有机发光显示装置及制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种有机发光显示装置及制备方法，包括：基底；形成在所述基底上的有机发光器件；形成在所述有机发光器件上的薄膜封装层，所述薄膜封装层包括无机材料层；所述无机材料层包括至少两层无机膜的叠层，且相邻两层所述无机膜的折射率、内应力、硬度以及弹性模量中的至少一个参数不同。本发明专利技术实施例提供了一种有机发光显示装置及制备方法，薄膜封装层中无机材料层包括多层无机膜的叠层，且相邻两层无机膜的致密度、内应力、硬度或者弹性模量中的至少一个参数不同，可以避免水氧入侵，提升有机发光显示装置耐弯折性能，解决弯折过程中易产生裂纹的问题。

Organic light-emitting display device and preparation method

The embodiment of the present invention provides an organic light-emitting display device and a preparation method, including: a substrate; an organic light-emitting device formed on the substrate; a thin film packaging layer formed on the organic light-emitting device, which comprises an inorganic material layer; the inorganic material layer comprises at least two layers of inorganic film lamination, and the refractive index of the inorganic film adjacent to the two layers; At least one parameter of internal stress, hardness and modulus of elasticity is different. The embodiment of the present invention provides an organic light-emitting display device and a preparation method. The inorganic material layer in the film packaging layer includes layers of multi-layer inorganic films, and at least one parameter of the density, internal stress, hardness or elastic modulus of the adjacent two inorganic films is different, which can avoid the invasion of water and oxygen, improve the bending resistance of the organic light-emitting display device, and solve the problem of easy bending process. The problem of cracking.

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及制备方法
本专利技术实施例涉及半导体
，尤其涉及一种有机发光显示装置及制备方法。
技术介绍
电子器件尤其是有机电子器件对空气中的水汽和氧气特别敏感，因此需要对有机器件进行封装以保证器件的性能和使用寿命。有机发光显示装置通常包括用于阻挡氧气和水汽的密封结构，现有技术中经常在薄膜密封结构中使用高密度无机层以有效地阻止水汽和氧气渗透进显示器。现有技术中的薄膜封装结构为无机层、有机层的多层叠层结构，然而，致密的无机层阻挡水氧能力虽较高，但是达到一定厚度时则表现为刚性结构，在柔性显示器弯折使用过程中易因应力产生缺陷或者裂纹甚至碎裂，水氧便会从缺陷处渗入有机发光显示器件中，以至于影响机发光显示装置中的有机发光材料的性能。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种有机发光显示装置及制备方法，可以避免水氧入侵，提升有机发光显示装置耐弯折性能，解决弯折过程中易产生裂纹的问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种有机发光显示装置，包括：基底；形成在所述基底上的有机发光器件；形成在所述有机发光器件上的薄膜封装层，所述薄膜封装层包括无机材料层；所述无机材料层包括至少两层无机膜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光显示装置，其特征在于，包括：基底；形成在所述基底上的有机发光器件；形成在所述有机发光器件上的薄膜封装层，所述薄膜封装层包括无机材料层；所述无机材料层包括至少两层无机膜的叠层，且相邻两层所述无机膜的折射率、内应力、硬度以及弹性模量中的至少一个参数不同。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示装置，其特征在于，包括：基底；形成在所述基底上的有机发光器件；形成在所述有机发光器件上的薄膜封装层，所述薄膜封装层包括无机材料层；所述无机材料层包括至少两层无机膜的叠层，且相邻两层所述无机膜的折射率、内应力、硬度以及弹性模量中的至少一个参数不同。2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述薄膜封装层还包括有机材料层；所述有机材料层和所述无机材料层叠层设置。3.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述相邻两层所述无机膜中折射率小的数值范围为大于或等于1.7，小于或等于1.9；所述相邻两层所述无机膜中折射率大的数值范围为大于1.9，小于或等于2.4。4.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述相邻两层所述无机膜中内应力较低的内应力数值范围为小于或等于100Mpa；所述相邻两层所述无机膜中内应力较高的内应力数值范围为大于100MPa。5.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，每层所述无机膜的厚度为大于或等于1nm，小于或等于1000nm。6.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述无机材料层的厚度为大于或等于50nm，小于或等于2000nm。7.根据权利要求1所述的显示装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：濮丹凤，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31