The invention provides a preparation method of a Mo/Ag laminated composite material with high density and high interfacial bonding. In this method, Ag was implanted into Mo layer by ion implantation technology to form Mo/Ag alloy layer, then Ag layer was deposited by magnetron sputtering technology, using the bombardment effect of high-energy silver ions on Mo layer surface during magnetron sputtering, a smooth and compact Ag layer was deposited, and finally, the atoms at Mo/Ag interface were dispersed by annealing treatment to form Metallurgical bonding. The prepared Mo/Ag laminated composites have high density and desire for high interfacial bonding. They can be used in occasions requiring high density and interfacial bonding, such as solar cell interconnects for space vehicles.
【技术实现步骤摘要】
一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法
本专利技术涉及复合材料
，具体涉及一种一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法。
技术介绍
空间飞行器太阳能电池阵的串并联以及电流的引出都是通过互连片来实现。银(Ag)具有优异的导电性和良好的可焊接性，通常被用作空间太阳能电池阵互连片材料。低地球轨道运行的飞行器面临原子氧、高低温交变、离子辐照等环境条件的影响，采用纯Ag箔制成的互连片在恶劣环境条件的影响下容易发生氧化剥蚀、疲劳开裂等失效，严重制约了飞行器的长寿命可靠运行。钼(Mo)具有低的热膨胀系数、良好的导电性和高温机械强度，通过制备Mo-Ag层状复合材料，将二者的优点相结合，是解决空间互连片材料抵抗高低温冲击和原子氧侵蚀的有效途径。但是由于钼银两种金属互不固溶，很难形成合金，因此制备具有良好界面结合强度的钼银层状复合材料是一大挑战。目前国内外制备Mo/Ag层状复合材料主要是通过电镀的方法。中国专利201110008862.5公开了太阳能电池互连片用钼/银层状金属基复合材料与制备工艺，其通过在钼箔表面离子注入Ag，再电镀Ag层的方法...
【技术保护点】
1.一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：在Mo层表面首先离子注入Ag，然后采用磁控溅射技术沉积Ag层，最后进行退火处理。
【技术特征摘要】
1.一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：在Mo层表面首先离子注入Ag，然后采用磁控溅射技术沉积Ag层，最后进行退火处理。2.如权利要求1所述的高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：在进行离子注入Ag之前，对Mo层进行表面刻蚀处理。3.如权利要求2所述的高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：刻蚀之前对Mo层进行表面清洗处理。4.如权利要求1所述的高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：在Mo层表面离子注入Ag的过程为：将Mo层置于离子注入机的真空腔体中，以金属Ag作为阴极材料，抽真空至小于1×10-3Pa后开始离子注入Ag；作为优选，所述注入电压为20KV～80KV；作为优选，所述的注入剂量为1×1017～5×1017ions/cm2。5.如权利要求1所述的高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法，其特征是：采用磁控溅射技术沉积Ag层的过程为：经离子注入Ag处理后的Mo层置于真空镀膜腔体...
【专利技术属性】
技术研发人员：王立平，姜欣，蒲吉斌，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。