输送系统技术方案

本发明专利技术提供能够在与处理装置之间迅速地交接物品的输送系统。输送系统(1A)具备：高空输送车(12)，其在第一轨道(11)上行驶，并能够与处理装置(2)的装载端口(4)进行物品(3)的交接；储物架(13)，其沿铅垂方向排列有多个收纳物品的架(41、42)；起重机(15)，其在与第一轨道平行的第二轨道(14)上行驶，并能够分别与装载端口和储物架进行物品的交接；以及第一暂存区(16)，其配置于在与装载端口进行物品的交接的位置处停止了行驶的起重机能够进行物品的交接的位置。

conveying system

The present invention provides a conveying system capable of swiftly handing over articles with a processing device. The conveying system (1A) has: an aerial conveyor (12), which runs on the first track (11) and can connect with the loading port (4) of the processing device (2); a storage rack (13), which has multiple shelves (41, 42) arranged in the vertical direction; and a crane (15), which runs on the second track (14) parallel to the first track, and can respectively connect with the loading port and the storage rack. The first temporary storage area (16) is disposed in a place where the traveling crane can carry out the handover of goods at the place where the handover of goods with the loading port is stopped.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送系统
本专利技术涉及输送系统。
技术介绍
输送系统例如利用在半导体器件的制造工厂等中对收容有半导体晶圆或者中间掩模的物品进行输送这种情况(例如，参照下述的专利文献1)。该输送系统具备：输送物品的高空输送车、和将物品与储物架交接的堆垛机。高空输送车例如向半导体制造装置等处理装置的装载端口搬入物品。储物架配置于半导体制造装置等处理装置的附近，在装载端口已经有物品的情况下，高空输送车例如向储物架的最上层的架搬入物品。堆垛机例如将搬入了储物架的最上层的架处的物品收纳于其他的架，或者在储物架与装载端口间移载物品。专利文献1:国际公开第2013/150859号上述那样的输送系统在与装载端口交接物品所需要的时间较长的情况下，导致处理装置的运转率降低。例如，若装载端口被等待搬出的物品堆满，则处理装置无法将新的物品搬入装载端口，从而运转率降低。另外，处理装置在向下一个处理转移时装载端口处没有物品的情况下，进行待机直至物品被运至装载端口，故运转率降低。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述的状况，目的在于提供能够在自身与处理装置之间迅速地交接物品的输送系统。本专利技术的输送系统具备：高空输送车，其在第一轨道上行驶，并能够与处理装置的装载端口进行物品的交接；储物架，其沿铅垂方向排列有多个收纳物品的架；起重机，其在与第一轨道平行的第二轨道上行驶，并能够分别与装载端口和储物架进行物品的交接；以及第一暂存区，其配置于在与装载端口进行物品的交接的位置处停止了行驶的起重机能够进行物品的交接的位置。另外，也可以是，高空输送车具备：使物品沿水平方向移动的横向移动机构，第一暂存区配置于高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置。另外，也可以是，第一暂存区配置于在与装载端口进行物品的交接的位置处停止了行驶的高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置。另外，也可以具备第二暂存区，该第二暂存区与第一暂存区邻接，并能够供起重机进行物品的交接。另外，也可以是，高空输送车具备：使物品沿水平方向移动的横向移动机构，第二暂存区配置于高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置。另外，也可以是，储物架与处理装置邻接配置，高空输送车能够与储物架的多个架中的最上层的架进行物品的交接。另外，也可以是，第一轨道设置于装载端口的正上方。在本专利技术中，第一暂存区配置于在与装载端口进行物品的交接的位置处停止了行驶的起重机能够交接物品的位置。因此，起重机能够在停止了行驶的状态下在第一暂存区与装载端口间移载物品。由此，输送系统能够在输送系统与处理装置之间迅速地交接物品。另外，高空输送车具备：使物品沿水平方向移动的横向移动机构，在第一暂存区配置于高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置的情况下，高空输送车能够在第一暂存区与装载端口之间移载物品，即使是例如起重机正在使用中，也能够通过高空输送车在其与处理装置之间迅速地交接物品。另外，在第一暂存区配置于在与装载端口进行物品的交接的位置处停止了行驶的高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置的情况下，在高空输送车停止了行驶的状态下，能够在第一暂存区与装载端口间移载物品，因此能够在输送系统与处理装置之间迅速地交接物品。另外，在具备与第一暂存区邻接且能够供起重机进行物品的交接的第二暂存区的情况下，能够增加能够保管与处理装置交接的物品的数量。另外，第二暂存区与第一暂存区邻接，因此起重机能够在装载端口与第二暂存区间迅速地移载物品，能够在输送系统与处理装置之间迅速地交接物品。另外，高空输送车具备：使物品沿水平方向移动的横向移动机构，在第二暂存区配置于高空输送车能够使用横向移动机构进行物品的交接的位置的情况下，高空输送车能够在第二暂存区与装载端口间移载物品，即使是例如起重机正在使用中，也能够通过高空输送车，在输送系统与处理装置之间迅速地交接物品。另外，在储物架与处理装置邻接配置，高空输送车能够与储物架的多个架中的最上层的架进行物品的交接的情况下，能够增加保管与处理装置交接的物品的数量。另外，在第一轨道设置于装载端口的正上方的情况下，高空输送车能够通过使物品从装载端口的正上方升降而交接物品，从而能够在输送系统与处理装置之间迅速地交接物品。附图说明图1是表示第一实施方式的输送系统的图。图2是表示物品和高空输送车的图。图3是高空输送车的横向移动机构的说明图。图4是表示储物架的立体图。图5是表示第一暂存区和第二暂存区的图。图6是表示移载部的动作和供第一暂存区配置的范围的图。图7是表示第二实施方式的输送系统的图。图8是表示第三实施方式的输送系统的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向作为Z方向，将水平方向作为X方向、Y方向。另外，在X、Y、Z各方向中，适当地将箭头侧称为+侧(例+X侧)，将其相反一侧称为－侧(例－Y侧)。[第一实施方式]对第一实施方式进行说明。图1是表示本实施方式的输送系统的图。图1的(A)是从+Z侧观察到的俯视图，图1的(B)是从－Y侧观察到的侧视图。输送系统1A例如设置于半导体器件的制造工厂，在处理装置2与保管物品的储料器(未图示)之间，或者在处理装置2与其他处理装置之间等输送物品3(后面图2也示出)。处理装置2例如是曝光装置、涂布机、制膜装置或者蚀刻装置等。处理装置2例如在interbay等排列多个。物品3例如是半导体器件的制造中使用的收容半导体晶圆的FOUP、或者收容中间掩模等加工用部件的中间掩模盒等容器等。处理装置2具备配置物品3的装载端口4。能够配置于装载端口4(参照+Y侧的处理装置2)的物品3的数量例如为两个，其中一个(用实线表示)是向处理装置2搬入的物品3，另一个(用虚线表示)是从处理装置2搬出的物品3。此外，能够配置于装载端口4的物品3的数量也可以是一个，也可以是三个。输送系统1A具备第一轨道11、高空输送车12、储物架13、第二轨道14、起重机15、第一暂存区16以及第二暂存区17。第一轨道11设置于无尘室等设备的顶棚18(参照图1的(B))等。第一轨道11例如沿着多个处理装置2排列的方向设置，并沿Y方向延伸。高空输送车12在第一轨道11上行驶，并能够与处理装置2的装载端口4进行物品3的交接。在本实施方式中，第一轨道11设置于装载端口4的正上方。即，第一轨道11铺设为在装载端口4的正上方通过。高空输送车12在将物品3向装载端口4交付时，保持物品3并在装载端口4的正上方停止行驶，使物品3向装载端口4下降。另外，高空输送车12在从装载端口4接受物品3时，在装载端口4的正上方停止行驶，使物品3从装载端口4上升。图2是表示物品和高空输送车的图。物品3具有：收容输送对象的半导体晶圆等的主体部21、和设置于主体部21的上方(+Z侧)并在由输送系统1A保持物品3时使用的连接部(此处采用凸缘部22)。高空输送车12通过把持物品3的凸缘部22，来保持物品3。凸缘部22具有：从主体部21向上方(+Z侧)延伸的柱状部24、和设置于柱状部24的末端侧的板状部25。板状部25例如为矩形板状，但也可以是圆板状。板状部25比柱状部24向外侧伸出。高空输送车12被称为OHT(OverheadHoistTransport)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送系统，其特征在于，具备：高空输送车，其在第一轨道上行驶，并能够与处理装置的装载端口进行物品的交接；储物架，其沿铅垂方向排列有多个收纳所述物品的架；起重机，其在与所述第一轨道平行的第二轨道上行驶，并能够分别与所述装载端口和所述储物架进行所述物品的交接；以及第一暂存区，其配置于在与所述装载端口进行所述物品的交接的位置处停止了行驶的所述起重机能够进行所述物品的交接的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.27 JP 2016-1261801.一种输送系统，其特征在于，具备：高空输送车，其在第一轨道上行驶，并能够与处理装置的装载端口进行物品的交接；储物架，其沿铅垂方向排列有多个收纳所述物品的架；起重机，其在与所述第一轨道平行的第二轨道上行驶，并能够分别与所述装载端口和所述储物架进行所述物品的交接；以及第一暂存区，其配置于在与所述装载端口进行所述物品的交接的位置处停止了行驶的所述起重机能够进行所述物品的交接的位置。2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述高空输送车具备：使所述物品沿水平方向移动的横向移动机构，所述第一暂存区配置于所述高空输送车能够使用所述横向移动机构进行所述物品的交接的位置。3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于，所述第一暂...

【专利技术属性】
技术研发人员：本告阳一，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP