The invention relates to a platinum zirconium lead titanate nanocomposite ferroelectric film material and a preparation method thereof. Using water, acetic acid and isopropanol as solvents, chloroplatinic acid, lead acetate, zirconium n-propanol and titanium isopropoxide as solutes, a yellowish transparent solution was obtained. Pt/Ti/SiO 2/Si substrate was placed on a rotary kiln tester, and the prepared solution was dripped onto Pt/Ti/SiO 2/Si substrate to obtain raw material film; raw material film was dried and air-cooled; platinum-zirconium-titanium was prepared by repeated spinning, drying and air-cooling for many times. Lead acid nanocomposite ferroelectric thin films. The ferroelectric residual polarization strength of the film material is 37_47_C/cm.
【技术实现步骤摘要】
一种铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料及制备方法
本专利技术属于功能材料和微电子器件领域，具体提供一种铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料及制备方法。
技术介绍
铁电薄膜材料是一类具有自发极化，且自发极化能够随着外电场所转向的功能薄膜材料。锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)铁电薄膜具有优良的介电、压电、热电和铁电性能，在铁电存储器，薄膜电容器和微机电系统等领域具有非常广泛的应用。尤其是当Pb:Zr:Ti=1:0.52:0.48时，PZT处于四方相和菱方相共存的准同型相界，电场很容易使极化翻转，薄膜的性能尤为突出，表现为剩余极化强度高，相变温度较低，介电常数较高。用于铁电存储器的PZT块体材料和PZT薄膜材料的性能比较，薄膜材料的相应性能不如块体材料的性能，这主要是因为薄膜生长的衬底具有铁电薄膜-电极-基片的界面效应和薄膜尺寸效应，它们都会对PZT薄膜性能造成影响。在铁电薄膜的上、下两个界面处均存在着一定大小的界面势垒。通过调控铁电极化的大小和方向，可以有效地改变界面势垒，从而实现电流的导通与阻碍、电子-空穴的有效分离等。所以，铁电剩余极化强度的大小直接影响着上述...
【技术保护点】
1.一种铂‑锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的成分组成满足下述要求：Pt : Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为（0.006 ‑ 0.02） : 1。
【技术特征摘要】
1.一种铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的成分组成满足下述要求：Pt:Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为（0.006-0.02）:1。2.根据权利要求1所述的铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的铁电剩余极化强度为37-47μC/cm2。3.根据权利要求1所述的铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述纳米复合铁电薄膜的成分组成为Pt:Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为0.012:1。4.根据权利要求1所述的铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料中Pb(Zr,Ti)O3内Pb:Zr:Ti的摩尔比为1：（0.52-0.60）：（0.48-0.40）。5.根据权利要求1所述的铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的厚度在200-300nm。6.一种如权利要求1所述的铂-锆钛酸铅纳米复合铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、以水、醋酸和异丙醇按照体积比（2-3）:（4-5）:（9-10）混合作为溶剂，氯铂酸、乙酸铅、正丙醇锆和异丙醇钛为溶质，按照Pt:Pb(Zr,Ti)O3的摩尔比为（0.006-0.02）:1，称取氯铂酸、乙酸铅、正丙醇锆和异丙醇钛，加入水、醋酸和异丙醇混合后的溶液，然后在室温下进行搅拌，搅拌至氯铂酸、乙酸铅、正丙醇锆...
【专利技术属性】
技术研发人员：张帆，黄鹤洋，董敬一，王超，王占杰，
申请(专利权)人：沈阳工业大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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