【技术实现步骤摘要】
一种实时质量预警及控制系统和方法
本专利技术涉及半导体及FPD领域,尤其涉及一种针对半导体工厂、液晶面板工厂的统计过程控制系统。
技术介绍
半导体以及FPD(FlatPanelDisplay:LCD、PDP、OLED等的总称)的制造工序非常多,使用的设备也非常多。其中,精密的设备也很多,如果设备的各部件随着时间老化,将对所生产的产品造成很大的影响。为了维持产品的质量,把握各工序中的微小征兆,在质量特性方面,保持稳定状态成为日常要务。不同设备在其中1个制造工序中可能产生数千条SPC(StatisticalProcessControl:统计过程控制系统)对象数据。例如在制造设备中处理的气体的流量、压力、温度等,像这样大量的数据手工处理时,需要庞大的人力、物力。所以系统化是必然的,SPC系统也即质量预警及控制系统则是处理大数据的有效工具。MES系统(ManufacturingExecutionSystem:制造执行系统)是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。MES系统可以为企业提供包括制造数据管理、计划排程管理、生产调度管理、库存管理、质量管理、人力资源管理 ...
【技术保护点】
1.一种实时质量预警及控制系统,其特征在于,包括数据获取单元、数据处理单元、状态判定与预警单元、数据存储单元;所述数据获取单元,外接MES系统,用于接收MES系统提供的数据,并根据数据所属判断模式获取SPC管理图所需数据;所述数据处理单元,与数据获取单元连接,用于将所获得的数据结合管理图类型、管理图规则进行处理并与历史数据结合生成SPC管理图并输出给状态判定及预警单元;所述状态判定及预警单元,外接MES系统,并与数据处理单元通讯,用于根据生成的SPC管理图与预先设定管理图规则进行状态判定及预警,并输出给MES系统;所述数据存储单元,与数据处理单元通讯,用于将所述数据处理单元 ...
【技术特征摘要】
1.一种实时质量预警及控制系统,其特征在于,包括数据获取单元、数据处理单元、状态判定与预警单元、数据存储单元;所述数据获取单元,外接MES系统,用于接收MES系统提供的数据,并根据数据所属判断模式获取SPC管理图所需数据;所述数据处理单元,与数据获取单元连接,用于将所获得的数据结合管理图类型、管理图规则进行处理并与历史数据结合生成SPC管理图并输出给状态判定及预警单元;所述状态判定及预警单元,外接MES系统,并与数据处理单元通讯,用于根据生成的SPC管理图与预先设定管理图规则进行状态判定及预警,并输出给MES系统;所述数据存储单元,与数据处理单元通讯,用于将所述数据处理单元生成的管理图数据进行保存,作为相应数据的历史数据。2.如权利要求1所述的一种实时质量预警及控制系统,其特征在于,所述数据所属判断模式包含以下:a、生产工序+测量工序模式,用于在指定生产工序及测量工序的数据接收时进行生产数据及测量结果数据的接收判断;b、生产设备+设备位置+测量工序模式,用于在指定生产设备及测量工序的数据接收时进行设备数据及设备位置和测量结果数据的接收判断;c、测量工序+生产工序+测量工序模式,用于在指定两个测量工序及生产工序的数据接收时进行测量结果数据及生产数据的接收判断;d、产品名称+测量工序模式,用于在指定产品名称及测量工序的数据接收时进行产品名称数据及测量结果数据的接收判断;e、产品名称+多个测量工序模式,用于在指定产品名称及多个测量工序的数据接收时进行产品名称数据及多个测量结果数据的接收判断;f、生产设备模式,用于在指定设备的数据接收时进行设备数据的接收判断...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈曦,冯宇,
申请(专利权)人:华经信息技术上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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