反射型空间光调制器、光观察装置和光照射装置制造方法及图纸

反射型空间光调制器包括：相对介电常数为1000以上的钙钛矿型的电光晶体；光输入输出部，其具有配置于电光晶体的输入面且透过输入光的第一电极；光反射部，其具有配置于电光晶体的背面的多个第二电极，将输入光向光输入输出部反射；驱动电路，其具有与光反射部的多个第二电极分别对应的多个驱动电极，向多个驱动电极分别输入电信号而向第一电极与第二电极之间施加电场；和电极连接部，其具有以多个第二电极和与多个第二电极对应的多个驱动电极相互电连接的方式配置的多个凸块。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】反射型空间光调制器、光观察装置和光照射装置
本专利技术涉及反射型空间光调制器、光观察装置和光照射装置。
技术介绍
例如在专利文献1和专利文献2中公开有电光元件。该电光元件包括基板、层叠于基板的强电介质的KTN(KTa1-xNbxO3)层、配置于KTN层的前面的透明电极和配置于KTN层的后面的金属电极。KTN根据温度采用4个晶体结构，在为钙钛矿型的晶体结构时作为电光元件使用。这样的KTN层在形成于金属电极上的晶种层之上形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-89340号公报专利文献2：日本特开2014-89341号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在上述那样的电光元件中，KTN层的相对介电常数高且晶种层的相对介电常数低的情况下，存在即使向电极间施加电场也不能对KTN层施加足够的电场的可能性。因此，具有通过向晶种层添加导电性物质而赋予晶种层以导电性，向KTN层施加电场的方式。但是，例如在电光元件的金属电极呈矩阵状形成有多个的情况下，存在当赋予晶种层以导电性时，输入到多个金属电极的电信号发生混杂，调制精度不稳定的担忧。实施方式的目的在于提供能够抑制输入到多个电极的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反射型空间光调制器，其特征在于，是调制输入光并将调制后的调制光输出的反射型空间光调制器，包括：钙钛矿型的电光晶体，其具有输入所述输入光的输入面和作为所述输入面的相反侧的面的背面，相对介电常数为1000以上；光输入输出部，其具有配置于所述电光晶体的所述输入面且透过所述输入光的第一电极；光反射部，其具有配置于所述电光晶体的所述背面的多个第二电极，将所述输入光向所述光输入输出部反射；驱动电路，其具有与所述光反射部中的所述多个第二电极分别对应的多个驱动电极，向所述多个驱动电极分别输入电信号而向所述第一电极与所述第二电极之间施加电场；和电极连接部，其具有以所述多个第二电极和与所述多个第二电极对应...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.06 JP 2016-1128501.一种反射型空间光调制器，其特征在于，是调制输入光并将调制后的调制光输出的反射型空间光调制器，包括：钙钛矿型的电光晶体，其具有输入所述输入光的输入面和作为所述输入面的相反侧的面的背面，相对介电常数为1000以上；光输入输出部，其具有配置于所述电光晶体的所述输入面且透过所述输入光的第一电极；光反射部，其具有配置于所述电光晶体的所述背面的多个第二电极，将所述输入光向所述光输入输出部反射；驱动电路，其具有与所述光反射部中的所述多个第二电极分别对应的多个驱动电极，向所述多个驱动电极分别输入电信号而向所述第一电极与所述第二电极之间施加电场；和电极连接部，其具有以所述多个第二电极和与所述多个第二电极对应的所述多个驱动电极相互电连接的方式配置的多个凸块。2.如权利要求1所述的反射型空间光调制器，其特征在于，还包括具有输入所述输入光的第一面和作为所述第一面的相反侧的面的第二面的透明基板，所述透明基板的所述第二面与所述光输入输出部的所述输入面彼此相对。3.如权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽国治，田中博，丰田晴义，大林宁，酒井宽人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP