The utility model relates to an observation window assembly and a reaction chamber for a reaction chamber. The observation window assembly for a reaction chamber includes: a subjective observation window, including a relatively arranged installation surface and an observation surface; a sleeve, a sleeve, is arranged on the installation surface of a subjective observation window, and the axis of the sleeve is perpendicular to the installation surface; a secondary observation window, a secondary observation window, is arranged in the inner space of the sleeve, and the sleeve is arranged in the inner space along the axis of the sleeve. The part space is separated into the first space and the second space, which are separated from each other, and the second space is close to the installation surface. The observation window assembly used in the reaction chamber can effectively prevent the plasma bombardment of the subjective observation window and protect the subjective observation window. When replacing, only the sleeve is taken out as a whole and the secondary observation window is replaced. It is not necessary to replace the subjective observation window. It is easy to operate and does not cause the sealing reduction or need to be re-sealed due to the removal of the subjective observation window.
【技术实现步骤摘要】
反应腔室用观察窗组件及反应腔室
本技术涉及半导体制造设备领域,具体涉及一种反应腔室用观察窗组件及反应腔室。
技术介绍
观察窗在半导体等离子体真空设备中主要起到观察真空腔室内部情况(如启辉观察、晶圆片的位置和状态观察等)和光谱采集分析等作用。其中光谱采集分析采用在线监测方式,信号采集光纤接收透过观察窗的等离子体辉光,传输至光谱分析仪,分析反馈结果作为判断等离子强度和成分的有效依据。因此,实际运行中需要保证观察窗的透光性能满足要求,一般采用定期或者额定工作时间进行更换的方式。现有等离子体真空腔室观察窗结构主要包括观察窗、密封圈和套筒。观察窗通过套筒和密封圈密封设置于真空腔室的腔体侧壁上。光谱采集光纤通过光谱采集光纤固定架固定于观察窗。等离子体真空腔室内部产生等离子体时,等离子体辉光通过套筒的内孔,透过观察窗,被光谱采集光纤实时采集,光谱信号通过光纤传递至光谱分析仪,经光谱分析仪分析,反馈相关数据,用于检测等离子体的稳定性及工艺气体的供给配比,实现在线分析及监测。在现有的观察窗结构中,观察窗布置在真空腔室外侧,套筒布置于真空腔室内侧,套筒上设置轴肩,防止套筒移动。由于观察窗的真空侧与等离子体直接接触,长时间工作后表面会沉积一层膜,影响观察窗的透光性,信号采集出现偏差,因此需要定期或者额定工作时间更换观察窗。更换观察窗时需拆卸光谱采集光纤固定架,且由于外部空间原因,拆装维护较困难。综上所述,现有技术的主要缺点在于:1、观察窗的真空侧受到等离子体的轰击,表面沉积物会影响透光性,影响光谱采集,需定期更换;2、观察窗既承受真空压力,又要具有较高的透光性能,厚度大,材料要 ...
【技术保护点】
1.一种反应腔室用观察窗组件,其特征在于,包括:主观察窗,包括相对设置的安装表面和观察表面;套筒,所述套筒设于所述安装表面,且所述套筒的轴向垂直于所述安装表面;和次观察窗,所述次观察窗设于所述套筒的内部空间中,沿着所述套筒的轴向将所述套筒的内部空间分隔为相互隔离的第一空间和第二空间;所述第二空间靠近所述安装表面。
【技术特征摘要】
1.一种反应腔室用观察窗组件,其特征在于,包括:主观察窗,包括相对设置的安装表面和观察表面;套筒,所述套筒设于所述安装表面,且所述套筒的轴向垂直于所述安装表面;和次观察窗,所述次观察窗设于所述套筒的内部空间中,沿着所述套筒的轴向将所述套筒的内部空间分隔为相互隔离的第一空间和第二空间;所述第二空间靠近所述安装表面。2.根据权利要求1所述的反应腔室用观察窗组件,其特征在于,所述第一空间的内壁设有环形凹槽。3.根据权利要求1所述的反应腔室用观察窗组件,其特征在于,在所述套筒的内壁上设有环形台阶,所述环形台阶朝向所述主观察窗的表面形成环形定位面,所述次观察窗固定于所述环形定位面上。4.根据权利要求3所述的反应腔室用观察窗组件,其特征在于,在所述次观察窗的朝向所述安装表面的一侧设有次观察窗定位件。5.根据权利要求1所述的反应腔室用观察窗组件,其特征在于,所述套筒的外壁上设有密封槽,所述密封槽内设有套筒轴向密封件。...
【专利技术属性】
技术研发人员:李一成,茅兴飞,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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