The present application discloses a display panel and a manufacturing method thereof. The method includes: providing a substrate comprising a first region and a second region with an electrical connector in the first region; forming a flattening layer on the substrate and the electrical connector; and patterning a flattening layer with a first thickness in the first region of the substrate. The thickness of the flattened layer in the second area of the substrate is the second thickness, the first thickness is less than the second thickness, which effectively protects the electrical connector, and avoids the phenomenon of foreign matter accumulation in the Pad area caused by chemical reaction of the electrical connector under the action of etching solution in subsequent wet etching.
【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制造方法
本申请涉及显示
,尤其涉及一种显示面板及其制造方法。
技术介绍
在有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体面板(Active-matrixorganiclightemittingdiode,AMOLED)低温多晶硅技术(LowTemperaturePoly-silicon,LTPS)生产过程中,由于电子压焊(Bonding)的需要,Pad(Ti/Al/Ti)区的平坦化层(Planarization,PLA)(即,正性光刻胶)被曝光、显影已去除。在后续的阳极(ITO/Ag/ITO)湿法刻蚀过程中,阳极与Pad区-Ti/Al/Ti直接接触而发生电化学反应生成黑色Ag络合异物,该黑色Ag络合异物在Pad区内聚集,从而增大了后续Bonding时的接触电阻。
技术实现思路
本申请实施例提供一种显示面板制造方法,用于解决现有技术在后续的阳极湿法刻蚀过程中,刻蚀液的作用下阳极易发生化学反应的问题。本申请实施例还提供一种显示面板,用于解决现有技术在后续的阳极湿法刻蚀过程中,刻蚀液的作用下阳极易发生化学反应的问题。本申请实施例采用下述技术方案:第一方面,本申请提供了一种显示面板制造方法,所述方法包括:提供一基板,所述基板包括第一区域和第二区域,所述第一区域设置有电连接体;在所述基板与所述电连接体上形成平坦化层;图案化所述平坦化层,在所述基板的第一区域上的平坦化层厚度为第一厚度,在所述基板的第二区域上的平坦化层厚度为第二厚度,所述第一厚度小于第二厚度。进一步的,在所述平坦化层上形成阳极层,并对所述阳极层进行刻蚀。进一步的,为了便于在第一区域上 ...
【技术保护点】
1.一种显示面板制造方法,其特征在于,包括:提供一基板,所述基板包括第一区域和第二区域,所述第一区域设置有电连接体;在所述基板与所述电连接体上形成平坦化层;图案化所述平坦化层,在所述基板的第一区域上的平坦化层厚度为第一厚度,在所述基板的第二区域上的平坦化层厚度为第二厚度,所述第一厚度小于第二厚度。
【技术特征摘要】
1.一种显示面板制造方法,其特征在于,包括:提供一基板,所述基板包括第一区域和第二区域,所述第一区域设置有电连接体;在所述基板与所述电连接体上形成平坦化层;图案化所述平坦化层,在所述基板的第一区域上的平坦化层厚度为第一厚度,在所述基板的第二区域上的平坦化层厚度为第二厚度,所述第一厚度小于第二厚度。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:在所述平坦化层上形成阳极层,并对所述阳极层进行刻蚀。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述平坦化层为正性光刻胶层;所述图案化所述平坦化层,具体包括:采用掩膜板对所述平坦化层进行曝光显影处理;所述掩膜板的半透射区域对应所述第一区域,所述掩膜板的非透射区域对应所述第二区域。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述掩膜板为半色调掩膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:金玉,李俊峰,邓世刚,刘元波,王萌,
申请(专利权)人:昆山国显光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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