声波装置及制造该声波装置的方法制造方法及图纸

本公开提供一种声波装置及制造该声波装置的方法。所述声波装置包括声波发生器、支撑部分、保护构件和嵌入所述保护构件中的至少一个无源元件。所述声波发生器设置在基板的表面上。所述支撑部分沿着声波发生器的外周设置在所述基板上。所述保护构件结合到所述支撑部分并被设置为与所述声波发生器分开间隔。

Sound wave device and method of manufacturing the device

The present disclosure provides an acoustic device and a method for manufacturing the acoustic device. The acoustic device comprises an acoustic generator, a support part, a protection member and at least one passive element embedded in the protection member. The acoustic generator is arranged on the surface of the substrate. The supporting part is arranged on the substrate along the periphery of the acoustic generator. The protective member is combined with the supporting part and is set apart from the acoustic generator.

【技术实现步骤摘要】
声波装置及制造该声波装置的方法本申请要求于2017年7月17日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0090196号韩国专利申请和于2017年8月30日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0110130号韩国专利申请的优先权和权益，为此所有目的，所述韩国专利申请的全部公开内容通过引用被包含于此。
本公开涉及一种声波装置及制造该声波装置的方法。
技术介绍
带通滤波器是从各种频带中仅选择所需频带内的信号以发送和接收所选择的信号的通信装置中的关键组件。近年来，声波装置已被广泛地用作这种带通滤波器。在声波装置中，通过将压电介电材料沉积在作为半导体基板的硅晶圆上并利用压电介电材料的压电特性而诱发谐振，而将薄膜元件形成为滤波器。声波装置的示例可包括表面声波(SAW)滤波器、体声波(BAW)滤波器等。多个声波装置可安装在基板上并用作应用中的模块，而所述应用可包括移动通信装置中的又小巧又轻质的滤波器、化学和生物装置中的又小巧又轻质的滤波器、振荡器、声谐振质量传感器等。
技术实现思路
提供本
技术实现思路
以按照简化形式介绍选择的构思，以下在具体实施方式中进一步描述选择的构思。本
技术实现思路
并不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。在一个总体方面中，一种声波装置包括声波发生器、支撑部分、保护构件和嵌入所述保护构件中的至少一个无源元件。所述声波发生器设置在基板的表面上。所述支撑部分沿着所述声波发生器的外周设置在所述基板上。所述保护构件结合到所述支撑部分并被设置为与所述声波发生器分开间隔。所述保护构件可包括覆盖所述声波发生器的上部的基板。所述保护构件可包括绝缘构件，并且所述至少一个无源元件可包括嵌入所述绝缘构件中的电感器图案。所述声波装置还可包括设置为贯穿所述支撑部分和所述保护构件的连接导体。所述电感器图案可通过所述连接导体电连接到所述声波发生器。所述连接导体可具有连接到所述基板的一端和结合到连接端子的另一端。所述声波装置还可包括：多个连接端子，设置在所述保护构件的外表面上，并且将所述基板和主板彼此电连接；以及至少一个支撑端子，设置在所述主板和所述保护构件之间，以支撑所述保护构件。所述支撑端子和所述连接端子可利用同一材料形成，并且所述支撑端子和所述连接端子可结合到所述主板。所述支撑端子可以是不电连接到所述基板的虚拟端子。所述支撑端子可设置在与形成所述声波发生器的区域对应的区域中。所述声波装置还可包括沿着所述保护构件和所述支撑部分的表面设置的气密膜，以防止水分或异物进入所述声波发生器。所述气密膜可利用无机绝缘膜或薄膜形成。在另一总体方面中，一种制造声波装置的方法包括：准备其一个表面上设置有声波发生器的基板；在所述基板上沿着所述声波发生器的外周设置支撑部分；以及通过在绝缘构件中嵌入至少一个无源元件而形成保护构件，并将所述保护构件结合到所述支撑部分，使得所述保护构件与所述声波发生器分开间隔。在所述绝缘构件中嵌入所述至少一个无源元件可包括：在承载基板上设置所述绝缘构件的第一绝缘层；在所述第一绝缘层上按照图案形成所述至少一个无源元件；以及在所述至少一个无源元件上设置所述绝缘构件的第二绝缘层，将所述保护构件结合到所述支撑部分可包括将形成在所述承载基板上的结构转移到所述基板上。在所述绝缘构件中嵌入所述至少一个无源元件可包括：在所述支撑部分上设置第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成电感器图案；以及在所述电感器图案上形成第二绝缘层。所述方法还可包括在所述保护构件上形成连接端子和支撑端子。所述方法还可包括沿着所述保护构件和所述支撑部分的表面形成气密膜。在另一总体方面中，一种声波装置包括声波发生器、支撑部分和绝缘层。所述声波发生器设置在基板的表面上。所述支撑部分沿着所述声波发生器的外周设置在所述基板上。所述绝缘层结合到所述支撑部分并被设置为与所述声波发生器分开预定间隔。无源元件嵌入各个绝缘层中。所述绝缘层中的所述无源元件中的至少一个可包括电感器图案。所述声波装置还可包括贯穿所述支撑部分和所述绝缘层的连接导体。所述电感器图案可通过所述连接导体电连接到所述声波发生器。所述连接导体可包括连接到所述基板的一端和结合到连接端子的另一端。通过以下具体实施方式、附图以及权利要求，其他特征和方面将是明显的。附图说明图1是示意性地示出声波装置的示例的截面图；图2至图5是示意性地示出制造声波装置的方法的示例的示图；图6和图7是示意性地示出制造声波装置的方法的另一示例的示图；以及图8是示意性地示出声波装置的另一示例的截面图。在整个附图和具体实施方式中，相同的标号指示相同的元件。附图可不按照比例绘制，为了清楚、说明以及方便起见，可夸大附图中元件的相对尺寸、比例和描绘。具体实施方式提供以下具体实施方式以帮助读者获得对在此所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，在此所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，在此所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于在此所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。在此所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于在此所描述的示例。更确切地说，已经提供了在此所描述的示例仅用于示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现在此描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些方式。在整个说明书中，当元件(诸如，层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”或“直接结合到”另一元件时，可不存在介于它们之间的其他元件。如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任意一项和任意两项或更多项的任意组合。尽管可在此使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各种构件、组件、区域、层或部分，但是这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语所限制。更确切地说，这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分相区分。因此，在不脱离示例的教导的情况下，在此所描述的示例中所称的第一构件、组件、区域、层或部分也可被称为第二构件、组件、区域、层或部分。为了易于描述，在此可使用诸如“上方”、“上面”、“下方”和“下面”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为相对于另一元件在“上方”或“上面”的元件随后将相对于另一元件在“下方”或“下面”。因此，术语“上方”根据装置的空间方位而包括“上方”和“下方”两种方位。所述装置还可以以其他方式定位(例如，旋转90度或处于其他方位)，并将对在此使用的空间关系术语做出相应的解释。在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声波装置，包括：声波发生器，设置在基板的表面上；支撑部分，沿着所述声波发生器的外周设置在所述基板上；保护构件，结合到所述支撑部分并与所述声波发生器分开间隔；以及至少一个无源元件，嵌入所述保护构件中。

【技术特征摘要】
2017.07.17 KR 10-2017-0090196;2017.08.30 KR 10-2011.一种声波装置，包括：声波发生器，设置在基板的表面上；支撑部分，沿着所述声波发生器的外周设置在所述基板上；保护构件，结合到所述支撑部分并与所述声波发生器分开间隔；以及至少一个无源元件，嵌入所述保护构件中。2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述保护构件包括覆盖所述声波发生器的上部的基板。3.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述保护构件包括绝缘构件，并且所述至少一个无源元件包括嵌入所述绝缘构件中的电感器图案。4.根据权利要求3所述的声波装置，所述声波装置还包括贯穿所述支撑部分和所述保护构件的连接导体，其中，所述电感器图案通过所述连接导体电连接到所述声波发生器。5.根据权利要求4所述的声波装置，其中，所述连接导体包括连接到所述基板的一端和结合到连接端子的另一端。6.根据权利要求1所述的声波装置，还包括：多个连接端子，设置在所述保护构件的外表面上，并将所述基板和主板彼此电连接；以及至少一个支撑端子，设置在所述主板和所述保护构件之间，以支撑所述保护构件。7.根据权利要求6所述的声波装置，其中，所述支撑端子和所述连接端子利用同一材料形成，并且所述支撑端子和所述连接端子结合到所述主板。8.根据权利要求6所述的声波装置，其中，所述支撑端子是不电连接到所述基板的虚拟端子。9.根据权利要求6所述的声波装置，其中，所述支撑端子设置在与形成所述声波发生器的区域对应的区域中。10.根据权利要求1所述的声波装置，所述声波装置还包括沿着所述保护构件和所述支撑部分的表面设置的气密膜，并且所述气密膜被构造为防止水分或异物进入所述声波发生器。11.根据权利要求10所述的声波装...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴昇旭，郑载贤，罗圣勋，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR