减压干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种减压干燥装置，其进行基板上的溶剂的减压干燥处理和来自溶剂捕集部的溶剂的脱离处理两者，用简单的装置结构缩短上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间并均匀地干燥基板。减压干燥装置(1)包括：腔室(10)，其在底板(13)设置有排气口，收纳涂敷有溶液的基板；和每1m

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置
本专利技术涉及使收纳于腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置。
技术介绍
此前，已知有作为利用有机EL(Electroluminescence)的发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)。使用所系有机发光二极管的有机EL显示器不仅厚度薄、质量轻且耗电低，并且具有在反应速度、视角和对比度方面优异的优点，所以其作为下一代平板显示器(FPD)在近年备受关注。有机发光二极管具有在基板上的阳极与阴极之间夹着有机EL层的结构。有机EL层例如从阳极侧依次层叠有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层而形成。在形成这些有机EL层的各层(特别是空穴注入层、空穴输送层和发光层)时，例如使用以喷墨方式将有机材料的液滴排出在基板上的方法。在以喷墨方式排出在基板上的有机材料中含有大量的溶剂。因此，以除去溶剂为目的，会进行将基板上的溶液在减压状态下进行干燥的减压干燥处理(参照专利文献1)。具体而言，专利文献1的干燥装置包括：能够抽真空的处理容器；在处理容器内支承基板的载置台；和与支承于载置台的基板相对而设的、捕集从捕集基板上的有机材料膜挥发的溶剂的溶剂捕集部。该专利文献1的干燥装置的溶剂捕集部具有与基板表面大致平行地配置的金属制捕集板，在该捕集板形成有贯通开口。此外，专利文献1的干燥装置具有在干燥处理结束后，用于使由捕集板捕集的溶剂再度气化而使其从捕集板脱离的溶剂脱离装置。并且，专利文献1的干燥装置为了调节上述的捕集板的温度，具有由珀耳帖元件等构成的温度调整装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-199806号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题然而，为了缩短包含捕集/吸附于溶剂捕集部的溶剂的脱离处理所需的时间在内的干燥装置的处理时间，需要提高在溶剂捕集部的溶剂的捕集效率或提高来自溶剂捕集部的溶剂的气化效率。但是，在专利文献1的干燥装置中，为了提高溶剂捕集部即捕集板的溶剂的捕集效率或来自捕集板的溶剂的气化效率，使用了冷却或加热捕集板的温度调节装置，装置的构成复杂。关于该点，专利技术人在深度探讨后得到如下见解：如果使用热容较小的网状板作为溶剂捕集用的溶剂捕集网，则无需另行设置温度调节装置就能够提高在溶剂捕集部即溶剂捕集网的溶剂的捕集效率或来自溶剂捕集部的溶剂的气化效率。但是，随着讨论的进一步深入，在将热容较小的网状板用作溶剂捕集网的情况下，与基板的中央相比端部的干燥速度慢，在同一基板内有时无法使干燥时间均匀，即无法对基板均匀地进行干燥。本专利技术是鉴于上述问题完成的，目的在于提供如下所述的减压干燥装置：进行基板上的溶剂的减压干燥处理和来自溶剂捕集部的溶剂的脱离处理两者，且上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间短，装置的构成简单，能够对基板均匀地进行干燥。用于解决技术问题的技术方案为了达成上述目的，本专利技术提供一种减压干燥装置，其特征在于，包括：腔室，其在底板设置有排气口，收纳涂敷有溶液的基板；和每1m2的热容为850J/K以下的溶剂捕集部件，其在该腔室内设置于该腔室的顶板与上述基板之间，暂时地捕集从上述基板气化的上述溶液中的溶剂，上述减压干燥装置在上述腔室内使上述基板上的溶液在减压状态下干燥，上述减压干燥装置具有遮挡部件，上述遮挡部件从上述腔室的顶板延伸，遮挡在上述溶剂捕集部件的侧端与上述腔室的侧壁之间。优选上述遮挡部件的下端与上述溶剂捕集部件的下端相比位于下侧。优选上述遮挡部件的下端与上述溶剂捕集部件的下端在铅垂方向的距离为1cm以上。优选上述基板的侧端与上述遮挡部件在水平方向的距离为1cm以上。优选上述遮挡部件的每1m2的热容为286J/K以下。优选上述遮挡部件的每1m2的热容在上述溶剂捕集部件的每1m2的热容以下。优选上述溶剂捕集部件为由网状部件构成的溶剂捕集网。优选上述溶剂捕集网的开口率为60％以上且80％以下。优选从上述基板至上述溶剂捕集部件的距离为从上述基板至上述腔室的顶板的距离的40％以上且60％以下。专利技术效果根据本专利技术，能够用简单的装置构成在短时间内进行基板上的溶剂的减压干燥处理和来自溶剂捕集部的溶剂的脱离处理。此外，根据本专利技术，能够对基板均匀地进行干燥。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的减压干燥装置的概略构成的图。图2是用于说明溶剂捕集部的安装结构的图。图3是使用图1的减压干燥装置的减压干燥处理的说明图。图4是表示涂敷于基板W的溶液的溶剂的蒸气压曲线的一例的图。图5是表示在从排气开始起30秒后的、减压干燥装置内的溶剂捕集网的温度分布的模拟实验结果的图。图6是表示在从排气开始起16.5秒后的、减压干燥装置内的各区域的气体的温度、流向及流速的图。图7是将图6的减压干燥装置的端部部分放大示出的局部放大图。图8是表示基于图7的模拟实验结果的在减压干燥装置的端部部分的气体的流动的图。图9是对遮挡部件的作用效果进行说明的图。图10是遮挡部件的其他例子的说明图。附图标记说明1…减压干燥装置10…腔室11…侧壁部12…顶板13…底板13a…排气口14…遮挡部件20…载置台30…溶剂捕集部(基板干燥用捕集部)31…该溶剂捕集网31…溶剂捕集网31a…金属网板32…框体32a…耳部33…腿部40…排气装置42…APC阀50…红外线放射体50…该红外线放射体70…其他溶剂捕集部(干燥用捕集部)。具体实施方式以下，参照所附附图对本专利技术的实施方式进行说明。另外，在本说明书和附图中，对实质上具有相同功能结构的构成要素附相同的附图标记，进而省略重复说明。此外，本专利技术不限于以下所示的实施方式。图1是表示本专利技术的实施方式的减压干燥装置的概略构成的图，图1的(A)是表示减压干燥装置的构成的概略的剖视图，图1的(B)是表示减压干燥装置内的构成的概略的俯视图。图1的(A)中省略了用于支承后述溶剂捕集部的结构体的图示，图1的(B)中省略了上述结构体、后述顶板等的图示。图2是用于说明溶剂捕集部的安装结构的图，图2的(A)是减压干燥装置内的局部侧视图，图2的(B)是减压干燥装置中的溶剂捕集部的周围的局部仰视图。本实施方式的减压干燥装置将以喷墨方式涂敷在基板上的溶液在减压状态下进行干燥，本装置的处理对象的基板是例如有机EL显示器用的玻璃基板。另外，涂敷在本装置的处理对象的基板的溶液由溶质和溶剂构成，成为减压干燥处理的对象的成分主要是溶剂。作为包含于溶剂的有机化合物，高沸点的物质较多，例如，能够列举1,3-二甲基-2-咪唑啉酮(1,3-dimethyl-2-imidazolidinone，沸点220℃，熔点8℃)、4-叔丁基苯甲醚(4-tert-Butylanisole，沸点222℃，熔点18℃)、反式茴香脑(Trans-Anethole，沸点235℃，熔点20℃)、1,2-二甲氧基苯(1,2-Dimethoxybenzene，沸点206.7℃，熔点22.5℃)、2-甲氧基联苯(2-Methoxybiphenyl，沸点274℃，熔点28℃)、苯醚(PhenylEther，沸点258.3℃，熔点28℃)、2-乙氧基萘(2-Ethoxynaphthalene，沸点282℃，熔点35℃)、苄基苯基醚(BenzylPhenylEther，沸点288℃，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减压干燥装置，其特征在于，包括：腔室，其在底板设置有排气口，收纳涂敷有溶液的基板；和每1m2的热容为850J/K以下的溶剂捕集部件，其在该腔室内设置于该腔室的顶板与所述基板之间，暂时地捕集从所述基板气化的所述溶液中的溶剂，所述减压干燥装置在所述腔室内使所述基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置具有遮挡部件，所述遮挡部件从所述腔室的顶板延伸，遮挡在所述溶剂捕集部件的侧端与所述腔室的侧壁之间。

【技术特征摘要】
2017.08.10 JP 2017-1558371.一种减压干燥装置，其特征在于，包括：腔室，其在底板设置有排气口，收纳涂敷有溶液的基板；和每1m2的热容为850J/K以下的溶剂捕集部件，其在该腔室内设置于该腔室的顶板与所述基板之间，暂时地捕集从所述基板气化的所述溶液中的溶剂，所述减压干燥装置在所述腔室内使所述基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置具有遮挡部件，所述遮挡部件从所述腔室的顶板延伸，遮挡在所述溶剂捕集部件的侧端与所述腔室的侧壁之间。2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：所述遮挡部件的下端与所述溶剂捕集部件的下端相比位于下侧。3.如权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于：所述遮挡部件的下端与所述溶剂捕集部件的下端在铅垂方向上的距离为...

【专利技术属性】
技术研发人员：伏见直茂，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP