经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门、真空处理系统和用于操作门的方法技术方案

提供一种经配置以用于密封真空处理系统(200)中的开口的门(100)。门(100)包括：可移动的构件(110)；和柔性的闭合件(120)，配置为可从打开位置移动到关闭位置，其中柔性的闭合件(120)经配置以在关闭位置中提供真空密封。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门、真空处理系统和用于操作门的方法
本公开内容的实施方式涉及经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门、真空处理系统和用于操作经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门的方法。本公开内容的实施方式特别地涉及具有柔性的闭合件(closure)的门、具有这样的门的真空处理系统和用于操作这样的门的方法。
技术介绍
真空处理腔室典型地通过可密封的开口与传送腔室或另一处理腔室连通，可密封的开口既宽又相对短以适应于水平定向或竖直定向的基板的插入和移除。一般来说，使用狭缝阀密封这种开口。例如，狭缝阀的密封闭合件可以延伸以密封开口和缩回以允许基板通过开口。避免(1)通过滑动摩擦产生颗粒和(2)弹性密封元件的不均匀的压缩的问题的狭缝阀设计是优选的。在某些类型的基板处理操作期间，真空处理腔室与传送腔室之间或真空处理腔室与另一处理腔室之间可以存在压差，使得传送腔室或另一处理腔室内的高压推压狭缝阀的密封闭合件。真空处理腔室也可能因压差而经历变形。也就是说，像这样的压力腔室可能经历变形，这可能引起要被密封的开口的形状的改变。因此，狭缝阀可能承受应力和疲劳，应力和疲劳的量随压差而增大。当涉及大的基板(诸如用于平板闭合显示器(flatclosuredisplay)的那些基板)时，压差效应甚至可加剧(例如，因为较大的基板可设有较大的开口和密封这种开口的较大的密封闭合件)。常规的狭缝阀典型地未设计成在打开和关闭操作期间适应大的压差或产生颗粒。鉴于上述，提供克服本领域的至少一些问题的经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门、真空处理系统和用于操作经配置以密封真空处理系统中的开口的门的方法是有益的。
技术实现思路
鉴于上述，提供经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门、真空处理系统和用于操作经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门的方法。本公开内容另外的方面、益处和特征从权利要求书、说明书和附图显而易见。根据本公开内容的一个方面，提供一种经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门。门包括：可移动的构件；和柔性的闭合件，附接到可移动的构件并且经配置以可从打开位置移动到关闭位置，其中闭合件经配置以在关闭位置中提供真空紧密密封。根据本公开内容的另一方面，提供一种真空处理系统。真空处理系统包括：门，经配置以用于密封真空处理系统中的开口。门包括：可移动的构件；和柔性的闭合件，附接到可移动的构件并且经配置以可从打开位置移动到关闭位置，其中闭合件经配置以在关闭位置中提供真空紧密密封。真空处理系统进一步包括真空腔室，其中门经配置以提供到真空腔室的进出通道。根据本公开内容的又一方面，提供一种用于操作经配置以用于密封真空处理系统中的开口的门的方法。方法包括：通过门将基板装载到真空腔室中和/或从真空腔室中卸载。本公开内容另外的方面、优点和特征可从从属权利要求、说明书和附图显而易见。附图简述为了可详细理解本公开内容的上述特征结构所用方式，在上文简要概述的本公开内容的更特定的描述可以参考实施方式进行。附图涉及本公开内容的实施方式并被描述如下。在附图中描绘并且在以下的说明中详述典型的实施方式。图1示出根据本文所述的实施方式的真空处理腔室的示意图；图2示出根据本文所述的实施方式的真空处理系统的示意性侧视图；图3示出根据本文所述的实施方式的真空处理系统的示意性侧视图；图4示出根据本文所述的实施方式的门的示意性侧视图；图5示出根据本文所述的实施方式的门的示意性侧视图；图6示出根据本文所述的实施方式的门的示意性侧视图；和图7示出根据本文所述的实施方式的用于操作门的方法的流程图。具体实施方式现在将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例图解于附图中。在以下对附图的描述内，相同参考数字表示相同部件。一般地，仅描述相对于个别实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，而不表示对本公开内容的限制。另外，图解或描述为一个实施方式的部分的特征可以在其他实施方式上使用或结合其他实施方式使用来产生又一实施方式。本说明书旨在包括这样的修改和变化。根据本文所述的实施方式，提供经配置以密封真空处理系统中的开口的门或狭缝阀。门可包括可移动的构件和柔性的闭合件。柔性的闭合件可附接到可移动的构件。