光学部件及激光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光学部件及激光装置，通过光学部件的狭缝部对激光的一部分进行反射并通过该光学部件的吸收部对该反射的一部分激光进行吸收，能够消除不需要的部分激光，因此，能够抑制不需要的部分激光对激光装置内部的部件进行照射而导致的热变形。从而，能够保证激光光路和激光输出的稳定性以及激光装置输出激光的性能。

【技术实现步骤摘要】
光学部件及激光装置
本技术涉及激光领域，尤其涉及一种光学部件及激光装置。
技术介绍
在以往的技术中，激光装置内部的激光光路上设置有多个部件。以具有主振荡功率放大(MOPA，MasterOscillatorPower-Amplifier)结构的气体激光装置为例，图1是现有的气体激光装置的一示意图。如图1所示，气体激光装置1具有外框架10、谐振器第1框架11、谐振器第2框架12、主振荡腔室(MO腔室)13、功率放大腔室(PA腔室)14、前端镜15、后端镜16、第1光学板17、第2光学板18、具有高反射率的反射镜M1、M2、M3、M4、M5和M6，部分反射镜M7，其中，MO腔室13内具有第一对电极19，PA腔室14内具有第二对电极20，具有高反射率的反射镜M1、M2设置在第1光学板17上，具有高反射率的反射镜M3、M4、M5和M6以及部分反射镜M7构成了光脉冲展宽器(OPS，OpticalPulseStretcher)，该光脉冲展宽器设置在第2光学板18上。MO腔室13内收纳有激光气体，MO腔室13以及前端镜15、后端镜16构成了谐振器，谐振器通过使由被激励的激光气体产生的自然辐射光在被激励的激光气体中往复运动而引起受激辐射现象。前端镜15通过使受激辐射光的一部分透过来输出激光。PA腔室14通过使MO腔室13产生的激光在被激励的激光气体中通过，从而放大其输出，光脉冲展宽器将经过PA腔室14放大后的激光脉冲展宽后沿着Z方向输出。应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
本技术的专利技术人发现，为了提高激光输出，有时会使放电体积增加。例如，通过增加MO腔13中的第一对电极19的宽度和/或长度，或者，通过扩大第一对电极19的两个电极的间隔来实现。这样，将导致激光光束的截面面积增大，另外，在激光装置内部，激光在传输过程中由于扩散性，其光束的截面面积也逐渐增大。由此，激光光束的周边部可能对激光装置内部的部件进行照射而使得这些部件发热而产生热变形，从而导致激光光路和激光输出的不稳定，影响激光装置输出激光的性能。本技术实施例提供一种光学部件以及激光装置，通过光学部件的狭缝部对激光的一部分进行反射并通过该光学部件的吸收部对该反射的一部分激光进行吸收，能够消除不需要的部分激光，因此，能够抑制不需要的部分激光对激光装置内部的部件进行照射而导致的热变形。从而，能够保证激光光路和激光输出的稳定性以及激光装置输出激光的性能。根据本技术实施例的第一方面，提供一种用于激光装置的光学部件，所述光学部件具有：狭缝部，其配置在所述激光装置内产生的激光的光路上，并且，所述狭缝部具有对所述激光的一部分进行反射的表面以及使所述激光的另一部分透过的开口；以及吸收部，其对由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分进行吸收。根据本技术实施例的第二方面，其中，所述狭缝部与所述吸收部形成为一体，或者，所述狭缝部与所述吸收部通过螺栓而连接或通过焊接而连接。根据本技术实施例的第三方面，其中，所述狭缝部和/或所述吸收部的内部具有冷却介质通道。根据本技术实施例的第四方面，其中，所述吸收部具有内壁，所述内壁反射并吸收由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分。根据本技术实施例的第五方面，其中，所述内壁是未经涂布的研磨面。根据本技术实施例的第六方面，提供一种激光装置，所述激光装置具有至少一个根据本技术实施例的第一方面所述的光学部件。根据本技术实施例的第七方面，其中，所述激光装置还具有：主振荡腔室和功率放大腔室，所述光学部件设置在所述主振荡腔室和所述功率放大腔室之间。根据本技术实施例的第八方面，其中，所述光学部件分别设置在所述主振荡腔室的输出侧和所述功率放大腔室的输入侧。根据本技术实施例的第九方面，其中，所述激光装置还具有：光脉冲展宽器，其对所述激光装置内产生的激光的脉冲宽度进行展宽，所述光学部件还设置在所述光脉冲展宽器的输入侧。根据本技术实施例的第十方面，其中，所述光学部件的所述狭缝部的所述表面相对于所述激光装置内产生的激光的光轴倾斜。根据本技术实施例的第十一方面，其中，所述激光装置是气体激光装置。本技术的有益效果在于：通过光学部件的狭缝部对激光的一部分进行反射并通过该光学部件的吸收部对该反射的一部分激光进行吸收，能够消除不需要的部分激光，因此，能够抑制不需要的部分激光对激光装置内部的部件进行照射而导致的热变形。从而，能够保证激光光路和激光输出的稳定性以及激光装置输出激光的性能。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明所包括的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是现有的气体激光装置的一示意图；图2是本技术实施例1的光学部件的一立体图；图3是图2所示的光学部件的A-A截面图；图4是本技术实施例2的气体激光装置的一示意图。具体实施方式参照附图，通过下面的说明书，本技术的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本技术的特定实施方式，其表明了其中可以采用本技术的原则的部分实施方式，应了解的是，本技术不限于所描述的实施方式，相反，本技术包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。在本技术实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。“多个”或“多种”指的是至少两个或至少两种。实施例1本技术实施例1提供一种光学部件，该光学部件用于激光装置，并可以设置在激光装置的内部。图2是本技术实施例1的光学部件的一立体图；图3是图2所示的光学部件的A-A截面图。如图2和图3所示，光学部件100具有：狭缝部110，其配置在激光装置内产生的激光的光路上，并且，狭缝部110具有对该激光的一部分进行反射的表面111以及使该激光的另本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光装置的光学部件，其特征在于，所述光学部件具有：狭缝部，其配置在所述激光装置内产生的激光的光路上，并且，所述狭缝部具有对所述激光的一部分进行反射的表面以及使所述激光的另一部分透过的开口；以及吸收部，其对由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分进行吸收。

【技术特征摘要】
1.一种用于激光装置的光学部件，其特征在于，所述光学部件具有：狭缝部，其配置在所述激光装置内产生的激光的光路上，并且，所述狭缝部具有对所述激光的一部分进行反射的表面以及使所述激光的另一部分透过的开口；以及吸收部，其对由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分进行吸收。2.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述狭缝部与所述吸收部形成为一体，或者，所述狭缝部与所述吸收部通过螺栓而连接或通过焊接而连接。3.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述狭缝部和/或所述吸收部的内部具有冷却介质通道。4.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述吸收部具有内壁，所述内壁反射并吸收由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分。5.根据权利要求4所述的光学部件，其特征在于，所述内壁是未经涂布的研磨面。6.一种激光装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦川耕志，近藤裕二，岩濑日出男，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP