基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法和装校装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法和装校装置，解决现有人工装校精密度低缺少客观评估过程的技术问题。方法包括：通过应变组件采集精密调谐过程中同步腔镜姿态变化的应变信号；利用所述应变信号形成所述腔镜姿态变化的应变规律；在装校过程中根据所述应变规律调整腔镜姿态。通过应变组件记录了高精度调谐过程中腔镜姿态变化相应的应变信号变化，通过调谐衰荡信号过程中获得的应变信号可以量化形成腔镜基于微小姿态‑应变程度的应变规律，利用应变规律结合现有的衰荡信号变化可以形成半自动精密调校工艺，提升人工装校工艺质量和装校效率，可以成为激光衰荡腔自动化装校的基础。

【技术实现步骤摘要】
基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法和装校装置
本专利技术涉及激光光谱调测
，具体涉及一种基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校装置和装校方法。
技术介绍
现有技术中，利用激光腔衰荡光谱技术定性、定量测量气体成分与组分含量是利用时间信号作为测量参考的相干光谱测量手段，具有不受光强变化的影响、吸收光程长、精度高、快速灵敏等优点。测量系统包括连续可调谐激光器或脉冲激光器、高精度无源谐振腔、光电探头以及辅助控制系统等。检测过程一般由充气、阈值关断、目标波长吸收、时间信号测量、拟合数据，最终换算得到气体成分与组分含量。无源衰荡腔作为核心器件，其腔内模式特性、结构尺寸稳定性等作为关键特性直接影响系统性能表现。根据激光谐振腔工作原理决定系统测量精度的关键参数是波长稳定性与腔长稳定性(即模式匹配的稳定性)。通常采用精密结构设计以提高测量精度，包括利用低线膨胀系数材料制造无源谐振腔、利用压电陶瓷作为非可调元件驱动腔镜、利用高倍率放大观察设备做人工精密装校等。但是还会存在挂载可调补偿元件的情况，必须谐振腔保证变形在压电陶瓷变形范围内，通常为微米到亚微米级别。但是受观察视角、装校熟练度、环境干扰本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，包括：通过应变组件采集精密调谐过程中同步腔镜姿态变化的应变信号；利用所述应变信号形成所述腔镜姿态变化的应变规律；在装校过程中根据所述应变规律调整腔镜姿态。

【技术特征摘要】
1.一种基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，包括：通过应变组件采集精密调谐过程中同步腔镜姿态变化的应变信号；利用所述应变信号形成所述腔镜姿态变化的应变规律；在装校过程中根据所述应变规律调整腔镜姿态。2.如权利要求1所述的基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，所述通过应变组件采集精密调谐过程中同步腔镜姿态变化的应变信号包括：按照设计光路布置元件搭建所述激光衰荡腔；手动调谐所述激光衰荡腔，至观测仪器上出现检测信号完成初步调谐；在所述激光衰荡腔的腔镜结构上挂载所述应变组件和信号放大组件，通过所述信号放大组件将所述应变组件产生的应变信号传递至所述观测仪器；通过精密装校装置对腔镜进行精密调谐至所述检测信号最大值，保留所述精密调谐过程中的检测信号变化数据和精密调谐步骤数据。在所述精密调谐过程中同步采集所述应变信号形成应变信号变化数据。3.如权利要求2所述的基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，还包括：在结束所述精密调谐后撤下所述精密装校装置过程中同步采集所述应变信号，形成量化误差应变信号。4.如权利要求2所述的基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，所述利用所述应变信号形成所述腔镜姿态变化的应变规律包括：根据所述精密调谐步骤数据和所述应变信号变化数据形成所述腔镜的空间姿态-应变信号的有效应变范围；对所述有效应变范围内数据进行优化，形成与所述腔镜姿态对应的应变规律。5.如权利要求2所述的基于应变信号复现的激光衰荡腔精密装校方法，其特征在于，所述在装校过程中根据所述应变规律调整腔镜姿态包括：挂载刚性腔镜连接架，通过促动装置调节所述所述腔镜姿态；在调校腔镜姿态过程中利用所述观测仪器获取实时应变信号，调整所述腔镜姿态使实时应变信号趋于对应的所述应变规律。通过观察检测信号的衰荡时间，检验是否复现精密调谐状态，当与所述精...

【专利技术属性】
技术研发人员：王嵩梅，张涛，刘广义，马瑞莉，张海梁，杨军红，马旭卿，
申请(专利权)人：北京市燃气集团有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11