一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法，属于电子材料技术领域。主要技术方案如下：将ITO玻璃层层自组装，在组装好的ITO玻璃上采用计时电流方法进行电化学沉积银，经过电化学沉积后，一层白色的树枝状纳米银将沉积在ITO玻璃上，称其为ITO‑Ag。将ITO‑Ag浸入到含固化剂的PDMS溶液中，加热固化，将固化好的PDMS柔性基底从ITO‑Ag上揭下即为基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器。本发明专利技术制备的柔性薄膜压力传感器具有较低的方阻，并且在弯曲多次和拉伸不同比例后仍能保持良好的导电性。该传感器为可穿戴智能设备在线监测人体健康基础数据，如脉搏、血压、心跳等方面提供了尝试条件。

【技术实现步骤摘要】
一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法
本专利技术涉及一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法，属于电子材料

技术介绍
压力传感器可提供测量压力改变的能力，应具有低压范围响应灵敏，体积小，功率低，性能好等优点，在微机械加工过程中被批量生产。压力传感器是市场上最广泛使用的传感器之一。值得注意的是，压力传感器具有各种各样的应用，如微型机电一体化系统，汽车，过程控制等。其中柔性压力传感器在可穿戴生物医学检测设备方面的应用日渐受到科学界的关注。柔性压力传感器具有诸多优点，如优异的灵活性、低成本、兼容性等。该类型传感器可以作为一种简便的在线检测人体健康基础数据的方法，身体可以直接穿戴，可应用于测量由人体活动引起的压力变化，如脉搏、血压、心跳等方面。由于人体活动压力改变及其微小，所以传感器的压力灵敏度需要很高。目前柔性压力传感器存在的主要问题是机械性能(耐弯曲性；拉伸性)、导电性能不佳、灵敏度未达测量需求。制备柔性压力传感器材料的关键在于将导电组分与柔性的聚合物基体有效的结合，使最终得到的材料在多次弯曲或不同比例拉伸的情况下，电学性能不会出现疲劳或显著本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器，其特征在于，该薄膜压力传感器包括柔性基底PDMS及其表面嵌附的具有树枝状结构的纳米银导电层。

【技术特征摘要】
1.一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器，其特征在于，该薄膜压力传感器包括柔性基底PDMS及其表面嵌附的具有树枝状结构的纳米银导电层。2.根据权利要求1所述的基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将ITO玻璃层层自组装，在组装好的ITO玻璃上进行电化学沉积银，得到ITO-Ag；所用电解液为AgNO3和NaNO3混合溶液，参比电极为饱和硫酸亚汞电极，对电极为铂丝，工作电极为组装好的ITO玻璃；(2)将ITO-Ag浸入到含固化剂的PDMS溶液中，加热固化，将固化好的PDMS柔性基底从ITO-Ag上揭下，得到PDMS-Ag即为基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晶，王清翔，罗刚，刘士伟，
申请(专利权)人：大连大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21