的相对两端分别伸入二所述安装槽内，所述弹片通过所述紧固件穿过所述第二安装孔且旋入所述第一安装孔内分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。进一步地，所述预紧弹性组件还包括紧固件及分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接的一对夹具，所述夹具开设有安装槽及贯穿于所述安装槽的第三安装孔，所述弹片的相对两端分别开设有与所述第三安装孔配合的第二安装孔，且所述弹片的相对两端分别伸入二所述安装槽内，所述弹片通过所述紧固件穿过所述第二安装孔且旋入所述第三安装孔内分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。进一步地，所述安装槽的相对两侧壁凸设有与所述弹片抵顶的至少二对定位凸起。本技术提供的压电驱动的流体喷射阀的有益效果在于：采用了由形状记忆合金材料制成的弹片，通过弹片提供的恒定预紧力将消除压电单元推力情况下的位移放大器恢复到初始形状，有效地防止了传统的预紧弹性件在弹性范围内应力与应变发生正向变化的问题出现，从而解决了预紧弹性件的预紧力无法保持恒定导致压电驱动的冲程降低的技术问题，提升了压电驱动机构的效能，延长了压电驱动的流体喷射阀的使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本技术实施例提供的压电驱动的流体喷射阀的剖面示意图；图2为图1中A部分第一种实施方式的放大示意图；图3为图2中B部分的放大示意图；图4为图1中A部分第二种实施方式的放大示意图；图5为图4中C部分的放大示意图；图6为图1中A部分第三种实施方式的放大示意图；图7为图6中D部分的放大示意图。其中，图中各附图标记：1—压电驱动的流体喷射阀，10—压电驱动机构，20—流体输送机构，30—喷射机构，11—壳体，12—压电单元，13—位移放大器，14—预紧弹性组件，110—容置腔，131—固定部，132—支撑部，133—活动部，134—第一安装孔，135、1441—安装槽，141—弹片，142—紧固件，143—垫片，144—夹具，1350、14410—定位凸起，1410—第二安装孔，1442—第三安装孔。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题，技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，且不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。现对本技术提供的压电驱动的流体喷射阀进行说明。实施例一：请参阅图1和图2，该压电驱动的流体喷射阀1包括压电驱动机构10、流体输送机构20以及喷射机构30，其中，流体输送机构20与压电驱动机构10相接，喷射机构30受驱于压电驱动机构10，用于将流体自流体输送机构20喷射出，压电驱动机构10包括壳体11、压电单元12、位移放大器13以及预紧弹性组件14，壳体11具有容置腔1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于所述压电驱动机构的流体输送机构，以及受驱于所述压电驱动机构的用于将流体自所述流体输送机构喷射出的喷射机构，其特征在于，所述压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，容置于所述容置腔内且响应于所施加的电压而变长的压电单元，容置于所述容置腔内且与所述压电单元耦合的位移放大器，及容置于所述容置腔内且与所述位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，所述预紧弹性组件包括用于向所述位移放大器提供恒定预紧力的弹片。

【技术特征摘要】
1.压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于所述压电驱动机构的流体输送机构，以及受驱于所述压电驱动机构的用于将流体自所述流体输送机构喷射出的喷射机构，其特征在于，所述压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，容置于所述容置腔内且响应于所施加的电压而变长的压电单元，容置于所述容置腔内且与所述压电单元耦合的位移放大器，及容置于所述容置腔内且与所述位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，所述预紧弹性组件包括用于向所述位移放大器提供恒定预紧力的弹片。2.如权利要求1所述的压电驱动的流体喷射阀，其特征在于，所述位移放大器包括与所述壳体紧固连接的固定部，相接于所述固定部的一端且与所述压电单元一端抵顶的支撑部，以及活动连接于所述固定部的另一端且与所述压电单元另一端抵顶的活动部，所述弹片的相对两端分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。3.如权利要求2所述的压电驱动的流体喷射阀，其特征在于，所述预紧弹性组件还包括紧固件，所述支撑部和所述活动部分别开设有第一安装孔，所述弹片的厚度为中间窄相对两端宽，且所述弹片的相对两端分别开设有与所述第一安装孔配合的第二安装孔，所述弹片通过所述紧固件的一端穿过所述第二安装孔且旋入所述第一安装孔内分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。4.如权利要求3所述的压电驱动的流体喷射阀，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎雄，
申请(专利权)人：深圳微斯克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44