检查系统和检查用图像的修正方法技术方案

本发明专利技术提供一种检查系统。该检查系统包括：第一拍摄装置(10)，其被设置于第一检查装置(1)；第二拍摄装置(40)，其被设置于第二检查装置(2)；第一校正数据获取单元，用于在第一拍摄装置(10)拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，该校准夹具被定位于第一检查装置(1)的预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在第二拍摄装置(40)拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，该校准夹具被定位于第二检查装置(2)，然后获取用于修正第二拍摄装置拍摄的图像以使第二特征数据与第一特征数据一致的修正量，第二检查装置使用该修正量修正检查对象物的图像。

Image Correction Method for Inspection System and Inspection

The invention provides an inspection system. The checking system includes: a first photographing device (10), which is set in the first checking device (1); a second photographing device (40), which is set in the second checking device (2); a first correction data acquisition unit for acquiring the predetermined characteristics of the calibration fixture in the image of the calibration fixture taken by the first photographing device (10) and storing it as the first characteristic data, and the calibration fixture is set in the second checking device (2). The second correction data acquisition unit is used to acquire the predetermined characteristics of the calibration fixture in the image of the calibration fixture captured by the second photographing device (40) and store it as the second characteristic data. The calibration fixture is positioned at the pre-positioning position of the second inspection device (2), and then acquires the image for correcting the image captured by the second photographing device so as to enable the calibration fixture to acquire the pre-positioning position of the first inspection device (2). The second feature data corresponds to the correction amount of the first feature data, and the second checking device uses the correction amount to correct the image of the checked object.

【技术实现步骤摘要】
检查系统和检查用图像的修正方法
本专利技术涉及一种检查系统和检查用图像的修正方法。
技术介绍
以往，已知一种通过拍摄装置拍摄检查对象物并对拍摄到的图像进行图像处理后，使用处理后的图像进行检查的检查装置(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-181732号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题如上所述的检查装置例如用于检查以高密度配置在电子设备的基板上的部件的位置和状态，近年来，越来越需要以几十μm为单位判断部件的位置和状态是否存在异常的检查装置。在这种情况下，由于拍摄装置的透镜的像差、检查对象物的定位装置与拍摄装置之间的相对位置的轻微偏移，会导致无法精确地进行上述的位置和状态的检查。为了进行精确的检查，在上述检查装置中，对固定于定位装置的校准夹具进行拍摄，基于拍摄到的图像中的校准夹具的多个特征点和这些特征点原本应处于的位置之间的差而制作校正数据，并利用校正数据校正用于检查的拍摄图像。另一方面，虽然可以利用检查装置预先拍摄并存储检查对象物的各种合格样本图像、不合格样本图像等以提高检查对象物的位置和状态的检查精度，但存储这样的图像需要大量的时间和样品。此外，在存在多条检查线且每条检查线都设置有上述检查装置的情况下，针对每个检查装置，透镜的像差和检查对象物的定位装置与拍摄装置之间的相对位置的偏移是不同的。因此，针对每个检查装置，上述的校正数据也变得不同，由于需要利用各个检查装置的校正数据校正样本图像，因而也需要按照各个检查装置准备样本图像。本专利技术正是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够在多个检查装置中使用共通的样本图像的检查系统和检查用图像的修正方法。解决问题的手段为了解决上述课题，本专利技术采用以下手段。本专利技术的第一方面的检查系统被构成为，包括：第一拍摄装置，其被设置于第一检查装置；第一图像处理单元，用于对所述第一拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第一检查装置的预定位置处；第二拍摄装置，其被设置于第二检查装置；第二图像处理单元，用于对所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第二检查装置的预定位置处；第一校正数据获取单元，用于在所述第一拍摄装置拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，所述校准夹具被定位于所述第一检查装置的所述预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，所述校准夹具被定位于所述第二检查装置的所述预定位置处；以及图像修正量获取单元，用于修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量，其中，所述第二图像处理单元被构成为使用所述修正量修正所述检查对象物的所述图像。在该方面中，图像修正量获取单元获取使第二特征数据与第一特征数据一致时的图像的修正量，第二检查装置的第二图像处理单元使用该修正量对第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行修正。因此，第二拍摄装置拍摄的图像与通过第一检查装置的第一拍摄装置拍摄检查对象物时的情况相同，都是反映了像差等的影响的图像，也是消除了拍摄装置与定位装置之间的轻微位置偏移的差的图像，其中，拍摄装置与定位装置分别存在于第一检查装置和第二检查装置中。因此，能够在第二检查装置中使用与第一检查装置相同的样本图像，并且进行精确的检查。在上述方面中，优选地，所述校准夹具具有多个特征点，所述第一特征数据是所述第一拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据，所述第二特征数据是所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据。在上述方面中，优选地，所述第一特征数据是表示所述第一拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的指定像素的亮度或色调的数据，所述第二特征数据是表示所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的指定像素的亮度或色调的数据。本专利技术的第二方面的检查用图像的修正方法包括：第一校正数据获取步骤，通过第一检查装置的第一拍摄装置拍摄被定位于所述第一检查装置的预定位置处的校准夹具的图像，获取所拍摄的图像中的所述校准夹具的预定特征并将其作为第一特征数据；第二校正数据获取步骤，通过第二检查装置的第二拍摄装置拍摄被定位于所述第二检查装置的预定位置处的所述校准夹具的图像，获取所拍摄的图像中的所述校准夹具的所述预定特征并将其作为第二特征数据；图像修正量获取步骤，修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量；以及检查用图像修正步骤，所述第二检查装置使用所述修正量修正所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像，其中，所述检查对象物被定位于所述预定位置处。在该方面中，在图像修正量获取步骤中获取使第二特征数据与第一特征数据一致时的图像的修正量，在第二检查装置中使用该修正量对第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行修正。因此，第二拍摄装置拍摄的图像与通过第一检查装置的第一拍摄装置拍摄检查对象物时的情况相同，都是反映了像差等的影响的图像，也是消除了拍摄装置与检查对象物之间的轻微位置偏移的差的图像，其中，拍摄装置与检查对象物分别存在于第一检查装置和第二检查装置中。因此，能够在第二检查装置中使用与第一检查装置相同的样本图像，并且进行精确的检查。专利技术的效果根据本专利技术，能够在多个检查装置中使用共通的样本图像。附图说明图1是根据本专利技术的一个实施方式的检查系统的示意图。图2是本实施方式的检查系统的第一检查装置的控制装置的框图。图3是本实施方式的检查系统的第二检查装置的控制装置的框图。图4是本实施方式的检查系统中使用的校准夹具的平面图。图5是表示通过本实施方式的检查系统获得的第一特征数据的示例的图。图6是表示通过本实施方式的检查系统获得的第二特征数据的示例的图。图7是表示由本实施方式的检查系统执行的第二特征数据的校正例的图。具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的一个实施方式的检查系统进行说明。如图1所示，该检查系统具有第一检查装置1和第二检查装置2。在本实施方式中，第一检查装置1作为主(master)装置发挥功能，第二检查装置2作为从属(slave)装置发挥功能。虽然在本实施方式中仅示出了一台第二检查装置2，但也可是设置多台第二检查装置2，并且在该情况下第二检查装置2的操作与下述相同。如图1所示，第一检查装置1包括：照相机等的第一拍摄装置10，其具有照明装置10a等；第一控制装置20，其与第一拍摄装置10连接；以及定位装置30，用于对第一拍摄装置10所拍摄的检查对象物O进行定位，第二检查装置2包括：照相机等的第二拍摄装置40，其具有照明装置40a等；第二控制装置50，其与第二拍摄装置40连接；以及定位装置60，用于对第二拍摄装置40所拍摄的检查对象物O进行定位。如图1所示，第一检查装置1的定位装置30例如具有将检查对象物O定位于水平方向的多个定位部件31，利用定位部件31在水平方向夹持检查对象物O，从而进行检查对象物O的定位。第二检查装置2的定位装置60也同样构成为利用多个定位部件61在水平方向夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查系统，其特征在于，包括：第一拍摄装置，其被设置于第一检查装置；第一图像处理单元，用于对所述第一拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第一检查装置的预定位置处；第二拍摄装置，其被设置于第二检查装置；第二图像处理单元，用于对所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第二检查装置的预定位置处；第一校正数据获取单元，用于在所述第一拍摄装置拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，所述校准夹具被定位于所述第一检查装置的所述预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，所述校准夹具被定位于所述第二检查装置的所述预定位置处；以及图像修正量获取单元，用于修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量，其中，所述第二图像处理单元被构成为使用所述修正量修正所述检查对象物的所述图像。

【技术特征摘要】
2017.08.28 JP 2017-1629811.一种检查系统，其特征在于，包括：第一拍摄装置，其被设置于第一检查装置；第一图像处理单元，用于对所述第一拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第一检查装置的预定位置处；第二拍摄装置，其被设置于第二检查装置；第二图像处理单元，用于对所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第二检查装置的预定位置处；第一校正数据获取单元，用于在所述第一拍摄装置拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，所述校准夹具被定位于所述第一检查装置的所述预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，所述校准夹具被定位于所述第二检查装置的所述预定位置处；以及图像修正量获取单元，用于修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量，其中，所述第二图像处理单元被构成为使用所述修正量修正所述检查对象物的所述图像。2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述校准夹具具有多个特征点，所述第一特征数据是所述第一拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据，所述第二特征数据是所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据。3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，所述第一特征数据是表示...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田顺一郎，藁科文和，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP