旋转式分选机的自动化制造技术

在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。

【技术实现步骤摘要】
旋转式分选机的自动化
本公开内容的方面通常涉及从分选装置(诸如旋转分选单元)装载和卸载料箱。
技术介绍
基于检验标准使用分选单元(诸如旋转式分选机)分选基板。基于检查标准，通过分选单元将所检查的基板放入多个料箱中的一个。一旦料箱被所分选的基板填满，就将满的料箱移除并替换为空的料箱，以便有助于对基板的另外分选。移除满的料箱并替换为空的料箱是由操作人员手动执行的常规操作。然而，手动移除和替换存在若干缺点。例如，如果没有及时移除满的料箱，那么分选单元有可能将使料箱过载或试图使料箱过载，从而导致基板损坏。另外，如果没有及时放置替换料箱以接收所分选的基板，那么也有可能发生对所分选的基板的损坏。在可能停止旋转式分选机以允许料箱的移除和替换而不损坏基板的常规操作中，产量降低。因此，需要用于装载和卸载分选单元的料箱的改进的方法和设备。
技术实现思路
在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板通过分选系统被分选到这些料箱中。分选单元还包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在另一示例中，一种检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。

【技术特征摘要】
2017.07.21 US 62/535,270;2017.09.19 US 15/708,9431.一种分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。2.如权利要求1所述的分选单元，其中所述多个料箱被布置成圆形布局，并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。3.如权利要求2所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。4.如权利要求3所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器同时绕着所述弧形路径移动。5.如权利要求1所述的分选单元，其中所述料箱搬运装置包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。6.如权利要求5所述的分选单元，其中所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件，所述基板夹持件垂直地定位在所述多个料箱上方。7.如权利要求6所述的分选单元，进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置定位在所述可旋转支撑件下方。8.一种检验系统，包括：装载单元；模块单元，所述模块单元包括一个或多个计量站；以及分选单元，包括：分选系统；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。9.如权利要求8所述的检验系统，进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置从所述装载单元延伸而穿过所述模块单元，并且到达所述分选单元。10.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯·J·施托佩尔，阿萨夫·施勒岑杰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US