电弧抑制装置与电弧抑制方法制造方法及图纸

一种电弧抑制装置包含交流/直流转换器、开关、电阻器与控制器。开关耦接于交流/直流转换器与电浆室之间。电阻器并联耦接开关。控制器耦接开关。交流/直流转换器用以将交流电压转换为直流电压以提供至电浆室。控制器用以检测电浆室接收的电浆电流的斜率。当控制器判断电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制器控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。

Arc Suppression Device and Arc Suppression Method

An arc suppression device includes an AC/DC converter, a switch, a resistor and a controller. The switch is coupled between the AC/DC converter and the plasma chamber. Resistor parallel coupling switch. Controller coupling switch. AC/DC converter is used to convert AC voltage to DC voltage to provide plasma chamber. The controller is used to detect the slope of the plasma current received by the plasma chamber. When the controller judges that the slope of plasma current is larger than the first slope threshold, the controller controls the switch electrically isolated AC/DC converter and plasma chamber to reduce the plasma current to the first current value through resistors.

【技术实现步骤摘要】
电弧抑制装置与电弧抑制方法
本专利技术是有关于电弧抑制技术，且特别是有关于一种连续输出能量的电弧抑制装置与电弧抑制方法。
技术介绍
于电浆工艺中，当电浆室内发生电弧时，容易导致工艺的良率不佳。然而，为了消除电浆室内的电弧而断开输出至电浆室的电源，将会产生能量不连续的问题。此外，若通过多个开关元件控制电源的输出，则操作方式变得较为复杂。
技术实现思路
本揭示内容的一态样是提供一种电弧抑制装置，其包含交流/直流转换器、开关、电阻器与控制器。开关耦接于交流/直流转换器与电浆室之间。电阻器并联耦接开关。控制器耦接开关。交流/直流转换器用以将交流电压转换为直流电压以提供至电浆室。控制器用以检测电浆室接收的电浆电流的斜率。当控制器判断电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制器控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。本揭示内容的另一态样是提供一种电弧抑制方法，其包含以下步骤。通过控制器，当判断电浆室接收的电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。开关电性耦接于交流/直流转换器与电浆室之间，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电弧抑制装置，其特征在于，包含：一交流/直流转换器，用以转换一交流电压为一直流电压以提供至一电浆室；一开关，耦接于该交流/直流转换器与该电浆室之间；一电阻器，并联耦接该开关；以及一控制器，耦接该开关并用以检测该电浆室接收的一电浆电流的一斜率，并且当判断该电浆电流的该斜率大于一第一斜率门槛值时，控制该开关电性隔离该交流/直流转换器与该电浆室以通过该电阻器将该电浆电流降低至一第一电流值。

【技术特征摘要】
1.一种电弧抑制装置，其特征在于，包含：一交流/直流转换器，用以转换一交流电压为一直流电压以提供至一电浆室；一开关，耦接于该交流/直流转换器与该电浆室之间；一电阻器，并联耦接该开关；以及一控制器，耦接该开关并用以检测该电浆室接收的一电浆电流的一斜率，并且当判断该电浆电流的该斜率大于一第一斜率门槛值时，控制该开关电性隔离该交流/直流转换器与该电浆室以通过该电阻器将该电浆电流降低至一第一电流值。2.如权利要求1所述的电弧抑制装置，其特征在于，该控制器更用以当判断该电浆电流的该斜率大于一第二斜率门槛值时，断开该交流/直流转换器。3.如权利要求1所述的电弧抑制装置，其特征在于，更包含：一第一电感电容电路，耦接于该交流/直流转换器与该控制器之间并用以对该直流电压进行滤波。4.如权利要求3所述的电弧抑制装置，更包含：一第二电感电容电路，耦接于该控制器与该电浆室之间并用以抑制该电浆电流的该斜率。5.如权利要求3所述的电弧抑制装置，其特征在于，该交流/直流转换器具有一第一端与一第二端，该开关具有一第一端与一第二端，该第一电感电容电路包含：一第一电感器，具有一第一端与一第二端，其中该第一电感器的该第一端耦接该交流/直流转换器的该第一端，该第一电感器的该第二端耦接该开关的该第一端；以及一第一电容器，具有一第一端与一第二端，其中该第一电容器的该第一端耦接该第一电感器的该第二端，该第一电容器的该第二端耦接该交流/直流转换器的该第二端。6.如权利要求5所述的电弧抑制装置，其特征在于，该第二电感电容电路包含：一第二电感器，具有一第一端与一第二端，其中该第二电感器的该第一端耦接该开关的该第二端，该第二电感器的该第二端耦接该电浆室的一外壳；以及一第二电容器，具有一第一端与一第二端，其中该第二电容器的该第一端耦接该第二电感器的该第二端，该第二电容器的该第二端耦接该交流/直流转换器的该第二端。7.如权利要求6所述的电弧抑制装置，其特征在于，该第一电感器的电感值大于该第二电感器的电感值。8.如权利要求6所述的电弧抑制装置，其特征在于，该第一电容器的电容值大于该第二电容器的电容值。9.如权利要求1所述的电弧抑制装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖威勳，王健宇，邱柏晟，陈至钧，
申请(专利权)人：台达电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71