光学部件及激光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光学部件及激光装置，通过光学部件的狭缝部对激光的一部分进行反射并通过该光学部件的吸收部对该反射的一部分激光进行吸收，能够消除不需要的部分激光，因此，能够抑制不需要的部分激光对激光装置内部的部件进行照射而导致的热变形。从而，能够保证激光光路和激光输出的稳定性以及激光装置输出激光的性能。

【技术实现步骤摘要】
光学部件及激光装置
本技术涉及激光领域，尤其涉及一种光学部件及激光装置。
技术介绍
在以往的技术中，激光装置内部的激光光路上设置有多个部件。以具有主振荡功率放大(MOPA，MasterOscillatorPower-Amplifier)结构的气体激光装置为例，图1是现有的气体激光装置的一示意图。如图1所示，气体激光装置1具有外框架10、谐振器第1框架11、谐振器第2框架12、主振荡腔室(MO腔室)13、功率放大腔室(PA腔室)14、前端镜15、后端镜16、第1光学板17、第2光学板18、具有高反射率的反射镜M1、M2、M3、M4、M5和M6，部分反射镜M7，其中，MO腔室13内具有第一对电极19，PA腔室14内具有第二对电极20，具有高反射率的反射镜M1、M2设置在第1光学板17上，具有高反射率的反射镜M3、M4、M5和M6以及部分反射镜M7构成了光脉冲展宽器(OPS，OpticalPulseStretcher)，该光脉冲展宽器设置在第2光学板18上。MO腔室13内收纳有激光气体，MO腔室13以及前端镜15、后端镜16构成了谐振器，谐振器通过使由被激励的激光气体产生的自然辐射光在被激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光装置的光学部件，其特征在于，所述光学部件具有：狭缝部，其配置在所述激光装置内产生的激光的光路上，并且，所述狭缝部具有对所述激光的一部分进行反射的表面以及使所述激光的另一部分透过的开口；以及吸收部，其对由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分进行吸收。

【技术特征摘要】
1.一种用于激光装置的光学部件，其特征在于，所述光学部件具有：狭缝部，其配置在所述激光装置内产生的激光的光路上，并且，所述狭缝部具有对所述激光的一部分进行反射的表面以及使所述激光的另一部分透过的开口；以及吸收部，其对由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分进行吸收。2.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述狭缝部与所述吸收部形成为一体，或者，所述狭缝部与所述吸收部通过螺栓而连接或通过焊接而连接。3.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述狭缝部和/或所述吸收部的内部具有冷却介质通道。4.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，所述吸收部具有内壁，所述内壁反射并吸收由所述狭缝部的所述表面反射的所述激光的所述一部分。5.根据权利要求4所述的光学部件，其特征在于，所述内壁是未经涂布的研磨面。6.一种激光装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦川耕志，近藤裕二，岩濑日出男，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP