MEMS器件、电子设备以及移动体制造技术

一种MEMS器件、电子设备以及移动体，在该MEMS器件中，抑制在施加了过度冲击等时可动体的破损、止动件的破损，并提高了耐冲击性。MEMS器件(1)包括：作为基底的基板(10)，具备支承部(15)以及作为固定电极的检测电极(21)；可动体(50)，以使主表面(50r)与所述固定电极对置的方式被所述支承部支承；以及抵接部(48)，与所述可动体的外边缘的至少一部分相对，限制所述主表面在平面方向上的旋转位移，所述抵接部具备：抵接面(46)，包括所述可动体在所述旋转位移下抵接的抵接位置；以及洞部(47)，与所述抵接面对置设置。

MEMS devices, electronic devices and mobile devices

A kind of MEMS device, electronic equipment and mobile body, in which the breakage of the movable body and the breakage of the stop parts are restrained when excessive impact is applied, and the impact resistance is improved. The MEMS device (1) includes: a substrate (10) with a support (15) and a detection electrode (21) as a fixed electrode; a movable body (50) so that the main surface (50r) is supported by the support in a manner opposite to the fixed electrode; and a butt part (48) relative to at least one part of the outer edge of the movable body, which limits the rotation displacement of the main surface in a plane direction. The engagement part has: an engagement surface (46), including the engagement position of the movable body under the rotating displacement, and a hole (47), which is positioned opposite to the engagement surface.

【技术实现步骤摘要】
MEMS器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及MEMS器件、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为检测加速度等物理量的物理量传感器，已知具备作为由支承部以可摆动方式支承的可动体的可动电极部、以及作为在与可动体相对的位置具有间隙地配置的固定电极部的检测电极部的MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)器件。在这种MEMS器件中，可动体根据对该MEMS器件施加的加速度等物理量而摆动，从而该可动体与检测电极部之间的间隙发生变化。通过根据该间隙的变化而在两电极部之间产生的静电电容的变化，进行对MEMS器件施加的加速度等物理量的检测。例如，专利文献1中公开了具备静电电容型的MEMS器件的物理量传感器，静电电容型的MEMS器件具备可动电极部以及相对于该可动电极部具有间隙地分离设置的固定电极部。在该MEMS器件中，设置有用于限制可动电极部向与检测物理量的方向不同的方向位移的止动件。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-17886号公报但是，在上述物理量传感器中，在施加了过度的冲击等的情况下，MEMS器件的可动电极部与止动件的碰撞过大，可动电极部有可能会破损，或者止动件有可能会破损，存在无法进行正常的物理量的检测的风险的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题的至少一部分而提出，能够作为以下方式或应用例实现。[应用例1]本应用例的MEMS器件包括：基底，具备支承部及固定电极；可动体，以使主表面与所述固定电极对置的方式被所述支承部支承；以及抵接部，与所述可动体的外边缘的至少一部分相对，限制所述主表面在平面方向上的旋转位移，所述抵接部具备：抵接面，包括所述可动体的所述旋转位移的抵接位置；以及洞部，与所述抵接面对置设置。根据本应用例的MEMS器件，通过在包括因可动体在平面方向上的旋转位移可动体所抵接的抵接位置的抵接部中与可动体抵接的抵接面对应地设置有洞部，抵接部的包括抵接面的部分的刚性变弱。由此，在因旋转位移可动体碰撞到抵接部时，抵接部的刚性较弱的部分中产生挠曲，通过基于该挠曲的冲击吸收、即冲击的缓冲作用，能够减小可动体受到的冲击，能够减少可动体的破损、抵接部的破损。需要说明的是，洞部是指因贯通孔(孔)或有底孔(槽或凹陷等)而变成空洞的部分。[应用例2]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述抵接部与所述可动体的角部对置设置。根据本应用例，通过与可动体的旋转位移大的角部对置设置抵接部，在可动体中产生了面内旋转方向上的位移时，能够可靠地进行对该位移的限制。[应用例3]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述抵接部设置有多个。根据本应用例，通过配置多个可动体抵接的抵接部，能够提高对可动体中产生的面内旋转方向上的位移的限制概率。[应用例4]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述洞部在与所述抵接面相反一侧的面开口。根据本应用例，抵接面位于可动体一侧，能够在缓冲冲击的同时可靠地进行位移了的可动体的移动限制。[应用例5]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述洞部在所述抵接面的一部分开口。根据本应用例，由于洞部在抵接面的一部分开口，能够进一步减小包括与可动体接触的部分即抵接面的抵接部的刚性，能够提高缓冲作用。[应用例6]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述洞部是在所述抵接面和与所述抵接面相反一侧的面之间设置的孔。根据本应用例，能够由在抵接面和与其相反一侧的面之间设置的孔构成洞部。由于这种孔能够形状自如地容易地形成，因此能够容易地设置刚性较弱的抵接部。[应用例7]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述洞部具有多个所述孔。根据本应用例，由于由多个孔例如蜂窝结构的孔构成洞部，因此可动体碰撞时的冲击力传递的方向被分散到多个方向，能够进一步提高冲击吸收效果。[应用例8]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述MEMS器件还具备壁部，在所述壁部与所述可动体之间具有间隙，所述壁部沿所述可动体的外边缘从所述基底凸出设置，所述抵接部在所述壁部的一部分中设置。根据本应用例，能够将沿可动体的外边缘从基底突出的壁部的一部分作为抵接部使用，能够空间效率良好地配置抵接部。[应用例9]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，在所述可动体中设置有空洞部，在俯视所述可动体时，所述MEMS器件在所述空洞部内还具备固定部以及从所述固定部延伸设置的悬架部，所述可动体借助所述悬架部而被悬架于所述固定部，所述固定部被固定于所述支承部。根据本应用例，可动体通过隔着悬架部的固定部被悬架于支承部，从而能够将悬架部作为扭簧(扭转弹簧)发挥功能，能够使可动体在支轴的旋转轴方向上位移。[应用例10]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述可动体与所述抵接部由相同的材质构成。根据本应用例，能够使可动体与抵接部接触时的可动体与抵接部的粘附难以发生。[应用例11]在上述应用例的MEMS器件中，优选为，所述抵接部与所述可动体处于相同的电位。根据本应用例，通过使可动体与抵接部处于相同电位，在两部接触时，能够抑制在可动体和抵接部之间产生的静电电容的变动及丧失。因此，在可动体与抵接部接触时，能够继续进行加速度等物理量的测量。[应用例12]本应用例的电子设备具备：上述任一应用例中的MEMS器件；以及控制部，基于从所述MEMS器件输出的检测信号进行控制。根据这种电子设备，具备：MEMS器件，可动体在主表面的平面方向上的旋转位移被限制，在施加了过度冲击时也能够继续检测加速度等；以及控制部，基于从MEMS器件输出的检测信号进行控制。因此，能够提高搭载有上述MEMS器件的电子设备的可靠性。[应用例13]本应用例的移动体具备：上述任一应用例中的MEMS器件；以及姿势控制部，基于从所述MEMS器件输出的检测信号进行姿势控制。根据这种移动体，搭载有：MEMS器件，可动体在主表面的平面方向上的旋转位移被限制，在施加了过度冲击时也能够继续检测加速度等；以及姿势控制部，基于从MEMS器件输出的检测信号进行姿势控制。因此，能够提高搭载有上述MEMS器件的移动体的可靠性。附图说明图1是示意性地示出实施方式的MEMS器件的俯视图。图2是示意性地示出实施方式的MEMS器件的剖面图。图3是示意性地示出实施方式的MEMS器件的剖面图。图4A是说明实施方式的MEMS器件的动作的示意图。图4B是说明实施方式的MEMS器件的动作的示意图。图4C是说明实施方式的MEMS器件的动作的示意图。图5是示意性地示出抵接部的变形例1的俯视图。图6是示意性地示出抵接部的变形例2的俯视图。图7是示意性地示出抵接部的变形例3的俯视图。图8是示意性地示出抵接部的变形例4的俯视图。图9是示意性地示出抵接部的变形例5的剖面图。图10是示意性地示出抵接部的变形例6的俯视图。图11是示意性地示出作为实施方式的电子设备的个人计算机的图。图12是示意性地示出作为实施方式的电子设备的移动电话的图。图13是示意性地示出作为实施方式的电子设备的静态式数字照相机的图。图14是示意性地示出作为实施方式的移动体的汽车的图。附图标记说明：1...MEMS器件；2...作为基底的基板；10a...上表面；12...第一凹部；12a...第一底面；13...间隙；15...支承部；21...作为固定电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基底，具备支承部及固定电极；可动体，以使主表面与所述固定电极对置的方式被所述支承部支承；以及抵接部，与所述可动体的外边缘的至少一部分相对，限制所述主表面在平面方向上的旋转位移，所述抵接部具备：抵接面，包括所述可动体在所述旋转位移下抵接的抵接位置；以及洞部，与所述抵接面对置设置。

【技术特征摘要】
2017.08.25 JP 2017-1620151.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基底，具备支承部及固定电极；可动体，以使主表面与所述固定电极对置的方式被所述支承部支承；以及抵接部，与所述可动体的外边缘的至少一部分相对，限制所述主表面在平面方向上的旋转位移，所述抵接部具备：抵接面，包括所述可动体在所述旋转位移下抵接的抵接位置；以及洞部，与所述抵接面对置设置。2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述抵接部与所述可动体的角部对置设置。3.根据权利要求1或2所述的MEMS器件，其特征在于，所述抵接部设置有多个。4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述洞部在与所述抵接面相反一侧的面开口。5.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述洞部在所述抵接面的一部分开口。6.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述洞部是设置于所述抵接面和与所述抵接面相反一侧的面之间的孔。7.根据权利要求6所述的MEMS器件，其特征在于，所述洞部...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤郁哉，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP