The present invention provides a conveying system capable of swiftly handing over articles with a processing device. The conveying system (1A) has: an aerial conveyor (12), which runs on the first track (11) and can connect with the loading port (4) of the processing device (2); a storage rack (13), which has multiple shelves (41, 42) arranged in the vertical direction; and a crane (15), which runs on the second track (14) parallel to the first track, and can respectively connect with the loading port and the storage rack. The first temporary storage area (16) is disposed in a place where the traveling crane can carry out the handover of goods at the place where the handover of goods with the loading port is stopped.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送系统
本专利技术涉及输送系统。
技术介绍
输送系统例如利用在半导体器件的制造工厂等中对收容有半导体晶圆或者中间掩模的物品进行输送这种情况(例如，参照下述的专利文献1)。该输送系统具备：输送物品的高空输送车、和将物品与储物架交接的堆垛机。高空输送车例如向半导体制造装置等处理装置的装载端口搬入物品。储物架配置于半导体制造装置等处理装置的附近，在装载端口已经有物品的情况下，高空输送车例如向储物架的最上层的架搬入物品。堆垛机例如将搬入了储物架的最上层的架处的物品收纳于其他的架，或者在储物架与装载端口间移载物品。专利文献1:国际公开第2013/150859号上述那样的输送系统在与装载端口交接物品所需要的时间较长的情况下，导致处理装置的运转率降低。例如，若装载端口被等待搬出的物品堆满，则处理装置无法将新的物品搬入装载端口，从而运转率降低。另外，处理装置在向下一个处理转移时装载端口处没有物品的情况下，进行待机直至物品被运至装载端口，故运转率降低。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述的状况，目的在于提供能够在自身与处理装置之间迅速地交接物品的输送系统。本专利技术的输送系统具备：高空...
【技术保护点】
1.一种输送系统，其特征在于，具备：高空输送车，其在第一轨道上行驶，并能够与处理装置的装载端口进行物品的交接；储物架，其沿铅垂方向排列有多个收纳所述物品的架；起重机，其在与所述第一轨道平行的第二轨道上行驶，并能够分别与所述装载端口和所述储物架进行所述物品的交接；以及第一暂存区，其配置于在与所述装载端口进行所述物品的交接的位置处停止了行驶的所述起重机能够进行所述物品的交接的位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.27 JP 2016-1261801.一种输送系统，其特征在于，具备：高空输送车，其在第一轨道上行驶，并能够与处理装置的装载端口进行物品的交接；储物架，其沿铅垂方向排列有多个收纳所述物品的架；起重机，其在与所述第一轨道平行的第二轨道上行驶，并能够分别与所述装载端口和所述储物架进行所述物品的交接；以及第一暂存区，其配置于在与所述装载端口进行所述物品的交接的位置处停止了行驶的所述起重机能够进行所述物品的交接的位置。2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述高空输送车具备：使所述物品沿水平方向移动的横向移动机构，所述第一暂存区配置于所述高空输送车能够使用所述横向移动机构进行所述物品的交接的位置。3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于，所述第一暂...
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