清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法技术方案

一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。

Cleaning System, Cleaning Method of Transparent Substrate and Manufacturing Method of Electronic Components

A cleaning system, a cleaning method of transparent substrate and a manufacturing method of electronic components can effectively and reliably clean the surface of thin plates. The cleaning system removes foreign objects attached to the surface of the thin plate, including conveying device for conveying the thin plate, and cleaning device, which has a cleaning part positioned opposite to the surface of the thin plate conveyed by the conveying device. The cleaning device includes a relative moving mechanism, which makes the cleaning part repeatedly contact with the surface of the thin plate directly or indirectly for cleaning purposes. Static and mobile movements relative to the surface of the sheet are performed. It is preferred that the conveying device conveys the cleaning surface of the thin plate in one direction, alternately and repeatedly moving in one direction and in the opposite direction relative to the moving mechanism. In the moving action, the maximum moving speed of the cleaning part moved by the relative moving mechanism is faster than that of the thin plate surface conveyed by the conveying device.

【技术实现步骤摘要】
清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法
本专利技术涉及清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法。
技术介绍
在便携电话、智能电话等电子设备中，使用玻璃基板。在电子设备的生产线中，作为对玻璃基板的表面进行清扫的清扫系统，已知有例如日本特开2006－272223号公报所记载的清扫系统。该公报所记载的系统为，在刮板上覆盖织物，一边通过刮板将织物(cloth)按压到玻璃基板上一边使玻璃基板移动，由此对玻璃基板的表面进行清扫。在该公报所记载的系统中，反复进行3次使刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动的动作。专利文献1：日本特开2006－272223号公报但是，当在玻璃基板的表面上附着有粘接剂等那样粘性较高的异物的情况、油等附着于玻璃基板的中央的情况下，存在如上述公报所记载的系统那样仅通过3次擦除也不能擦除的情况。另外，在上述公报所记载的系统中，在将刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动后，为了下一擦除动作，再次将刮板返回到玻璃基板的一端后进行擦除动作，所以作业效率较差，为了对大量的玻璃基板进行擦除作业，需要非常长的时间。
技术实现思路
因此，本专利技术的技术问题在于提供一种能够高效可靠地清扫薄板表面的清扫系统及清扫方法以及电子设备的制造方法。为了解决上述技术问题而完成的专利技术是一种清扫系统，将附着于薄板表面的异物去除，该清扫系统包括：输送装置，输送所述薄板；以及清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。在该清扫系统中，通过所述相对移动机构，在所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下反复进行所述清扫部相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作，所以能够通过清扫部高效且可靠地去除薄板表面的异物。即，在该清扫系统中，相对于薄板表面，清扫部不仅进行相对性的移动动作还进行静止动作，所以不仅能够通过动摩擦进行异物的去除还能够通过静摩擦进行异物的去除，能够可靠地去除薄板表面的异物。在这里，所谓直接，意味着接触面直接接触于薄板而进行擦除，在清扫部为适于擦除薄板的构成的情况下，清扫部直接地接触于薄板而进行擦除。所谓间接，意味着在接触面与薄板之间配置有织物构件等1或多个另外的构件那样的情况，在接触面不是适于擦除薄板的构成的情况下等，清扫部间接地接触于薄板而擦除。优选所述输送装置向一方向输送由所述清扫装置清扫的清扫状态的所述薄板表面。由此，能够一边通过输送装置向一方向输送薄板一边通过清扫装置对薄板的表面进行清扫。在该情况下，优选所述相对移动机构在所述移动动作时使所述清扫部相对于所述薄板表面向所述一方向或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移动。通过使清扫部向所述一方向以与薄板相同速度移动，能够得到所述清扫部的静止动作，能够通过静摩擦进行异物的去除。另外，通过使清扫部向所述一方向的相反方向移动，清扫部与薄板的相对速度变快，能够有效且可靠地去除薄板表面的异物。在该情况下，优选所述相对移动机构交替地反复进行所述一方向的移动动作以及所述相反方向的移动动作，在所述移动动作中，由所述相对移动机构移动的所述清扫部的最大移动速度比由所述输送装置输送的所述薄板表面的移动速度快。由此，能够通过相对移动机构使清扫部在所述一方向以及所述相反方向上振动，能够多次清扫薄板表面的相同部位。优选所述清扫装置还包括切换机构，所述切换机构使所述清扫部在与所述薄板表面直接或间接地接触的状态和与所述薄板表面分离的状态间切换。由此，通过切换机构，能够在使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下进行清扫作业，在不进行清扫作业的情况下能够使清扫部移动到分离位置。优选所述清扫部经由织物构件而间接地接触于所述薄板表面。由此，织物构件直接地接触于薄板表面，能够通过清扫作业使薄板表面的异物转移到织物构件。优选所述清扫装置还包括向所述清扫部供给织物构件的供给机构。由此，薄板表面的异物转移到了织物构件时，通过供给机构向清扫部供给新的织物构件(的部分)，能够通过新的织物构件(的部分)进行清扫作业。优选所述清扫装置还包括：柱状构件，其在前端面上具有所述清扫部；以及按压构件，其将织物构件按压到所述柱状构件，从而防止从所述供给机构向所述清扫部供给的长条状的织物构件相对于所述清扫部偏移。由此，能够通过上述按压构件向柱状构件的侧壁面侧按压长条状的织物构件，在清扫作业时难以产生织物构件相对于清扫部的偏移(清扫部上的织物构件的滑动)，进行精确的清扫作业。在该情况下，优选所述柱状构件在所述柱状构件的前端面与侧壁面之间具有边缘。由此，能够通过位于边缘的织物构件精确地去除薄板表面的异物。另外，所谓“具有边缘”，意味着在与前端面以及侧壁面交叉的方向的截面形状上，不仅包含前端面以及侧壁面经由不连续点而连续的情况，还包含前端面以及侧端面经由曲率半径3mm以下的角而连续的情况。另外，上述曲率半径优选为2mm以下，更优选为1mm以下。优选所述输送装置还具有向所述清扫部供给清洗液的供给喷嘴。由此，通过利用供给喷嘴向清扫部供给清洗液，能够进行利用清洗液的清扫。优选所述输送装置还具有保持所述薄板的保持部和使该保持部向所述一方向行走的轨道。由此，能够在通过沿着轨道行走的保持部保持薄板的状态下通过清扫装置对薄板表面进行清扫。优选在该清扫系统中，包括：第一所述输送装置，其从薄板表面中的一面保持所述薄板；第一所述清扫装置，其对通过第一所述输送装置输送的所述薄板的另一面进行清扫；第二所述输送装置，其从另一面保持通过第一所述清扫装置清扫了一面的所述薄板；以及第二所述清扫装置，其对通过第二所述输送装置输送的所述薄板的一面进行清扫。由此，能够通过第一清扫装置对薄板的另一面进行清扫，能够通过第二清扫装置对薄板的一面进行清扫，能够通过该清扫系统对薄板的两面进行清扫。为了解决上述技术问题而完成的另外的专利技术，是对清扫透明基板的表面进行清扫的透明基板的清扫方法，其中，通过由上述构成构成的该清扫系统对所述透明基板的表面进行清扫。由此，能够通过该清扫系统容易且可靠地清扫透明基板的表面。另外，为了解决上述技术问题而完成的另外的专利技术，是制造包含透明基板的电子设备的电子设备的制造方法，其中，具有利用该透明基板的清扫方法的清扫工序。由此，能够容易且可靠地制造使用了被清扫后的透明基板的电子设备。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的清扫系统的示意性主视图。图2是清扫系统的第一清扫装置的示意性主视图。图3是清扫系统的第二清扫装置的示意性主视图。图4A是将清扫装置的主要部分放大的示意性立体图。图4B是将清扫装置的柱状构件的主要部分放大的示意性主视图。图5是将清扫装置的主要部分放大的示意性立体图。图6的(A)至(D)是用于对清扫装置的动作进行说明的说明图，图6的(A)表示织物构件的供给状态，图6的(B)表示通过按压构件按压织物构件的状态，图6的(C)表示供给清洗液的状态，图6的(D)表示清扫状态。图7是用于对进行清扫作业时的薄板的移动速度以及清扫面的移动速度与时间的关系进行说明的概略说明图。图8是用于对利用清扫装置的清扫状态进行说明的说明图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清扫系统，去除附着于薄板表面的异物，所述清扫系统包括：输送装置，输送所述薄板；以及清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。

【技术特征摘要】
2017.07.12 JP 2017-1364641.一种清扫系统，去除附着于薄板表面的异物，所述清扫系统包括：输送装置，输送所述薄板；以及清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。2.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，所述输送装置向一方向输送由所述清扫装置清扫的清扫状态的所述薄板表面。3.根据权利要求2所述的清扫系统，其中，所述相对移动机构在所述移动动作时使所述清扫部相对于所述薄板表面向所述一方向、或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移动。4.根据权利要求3所述的清扫系统，其中，所述相对移动机构交替地反复进行所述一方向的移动动作以及所述相反方向的移动动作，在所述移动动作中，由所述相对移动机构移动的所述清扫部的最大移动速度比由所述输送装置输送的所述薄板表面的移动速度快。5.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，所述清扫装置还包括切换机构，所述切换机构使所述清扫部在与所述薄板表面直接或间接地接触的状态和与所述薄板表面分离的状态间切换。6.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，所述清扫部隔着织物构件而间接地接触于所述薄板表面。7.根据权利要求6所...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山博司，林田彻，
申请(专利权)人：哈里斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP