一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层‑驱动层‑载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，适用于薄片工件的加工。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法
本专利技术涉及精密加工领域，具体为一种真空吸附式游星轮夹具。
技术介绍
随着科学技术的发展，薄片工件在众多领域扮演着重要角色，如计算机磁盘、光学镜片和半导体衬底等。这类工件通常要求具有很高的表面平整度和表面质量。研磨和抛光属于精密加工，是薄片工件常用的加工手段。薄片工件经过平面研磨能够获得微米级的表面平整度，经过抛光则能获得极低的表面粗糙度。双面行星研磨/抛光则是指在双面行星研磨/抛光设备上进行研磨/抛光加工，由于双面行星研磨/抛光时工件的上下两个表面同时进行材料去除，因此加工效率比传统的单面研磨/抛光更高，同时，因为双面行星研磨/抛光时磨粒运动轨迹更加复杂和均匀，所以工件表面质量也更好。以上优点使得双面行星研磨/抛光成为薄片工件加工的首选方式。然而，双面行星研磨/抛光存在着一定的局限：(1)传统的双面行星研磨/抛光要求游星轮夹具的厚度必须小于工件厚度。以半导体衬底为例，出于对缩减材料成本的需求，衬底的厚度规格呈现越来越薄的趋势，相应的，游星轮的厚度也越来越薄。这使得游星轮的强度变得难以保证，在加工过程中更加容易发生翘曲、变形的现象，导致衬底破损本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空吸附式游星轮夹具，其特征在于包括：载片层、驱动层、密封圈和气门芯；所述载片层设置在驱动层的上表面和下表面形成夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；所述载片层与驱动层在相向的一侧分别设置有沿着周向延伸的密封圈槽，所述密封圈放置于载密封圈槽中；所述载片层背向驱动层的一侧设置有螺纹孔，所述气门芯则螺接于螺纹孔中；该载片层上绕着载片层的中心旋转对称分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。

【技术特征摘要】
1.一种真空吸附式游星轮夹具，其特征在于包括：载片层、驱动层、密封圈和气门芯；所述载片层设置在驱动层的上表面和下表面形成夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；所述载片层与驱动层在相向的一侧分别设置有沿着周向延伸的密封圈槽，所述密封圈放置于载密封圈槽中；所述载片层背向驱动层的一侧设置有螺纹孔，所述气门芯则螺接于螺纹孔中；该载片层上绕着载片层的中心旋转对称分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。2.根据权利要求书1所述一种真空吸附式游星轮夹具，其特征在于：所述驱动层的外周沿着周向分布有齿尖；所述齿尖的形状和个数依据所使用加工设备具体情况而定。3.根据权利要求书1所述一种真空吸附式游星轮夹具，其特征在于：所述载片槽的深度在100～1000μm范围内，具体深度根据零件厚度而定，载片槽的形状可以是圆形、方形或其他形状，具体形状和尺寸需根据工件...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖志远，胡中伟，林琳，徐西鹏，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：发明
国别省市：福建,35