柔性的闭合件可配置为可从打开位置移动到关闭位置。柔性的闭合件可经配置以在关闭位置中提供真空紧密密封。特定地，柔性的闭合件可以是柔性面板。另外，柔性的闭合件可被称为柔性的密封件。根据本文所述的实施方式，门可经配置以允许基板穿过在打开位置中的门。门可以特别地经配置以允许大面积基板穿过在打开位置中的门。根据本文所述的实施方式，大面积基板可以具有至少0.174m2的大小。大小可以是约1.375m2至约10m2，更典型地约2m2至约11m2或甚至是高达12m2。典型地，采用根据本文所述的实施方式的门、真空处理腔室、系统和方法的基板是如本文所述的大面积基板。例如，大面积基板可以是对应于约1.4m2基板(1.1m×1.3m)的第5代、对应于约4.39m2基板(1.95m×2.25m)的第7.5代、对应于约5.5m2基板(2.2m×2.5m)的第8.5代、或甚至是对应于约8.7m2基板(2.85m×3.05m)的第10代。可以类似地实现甚至更高的代(诸如第11代和第12代)和对应的基板面积。然而，本领域的技术人员可以理解，保持器(holder)可以用于任何基板大小，即甚至是比以上概括的更小或更大的基板大小。根据本文所述的实施方式，门可经配置以密封具有一定宽度和一定高度的开口。宽度可以等于或大于0.2m(特定地等于或大于0.5m)和/或等于或小于1m(特定地等于或小于0.8m)。高度可以等于或大于20cm(特定地等于或大于30cm)和/或等于或小于500cm(特定地等于或小于100cm)。根据本文所述的实施方式，门可经配置以允许基板以竖直取向或大体上竖直的取向穿过门。或者，门可经配置以允许基板以水平取向或大体上水平的取向穿过门。术语“竖直方向”或“竖直取向”可以理解为区分于“水平方向”或“水平取向”。也就是说，“竖直方向”或“竖直取向”可涉及例如基板的大体上竖直的取向，其中与严格的竖直方向或竖直取向的几度偏差(例如，高达+/-10°或甚至是高达+/-15°)仍然可以认为是“大体上竖直的方向”或“大体上竖直的取向”。竖直方向可以大体上平行于重力。根据本文所述的实施方案，特别是当涉及基板取向时，大体上竖直可以理解为允许与竖直方向的+/-20°或以下的偏差，例如，+/-10°或以下的偏差。此偏差可以例如因与竖直取向有一定偏差的基板支撑件可产生更稳定的基板位置而提供。然而，例如在沉积期间的基板取向可以被认为是大体上竖直的，这可以被认为是不同于水平基板取向的。术语“水平方向”或“水平取向”可以理解为区分于“竖直方向”或“竖直取向”。也就是说，“水平方向”或“水平取向”可以涉及例如基板的大体上水平的取向，其中与严格的水平方向或水平取向的几度偏差(例如，高达+/-10°或甚至是高达+/-15°)仍然可以被认为是“大体上水平的方向”或“大体上水平的取向”。水平方向可以大体上垂直于重力。根据本文所述的实施方式，特别是当涉及基板取向时，“大体上水平”可理解为允许与水平方向的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种经配置以用于密封真空处理系统(200)中的开口的门(100)，包括：‑可移动的构件(110)；和‑柔性的闭合件(120)，附接到可移动的构件(110)并且经配置以可从打开位置移动到关闭位置，其中所述柔性的闭合件(120)经配置以在所述关闭位置中提供真空紧密密封。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种经配置以用于密封真空处理系统(200)中的开口的门(100)，包括：-可移动的构件(110)；和-柔性的闭合件(120)，附接到可移动的构件(110)并且经配置以可从打开位置移动到关闭位置，其中所述柔性的闭合件(120)经配置以在所述关闭位置中提供真空紧密密封。2.如权利要求1所述的门，其中所述门(100)经配置以补偿在所述关闭位置中由第一压力侧与第二压力侧之间的差压导致的变形。3.如权利要求1或2所述的门，其中所述门(100)经配置以允许基板穿过在所述打开位置中的所述门(100)。4.如权利要求1至3中任一项所述的门，其中所述柔性的闭合件(120)包括板(122)和第一侧壁(124)。5.如权利要求4所述的门，其中所述第一侧壁(124)(126)配置为柔性的。6.如权利要求1至5中任一项所述的门，进一步包括：-铰链(130)，其中所述可移动的构件(110)连接所述柔性的闭合件(120)和所述铰链(130)。7.如权利要求1至6中任一项所述的门，其中所述柔性的闭合件(120)具有桶状形状。8.如权利要求1至7中任一项所述的门，进一步包括：-至少一个隔膜(140)，连接到所述柔性的闭合件(120)并且经配置以密封由所述柔性的闭合件(120)形成的空间(S)。9.如权利要求1至8中任一项所述的门，其中所述柔性的闭合件(120)包括铝并且/或者由铝制成。10.如权利要求1至9中任一项所述的门，其中所述可移动的构件(110)是可移动臂。11.一种真空处理系统(200)，包括：-如...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉尔夫·林登贝格，布里希·拉贾，马丁·凯梅尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US