旋转式分选机的自动化制造技术

在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。

【技术实现步骤摘要】
旋转式分选机的自动化
本公开内容的方面通常涉及从分选装置(诸如旋转分选单元)装载和卸载料箱。
技术介绍
基于检验标准使用分选单元(诸如旋转式分选机)分选基板。基于检查标准，通过分选单元将所检查的基板放入多个料箱中的一个。一旦料箱被所分选的基板填满，就将满的料箱移除并替换为空的料箱，以便有助于对基板的另外分选。移除满的料箱并替换为空的料箱是由操作人员手动执行的常规操作。然而，手动移除和替换存在若干缺点。例如，如果没有及时移除满的料箱，那么分选单元有可能将使料箱过载或试图使料箱过载，从而导致基板损坏。另外，如果没有及时放置替换料箱以接收所分选的基板，那么也有可能发生对所分选的基板的损坏。在可能停止旋转式分选机以允许料箱的移除和替换而不损坏基板的常规操作中，产量降低。因此，需要用于装载和卸载分选单元的料箱的改进的方法和设备。
技术实现思路
在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板通过分选系统被分选到这些料箱中。分选单元还包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在另一示例中，一种检验系统包括装载单元、模块单元(模块单元包括一个或多个计量站)以及分选单元。分选单元包括分选系统、多个料箱(基板通过分选系统被分选到这些料箱中)以及料箱搬运装置。料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，一种操作分选单元的方法包括基于检验标准而将多个基板分选到多个料箱中的相应料箱中，并且确定多个料箱中的料箱中的一个处于满的或接近满的状态；响应于确定而将空的料箱与料箱搬运装置的第一终端受动器接合，并且移动带有空的料箱的料箱搬运装置以邻近于满的或接近满的料箱。将满的或接近满的料箱与料箱搬运装置的第二终端受动器接合，并且利用空的料箱替换满的或接近满的料箱。附图说明为了能够详细理解本公开内容的上述特征结构所用方式，可以参考各个方面得到上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述，其中一些方面在附图中示出。然而，应当注意，附图仅示出了示例性的方面，并且因此不应被视为对范围的限制，因为本公开内容可允许其它同等有效的方面。图1A是根据本公开内容的一个方面的检验系统的示意性顶部平面图。图1B是根据本公开内容的一个方面的图1A的检验系统的高速旋转式分选机的示意性顶部平面图。图1C是根据本公开内容的一个方面的图1B的高速旋转式分选机的示意性侧视图。图2是根据本公开内容的一个方面的制造设备的示意性平面图。为了有助于理解，已尽可能使用相同参考数字标示附图间共有的相同元件。设想一个方面的元件和特征结构可有利地并入其它方面，而无需进一步叙述。具体实施方式在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板通过分选系统被分选到这些料箱中。分选单元还包括了料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，一种操作分选单元的方法包括基于检验标准而将多个基板分选到多个料箱中的相应料箱中，并且确定多个料箱中的料箱中的一个处于满的或接近满的状态；响应于确定而将空的料箱与料箱搬运装置的第一终端受动器接合，并且移动带有空的料箱的料箱搬运装置以邻近于满的或接近满的料箱。将满的或接近满的料箱与料箱搬运装置的第二终端受动器接合，并且利用空的料箱替换满的或接近满的料箱。图1A示出根据一个方面的检验系统100的顶部平面图。图1B示出了根据一个方面的图1A的检验系统100的分选单元106的顶部平面图。图1C是根据一个方面的图1B的旋转式分选机的示意性侧视图。为了有助于说明，将结合地说明图1A-图1C。检验系统100包括前端102、模块单元104和分选单元106。前端102可为例如装载单元。前端102帮助基板110经由机器人108从装载盒112传送到模块单元104。机器人108将基板110定位在输送系统114上，输送系统将基板传送通过模块单元104并传送到分选单元106。模块单元104可为例如计量单元，并且可以包括一个或多个计量站。在图1A-图1C的方面中，模块单元104包括五个计量站116A-116E，这五个计量站被配置为在基板110被传送而通过输送系统114上的模块单元104时检验基板110。设想还可通过向模块单元104添加或减少计量站来修改检验系统100。计量站可以包括例如以下项中的任意项：微裂(micro-crack)检验单元、厚度测量单元、电阻率测量单元、光致发光单元、几何结构检验单元、刀痕(sawmark)检测单元、色斑(stain)检测单元、芯片检测单元和/或晶体分数(crystalfraction)检测单元。微裂检验单元可以被配置为检验基板是否存在裂纹以及可选地确定基板的晶体分数。几何结构检验单元可以被配置为分析基板表面性质。刀痕检测单元可以被配置为识别基板上的刀痕，包括凹槽、台阶和双台阶状痕迹。设想也可利用上文未列出的其它计量站。在模块单元104中完成基板检验后，基板110被输送系统114传送到分选单元106，以便根据检验结果进行分选。为了有助于分选，基板110被递送到容纳在分选单元106内的旋转分选系统120。在一个示例中，输送系统114可以继续通过分选单元106到达连接器191，从而允许基板110绕过旋转分选系统120例如到达另一系统。附加地或替代地，连接器191可耦接到另一输送系统。在这个示例中，可将料箱140装载到与连接器191相邻的输送装置114上，以有助于将料箱传送到另一输送系统(或从另一输送系统接收料箱)。检验系统100还可包括控制器190。控制器有助于系统100的控制和自动化。控制器190可耦接到输送系统114、前端102、模块单元104、分选单元106、传送机器人108和/或计量站116A-116E中的一个或多个,或者控制器190与所述一个或多个通信。检验系统100可向控制器190提供关于基板移动、基板传送、基板分选和/或所执行的计量的信息。控制器190包括中央处理单元(CPU)、存储器和支持电路(或I/O)。CPU可以是用于工业环境以控制各种处理过程和硬件(例如，图形发生器(patterngenerator)、电动机和其它硬件)和监测处理过程(例如，处理时间和基板定位或位置)的任意形式计算机处理器中的一者。存储器被连接到CPU，并且可以是容易获得的存储器中的一种或多种，诸如随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、软盘、硬盘或任何其它形式数字存储装置(无论本地还是远程)。软件指令和数据可被编码并且存储在存储器内以便指示CPU。支持电路也连接到CPU，以便支持处理器。支持电路可以包括高速缓存、电源、时钟电路、输入/输出电路、子系统等等。可被控制器190读出的程序(或计算机指令)确定可在基板上执行的任务。程序可以是可被CPU读出的软件，并且可以包括代码以监测和控制例如处理时间和基板在检验系统100内的定位或位置。图1B示出了根据一个方面的图1A的检验系统100的分选单元106的顶部平面图。分选单元106包括旋转分选系统120，旋转分选系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。

【技术特征摘要】
2017.07.21 US 62/535,270;2017.09.19 US 15/708,9431.一种分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。2.如权利要求1所述的分选单元，其中所述多个料箱被布置成圆形布局，并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。3.如权利要求2所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。4.如权利要求3所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器同时绕着所述弧形路径移动。5.如权利要求1所述的分选单元，其中所述料箱搬运装置包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。6.如权利要求5所述的分选单元，其中所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件，所述基板夹持件垂直地定位在所述多个料箱上方。7.如权利要求6所述的分选单元，进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置定位在所述可旋转支撑件下方。8.一种检验系统，包括：装载单元；模块单元，所述模块单元包括一个或多个计量站；以及分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。9.如权利要求8所述的检验系统，进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置从所述装载单元延伸而穿过所述模块单元，并且到达所述分选单元。10.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯·J·施托佩尔，阿萨夫·施勒岑杰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US