力感测元件制造技术

公开了力感测元件的各示例。用于形成力传感器的示例方法包括将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中，蒸发该液体载体，以及封装该电极对和中空球导电聚合物以形成力传感器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】力感测元件
技术介绍
力传感器可被用于测量力、压力和/或应力的变化。此类传感器可具有许多不同的用途。例如，力传感器可被用于测量重量、监测结构组件的完整性、以及用作计算设备的用户输入设备。概述公开了涉及被配置为感测相对小的力的力传感器的示例。一个公开的示例提供了一种用于形成力传感器的方法，该方法包括将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中，蒸发该液体载体，以及封装该电极对和中空球导电聚合物。提供本概述以便以简化的形式介绍以下在详细描述中进一步描述的概念的选集。本概述并不旨在标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求保护的主题的范围。此外，所要求保护的主题不限于解决在本公开的任一部分中提及的任何或所有缺点的实现。附图简述图1A示出了示例力感测元件的俯视图，而图1B示出了图1A的力传感器的视图，其中中空球导电聚合物矩阵被设置在第一和第二电极之间。图2A示出了另一示例力感测元件的俯视图，而图2B示出了图2A的力传感器的视图，其中中空球导电聚合物矩阵被设置在第一和第二电极之间。图3是例示用于制造力感测元件的示例方法的流程图。图4示出了包括示例力感测元件的示例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种方法，包括：将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中；蒸发所述液体载体；以及封装所述电极对和中空球导电聚合物以形成力传感器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.01 US 15/170,8771.一种方法，包括：将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中；蒸发所述液体载体；以及封装所述电极对和中空球导电聚合物以形成力传感器。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述中空球导电聚合物包括中空球聚吡咯，并且其中所述液体载体包括极性溶剂。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：通过将单体与氧化剂和交联剂混合来合成所述中空球导电聚合物，其中在合成后，所述中空球导电聚合物固化；恢复经固化的中空球导电聚合物；以及将经恢复的中空球导电聚合物悬浮在所述液体载体中以形成所述中空球导电聚合物的所述悬浮液。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，将所述经恢复的中空球导电聚合物悬浮在所述液体载体中包括在所述液体载体中超声地搅拌所述经恢复的中空球导电聚合物。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述中空球导电聚合物的所述悬浮液印刷在所述电极对上包括将所述中空球导电聚合物的所述悬浮液印刷在指叉式电极对上。6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述中空球导电聚合物的所述悬浮...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·马，J·D·霍尔贝利，A·丘里科夫，F·P·里贝罗，
申请(专利权)人：微软技术许可有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US