类金刚石复合涂层及涂层工具制造技术

技术编号:20141859 阅读:67 留言:0更新日期:2019-01-18 23:59
本实用新型专利技术提供了一种类金刚石复合涂层及涂层工具,涉及复合涂层技术领域,该类金刚石复合涂层包括以层状结构设置的类金刚石表面涂层和复合过渡层;复合过渡层包括依次交替设置的金属涂层、第一金属过渡层、类金刚石中间涂层和第二金属过渡层;第一金属过渡层用于与类金刚石表面涂层结合;金属涂层或第一金属过渡层用于与金属基底结合;沿金属涂层至类金刚石表面涂层的方向,第一金属过渡层中的碳含量逐渐升高,第二金属过渡层中的碳含量逐渐降低,缓解了现有类金刚石层与金属基底结合力较差,易脱落的技术问题,达到提高类金刚石层与金属基底的结合力的目的。

【技术实现步骤摘要】
类金刚石复合涂层及涂层工具
本技术涉及复合涂层
,尤其是涉及一种类金刚石复合涂层及涂层工具。
技术介绍
类金刚石薄膜是一种含有大量sp3键的非晶态碳膜,具有高硬度、低摩擦系数、良好的耐蚀性以及稳定的化学性能,被广泛应用于机电系统、汽车零部件、航空航天、医疗器械等诸多领域。通常制备的类金刚石薄膜层残余应力大,其硬度和韧性较差,且类金刚石薄膜与金属基底的热膨胀系数相差大和匹配度低导致两者的结合力较差,易脱落,难以在金属基底表面沉积类金刚石,这极大限制了类金刚石薄膜的应用,尤其是当基底为不锈钢时,由于不锈钢与类金刚石薄膜的匹配度低,应力过大,极易出现薄膜脱落的现象。有鉴于此,特提成本技术。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种类金刚石复合涂层,以缓解现有类金刚石层残余应力大,硬度和韧性较差,且类金刚石层与金属基底的热膨胀系数相差大和匹配度低导致两者的结合力较差,易脱落的技术问题。本技术的第二目的在于提供一种包含上述类金刚石复合涂层的涂层工具。为了实现本技术的上述目的,特采用以下技术方案:一种类金刚石复合涂层,包括以层状结构设置的类金刚石表面涂层和复合过渡层;所述复合过渡层包括依次交替设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种类金刚石复合涂层,其特征在于,包括以层状结构设置的类金刚石表面涂层和复合过渡层;所述复合过渡层包括依次交替设置的金属涂层、第一金属过渡层、类金刚石中间涂层和第二金属过渡层;所述第一金属过渡层用于与所述类金刚石表面涂层结合;所述金属涂层或所述第一金属过渡层用于与金属基底结合;沿所述金属涂层至所述类金刚石表面涂层的方向,所述第一金属过渡层中的碳含量逐渐升高,所述第二金属过渡层中的碳含量逐渐降低;所述金属涂层、所述第一金属过渡层、所述类金刚石中间涂层与所述第二金属过渡层的厚度之比为(3‑5):(1‑2):(3‑5):(1‑2)。

【技术特征摘要】
1.一种类金刚石复合涂层,其特征在于,包括以层状结构设置的类金刚石表面涂层和复合过渡层;所述复合过渡层包括依次交替设置的金属涂层、第一金属过渡层、类金刚石中间涂层和第二金属过渡层;所述第一金属过渡层用于与所述类金刚石表面涂层结合;所述金属涂层或所述第一金属过渡层用于与金属基底结合;沿所述金属涂层至所述类金刚石表面涂层的方向,所述第一金属过渡层中的碳含量逐渐升高,所述第二金属过渡层中的碳含量逐渐降低;所述金属涂层、所述第一金属过渡层、所述类金刚石中间涂层与所述第二金属过渡层的厚度之比为(3-5):(1-2):(3-5):(1-2)。2.根据权利要求1所述的类金刚石复合涂层,其特征在于,所述金属涂层用于与金属基底结合。3.根据权利要求1所述的类金刚石复合涂层,其特征在于,所述金属涂层、所述第一金属过渡层、所述类金刚石中间涂层与所述第二金属过渡层的厚度之比为(3-4):(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐永炳蒋春磊石磊项磊孟醒
申请(专利权)人:深圳先进技术研究院
类型:新型
国别省市:广东,44

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