一种激光辅助加热生长晶体的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种激光辅助加热生长晶体的装置，包括激光心部加热装置、氙灯表面加热装置、底座和真空腔体，其中：激光心部加热装置：激光聚焦镜头安装于镜头支架上，并通过光纤与激光器相连，上支撑杆固定于镜头支架下，上支撑杆与激光聚焦镜头之间设有透镜；送料棒悬挂于上支撑杆下端；籽晶棒位于送料棒的下方，并固定在下支撑杆上，送料棒与籽晶棒之间形成悬浮熔区；氙灯表面加热装置：氙灯固定装置位于镜头支架和底座之间，氙灯设置在椭球反光镜凹面一侧；真空腔体：上真空腔体、石英管和下真空腔体之间形成一个真空腔体。本实用新型专利技术通过结构和功能设计解决了大尺寸试棒晶体的生长难题，使其可生长直径达30mm的晶体，以利于实现工程化应用。

【技术实现步骤摘要】
一种激光辅助加热生长晶体的装置
本技术涉及晶体材料的制备装置，特别提供一种激光辅助加热生长晶体的装置。
技术介绍
光学浮区炉是一种采用光加热的悬浮熔区定向凝固炉，具有无坩埚、高洁净、高温度梯度及生长速度快等特点；广泛应用于氧化物和TiAl等金属间化合物材料的晶体生长研究，特别是那些熔体反应强烈和高熔点的晶体材料。现在广泛应用的光学浮区炉均都采用2～4椭球反射镜聚焦氙灯加热，熔体主要靠表面张力维持形状，沿竖直方向生长，如日本CSC公司生产的型号为FZ-T-12000-X-VP-S的光学浮区炉，均布有4个氙灯，熔点可达3000℃，温度梯度约为200℃，生长速度可在0～180mm/h范围内精确调节，保护气氛可达99.9999％以上，是目前世界上最为先进的光学浮区炉之一。然而，由于该类设备的加热方式为光加热，即氙灯光源经椭球反射镜聚焦后焦斑照射在试棒表面，然后通过热传导由表及里逐渐升温直至熔化。针对不同的材料，当试棒直径≤15mm时，试棒的中心能够熔化透彻并且内外能够搅拌均匀，悬浮熔区保持稳定，可顺利实现晶体生长；当试棒直径>15mm时，易导致试棒心部和表面加热不均匀的现象出现，试棒的中心开始出现熔化不透彻，悬浮熔区无法保持稳定和形状，晶体生长无法进行。对于尺寸相对较大的结构件而言，无法实现工程化应用。因此，无法生长大块晶体已成为光学浮区炉的主要缺陷。
技术实现思路
针对大尺寸试棒(直径>15mm)晶体生长过程中的加热不均匀、心部熔化不透彻及悬浮熔区不稳定等问题，本技术提供了一种激光辅助加热生长晶体的装置，在现有光学浮区炉的基础上，通过结构和功能设计，在悬浮熔区的中央部位引入精度高且可控性强的激光加热热源，形成表面氙灯加热和心部激光加热的复合加热方式，解决了大尺寸试棒晶体的生长难题，使其可生长直径≥30mm的晶体，以利于实现工程化应用。本技术技术方案如下：一种激光辅助加热生长晶体的装置，其特征在于：所述装置包括激光心部加热装置1、氙灯表面加热装置2、底座3和真空腔体4，其中：激光心部加热装置1由激光聚焦镜头11、镜头支架12、上支撑杆13和光纤15组成；激光聚焦镜头11安装于镜头支架12上，并通过光纤15与激光器18相连；上支撑杆13为空心结构，通过法兰和密封套16固定于镜头支架12下端，上支撑杆13与激光聚焦镜头11之间设有透镜，使激光顺利通过的同时，又起到密封作用；送料棒33为空心结构，悬挂于上支撑杆13下端；籽晶棒34位于送料棒33的下方，并固定在下支撑杆35上，下支撑杆35固定在底座3上，送料棒33与籽晶棒34之间形成悬浮熔区36；氙灯表面加热装置2由氙灯21、椭球反光镜22和氙灯固定装置23组成，氙灯固定装置23位于镜头支架12和底座3之间，用于固定氙灯21和椭球反光镜22，氙灯21设置在椭球反光镜22凹面一侧，且正对送料棒33；真空腔体4由上真空腔体41、石英管42和下真空腔体43组成，上真空腔体41和下真空腔体43将石英管42固定于中间(上真空腔体41位于镜头支架12和氙灯固定装置23之间，石英管42位于氙灯固定装置23和底座3之间，下真空腔体43位于底座3下方)；上真空腔体41、石英管42和下真空腔体43之间通过法兰和真空胶圈相连通，形成一个真空腔体；上支撑杆13下端、送料棒33、籽晶棒34与下支撑杆35上端均处于石英管41内部。作为优选的技术方案：上支撑杆13内径为12～15mm，外径为20mm；送料棒33内径为12～15mm，外径为32～33mm。镜头支架12下部设有调整装置17，用于调整镜头支架12的高度以及与水平方向的夹角。上支撑杆13、送料棒33、籽晶棒34与下支撑杆35均同轴。上真空腔体41上设置带有排气阀31的排气口，下真空腔体43上设置带有进气阀32的进气口。激光聚焦镜头11处设有风冷接头和/或水冷接头。上支撑杆13、下支撑杆35分别与转动装置相连，用于带动送料棒33和籽晶棒34转动；上支撑杆13与升降装置相连，用于控制上支撑杆13的升降。氙灯21和椭球反光镜22的数量相同，均为2-6个，均匀分布在送料棒33的四周。本技术通过增加激光心部加热装置，同时采用空心上支撑杆和空心送料棒，将聚焦好的激光光源穿过上支撑杆和送料棒的心部，从顶端照射到悬浮熔区的中心区域，从而实现氙灯四周加热和激光顶端中心加热的复合加热效果(可选择直接同时加热，或先外部加热一定时间后再同时加热)，使悬浮熔区的表面和心部受热更加均匀一致，熔区实现稳定生长，温度梯度进一步提高，固液界面得到改善，从而提高大尺寸晶体的引晶成功率和晶体质量，解决了大尺寸试棒(直径≥30mm)晶体的生长难题。附图说明图1激光辅助加热生长晶体的装置结构示意图。图2激光心部加热装置结构示意图。附图标记：1、激光心部加热装置，2、氙灯表面加热装置，3、底座，4、真空腔体，11、激光聚焦镜头，12、镜头支架，13、上支撑杆，15、光纤，16、密封套，17、调整装置，18、激光器，21、氙灯，22、椭球反光镜，23、氙灯固定装置，31、排气阀，32、进气阀，33、送料棒，34、籽晶棒，35、下支撑杆，36、悬浮熔区，41、上真空腔体，42、石英管，43、下真空腔体。具体实施方式实施例1如图1所示，一种激光辅助加热生长晶体的装置，包括激光心部加热装置1、氙灯表面加热装置2、底座3和真空腔体4，其中：激光心部加热装置1由激光聚焦镜头11、镜头支架12、上支撑杆13和光纤15组成；激光聚焦镜头11安装于镜头支架12上，并通过光纤15与激光器18相连，激光聚焦镜头11在水平和竖直方向上的位置和角度可调；上支撑杆13为空心结构(内径为12mm，外径为20mm)，通过法兰和密封套16固定于镜头支架12下端，上支撑杆13与激光聚焦镜头11之间设有透镜，所述透镜用密封套16密封，透镜的作用为：保持真空腔体4真空度的同时使激光顺利通过上支撑杆13到达悬浮熔区36的中心；送料棒33为空心结构(内径为15mm，外径为32mm)，悬挂于上支撑杆13下端，装配时，需保持上支撑杆13与送料棒33中心通孔高度同轴，以确保光路畅通；籽晶棒34位于送料棒33的下方，并固定在下支撑杆35上，下支撑杆35固定在底座3上，送料棒33与籽晶棒34之间形成悬浮熔区36；氙灯表面加热装置2由氙灯21、椭球反光镜22和氙灯固定装置23组成，氙灯固定装置23位于镜头支架12和底座3之间，用于固定氙灯21和椭球反光镜22，氙灯21设置在椭球反光镜22凹面一侧，送料棒33位于椭球反光镜22的一焦点处；氙灯21和椭球反光镜22均设置4个，均匀分布在送料棒33的四周；真空腔体4由上真空腔体41、石英管42和下真空腔体43组成，上真空腔体41位于镜头支架12和氙灯固定装置23之间，石英管42位于氙灯固定装置23和底座3之间，下真空腔体43位于底座3下方；上真空腔体41、石英管42和下真空腔体43之间通过法兰和真空胶圈相连通，形成一个真空腔体；上支撑杆13下端、送料棒33、籽晶棒34与下支撑杆35上端均同轴，且处于石英管41内部，上真空腔体41上设置带有排气阀31的排气口，下真空腔体43上设置带有的进气阀32的进气口。上支撑杆13、下支撑杆35分别与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光辅助加热生长晶体的装置，其特征在于：所述装置包括激光心部加热装置(1)、氙灯表面加热装置(2)、底座(3)和真空腔体(4)，其中：激光心部加热装置(1)由激光聚焦镜头(11)、镜头支架(12)、上支撑杆(13)和光纤(15)组成；激光聚焦镜头(11)安装于镜头支架(12)上，并通过光纤(15)与激光器(18)相连；上支撑杆(13)为空心结构，通过法兰和密封套(16)固定于镜头支架(12)下端，上支撑杆(13)与激光聚焦镜头(11)之间设有透镜；送料棒(33)为空心结构，悬挂于上支撑杆(13)下端；籽晶棒(34)位于送料棒(33)的下方，并固定在下支撑杆(35)上，下支撑杆(35)固定在底座(3)上，送料棒(33)与籽晶棒(34)之间形成悬浮熔区(36)；氙灯表面加热装置(2)由氙灯(21)、椭球反光镜(22)和氙灯固定装置(23)组成，氙灯固定装置(23)位于镜头支架(12)和底座(3)之间，用于固定氙灯(21)和椭球反光镜(22)，氙灯(21)设置在椭球反光镜(22)凹面一侧，且正对送料棒(33)；真空腔体(4)由上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)组成，上真空腔体(41)和下真空腔体(43)将石英管(42)固定于中间；上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)之间通过法兰和真空胶圈相连通，形成一个真空腔体；上支撑杆(13)下端、送料棒(33)、籽晶棒(34)与下支撑杆(35)上端均处于石英管(42)内部。...

【技术特征摘要】
1.一种激光辅助加热生长晶体的装置，其特征在于：所述装置包括激光心部加热装置(1)、氙灯表面加热装置(2)、底座(3)和真空腔体(4)，其中：激光心部加热装置(1)由激光聚焦镜头(11)、镜头支架(12)、上支撑杆(13)和光纤(15)组成；激光聚焦镜头(11)安装于镜头支架(12)上，并通过光纤(15)与激光器(18)相连；上支撑杆(13)为空心结构，通过法兰和密封套(16)固定于镜头支架(12)下端，上支撑杆(13)与激光聚焦镜头(11)之间设有透镜；送料棒(33)为空心结构，悬挂于上支撑杆(13)下端；籽晶棒(34)位于送料棒(33)的下方，并固定在下支撑杆(35)上，下支撑杆(35)固定在底座(3)上，送料棒(33)与籽晶棒(34)之间形成悬浮熔区(36)；氙灯表面加热装置(2)由氙灯(21)、椭球反光镜(22)和氙灯固定装置(23)组成，氙灯固定装置(23)位于镜头支架(12)和底座(3)之间，用于固定氙灯(21)和椭球反光镜(22)，氙灯(21)设置在椭球反光镜(22)凹面一侧，且正对送料棒(33)；真空腔体(4)由上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)组成，上真空腔体(41)和下真空腔体(43)将石英管(42)固定于中间；上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)之间通过法兰和真空胶圈相连通，形成一个真空腔体；上支撑杆(13)下端、送...

【专利技术属性】
技术研发人员：线全刚，金浩，张重远，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：新型
国别省市：辽宁,21