玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。本发明专利技术能够抑制形成熔融玻璃的流路的管的变形、弯曲、破损等。在本发明专利技术的玻璃衬底的制造方法中，为了形成熔解炉的端部和成形装置之间的熔融玻璃的流路，熔融玻璃处理装置是通过使多根管在管之间及和熔解炉的端部之间被连接而构成的。第1管包含：管主体；及法兰状的电极，其向管主体外突出，对管主体进行通电加热。法兰状的电极以被管主体和连接于第1管的第2管夹持的方式设置在管主体的端。法兰状的电极至少在被管主体和第2管夹持的部分具有沿着流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻的凹凸形状。在本方法中，在熔解步骤之前，对第1管及第2管进行加热使它们热膨胀，利用管主体和第2管夹持凹凸形状使其变形，从而将第1管和第2管连接。

Manufacturing Method of Glass Substrate and Manufacturing Device of Glass Substrate

The invention relates to a method for manufacturing glass substrates and a device for manufacturing glass substrates. The invention can restrain the deformation, bending and breakage of the pipeline forming molten glass. In the manufacturing method of the glass substrate of the present invention, in order to form a flow path of molten glass between the end of the melting furnace and the forming device, the melting glass processing device is formed by connecting multiple tubes between the tubes and between the end of the melting furnace. The first tube consists of a main body of the tube and a flanged electrode which protrudes out of the main body of the tube and electrically heates the main body of the tube. The flanged electrodes are arranged at the end of the main body of the tube by clamping the main body of the tube and the second tube connected to the first tube. The flanged electrode has a concave-convex shape at least in the part clamped by the main body of the tube and the second tube, which bulges out along the extension direction of the flow path and adjacent concave-convex shape of the concave part. In this method, before the melting step, the first tube and the second tube are heated to make them expand, and the concave-convex shape of the main body and the second tube is clamped to deform them, so that the first tube and the second tube are connected.

【技术实现步骤摘要】
玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置
本专利技术涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。
技术介绍
在制造玻璃衬底时，利用熔解炉将玻璃原料熔融而制作熔融玻璃，其后利用澄清管使熔融玻璃澄清，将澄清后的熔融玻璃例如使用成形体成形为玻璃片。在熔解炉中制作的熔融玻璃是经由移送管送至澄清管。关于所述移送管及澄清管，已知有包含铂或铂合金的移送管及澄清管(专利文献1)。此处，在玻璃衬底的制造方法中，将熔解炉、移送管、及澄清管相连，进而确保在澄清管后至用来由熔融玻璃制作玻璃片的成形装置的熔融玻璃的流路，然后开始玻璃衬底的制造。这时，包含铂或铂合金的移送管及澄清管因被升温至一千几百度而热膨胀。另外，移送管及澄清管是固定在熔解炉和成形装置之间进行组装，因此移送管及澄清管欲向熔融玻璃的流动方向延伸的热膨胀受到约束，对移送管及澄清管施加压缩应力。其结果，有移送管及澄清管变形弯曲甚至破损的情况。另外，近年来，为了降低环境负荷，多数情况下使用SnO2作为澄清剂来代替一直用作澄清剂的有害的As2O3。SnO2在降低环境负荷的方面有效，但为了有效地发挥澄清功能，必须与As2O3相比将熔融玻璃的温度设定得较高。因此，为了将熔融玻璃加热至高温，移送管及澄清管的加热温度也变高，移送管及澄清管的热膨胀比以往大。因此，越来越期望能够防止在制造开始后移送管和澄清管因热膨胀而破损。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特表2008-539162号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]因此，本专利技术的目的在于提供一种玻璃衬底的制造方法及玻璃衬底制造装置，能够抑制形成熔融玻璃的流路的管、更具体来说具有形成熔融玻璃的流路且相互连接的多根管的熔融玻璃处理装置中的该管的变形、弯曲、破损等变形、弯曲、破损等。[解决问题的技术手段]本专利技术包含下述(1)～(7)的形态的玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。(1)一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于具备：熔解步骤，其利用熔解炉将玻璃原料熔解而制作熔融玻璃；处理步骤，其使用熔融玻璃处理装置对所述熔融玻璃进行处理；及成形步骤，其使用成形装置将经处理的所述熔融玻璃成形为玻璃片；为了形成所述熔解炉的端部和所述成形装置之间的熔融玻璃的流路，所述熔融玻璃处理装置是通过使多根管在所述管之间及和所述熔解炉的端部之间被连接而构成的；所述管中的第1管具备：管主体；法兰状的电极，其向所述管主体外突出，对所述管主体进行通电加热；所述法兰状的电极以被所述管主体和连接于所述第1管的第2管及所述熔解炉的所述端部的任一个夹持的方式设置在所述管主体的端；所述法兰状的电极至少在被所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持的部分具有沿着所述流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻的凹凸形状；且在所述熔解步骤之前，对所述第1管进行加热而使其热膨胀，利用所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持所述凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个连接。在所述(1)的方法中，在加热所述第1管前，在所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个之间设置了间隙。在所述(1)的方法中，优选所述第1管和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个的各进行抵接的端部从外部被冷却，通过由该端部使经过该端部进入至位于该端部之间的空隙的熔融玻璃冷却固化，从而形成所述流路。在所述(1)的方法中，优选加热所述第1管时，也加热所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的至少所述一个。(2)根据所述(1)所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述熔融玻璃处理装置还具有配置在所述管各自的周围的隔热构件；所述法兰状的电极以被所述第1管的周围的第1隔热构件和所述第2管的周围的第2隔热构件夹持的方式设置；所述法兰状的电极在被所述第1隔热构件和所述第2隔热构件夹持的所述法兰状电极的外周部也具有所述凹凸形状；且对所述第1管进行加热时，对所述第1隔热构件进行加热而使其热膨胀，利用所述第1隔热构件和所述第2隔热构件夹持位于所述法兰状电极的外周部的所述凹凸形状的部分使其变形。(3)根据所述(1)或所述(2)所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述法兰状的电极具有所述凹凸形状在所述法兰状电极的延伸方向上重复出现的形状；且所述凸部及所述凹部排列的方向的所述凹凸形状的重复单元的长度小于所述管主体的直径。(4)根据所述(1)至所述(3)中任一项所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述法兰状的电极以被所述管主体和所述第2管夹持的方式配置；在将所述管主体、所述法兰状的电极、所述凸部、所述凹部、所述凹凸形状分别称为第1管主体、第1法兰状的电极、第1凸部、第1凹部、第1凹凸形状时，所述第2管具备：第2管主体；及第2法兰状的电极，其向所述第2管主体外突出；所述第2法兰状的电极以被所述第2管主体和所述第1管的所述第1法兰状的电极夹持的方式设置在所述第2管主体的端；所述第2法兰状的电极至少在被所述第2管主体和所述第1法兰状的电极夹持的部分具有第2凸部及第2凹部相邻的第2凹凸形状，所述第2凸部向所述流路的延伸方向鼓出，所述第2凹部相对于所述第2凸部向所述第2管主体侧凹陷；且对所述第1管进行加热时，利用所述第2管主体和所述第1法兰状的电极夹持所述第2凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管连接。(5)一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于具备：熔解步骤，其利用熔解炉熔解玻璃原料而制作熔融玻璃；处理步骤，其使用熔融玻璃处理装置对所述熔融玻璃进行处理；及成形步骤，其使用成形装置将经处理的所述熔融玻璃成形为玻璃片；为了形成连接于所述熔解炉的处理槽的端部和所述成形装置之间的熔融玻璃的流路，所述熔融玻璃处理装置是通过使多根管在所述管之间及和所述处理槽的端部之间被连接而构成的；所述管中的第1管具备：管主体；及法兰状的电极，其向所述管主体外突出，对所述管主体进行通电加热；所述法兰状的电极以被所述管主体和连接于所述第1管的第2管及所述处理槽的所述端部的任一个夹持的方式设置在所述管主体的端；所述法兰状的电极至少在被所述管主体和所述第2管及所述处理槽的所述端部中的所述一个夹持的部分具有沿着所述流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻的凹凸形状；且在所述熔解步骤之前，对所述第1管进行加热而使其热膨胀，利用所述管主体和所述第2管及所述处理槽的所述端部中的所述一个夹持所述凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管及所述处理槽的所述端部中的所述一个连接。在所述(5)的方法中，在加热所述第1管前，在所述管主体和所述第2管及所述处理槽的所述端部中的所述一个之间设置了间隙。在所述(5)的方法中，优选所述第1管和所述第2管及所述处理槽的所述端部中的所述一个的各进行抵接的端部从外部被冷却，通过由该端部使经过该端部进入至位于该端部之间的空隙的熔融玻璃冷却固化，从而形成所述流路。在所述(5)的方法中，优选加热所述第1管时，也加热所述第2管及所述处理槽的所述端部中的至少所述一个。(6)一种玻璃衬底制造装置，其特征在于具备：熔解炉，其将玻璃原料熔解而制作熔融玻璃；熔融玻璃处理装置，其对所述熔融玻璃进行处理；及成形装置，其将经处理的所述熔融玻璃成形为玻璃片；为了形成所述熔解炉的端部和所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括：熔解步骤，其利用熔解炉熔解玻璃原料而制作熔融玻璃；处理步骤，其使用熔融玻璃处理装置对所述熔融玻璃进行处理；及成形步骤，其使用成形装置将经处理的所述熔融玻璃成形为玻璃片；为了形成所述熔解炉的端部和所述成形装置之间的熔融玻璃的流路，所述熔融玻璃处理装置是通过使多根管在所述管之间及和所述熔解炉的端部之间被连接而构成的；所述管中的第1管包含：管主体；及法兰状的电极，其向所述管主体外突出，对所述管主体进行通电加热；所述法兰状的电极以被所述管主体和连接于所述第1管的第2管及所述熔解炉的所述端部的任一个夹持的方式设置在所述管主体的端；所述法兰状的电极至少在被所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持的部分具有沿着所述流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻的凹凸形状；且在所述熔解步骤之前，对所述第1管进行加热而使其热膨胀，利用所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持所述凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个连接。

【技术特征摘要】
2017.06.30 JP 2017-129694;2018.06.25 JP 2018-119661.一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括：熔解步骤，其利用熔解炉熔解玻璃原料而制作熔融玻璃；处理步骤，其使用熔融玻璃处理装置对所述熔融玻璃进行处理；及成形步骤，其使用成形装置将经处理的所述熔融玻璃成形为玻璃片；为了形成所述熔解炉的端部和所述成形装置之间的熔融玻璃的流路，所述熔融玻璃处理装置是通过使多根管在所述管之间及和所述熔解炉的端部之间被连接而构成的；所述管中的第1管包含：管主体；及法兰状的电极，其向所述管主体外突出，对所述管主体进行通电加热；所述法兰状的电极以被所述管主体和连接于所述第1管的第2管及所述熔解炉的所述端部的任一个夹持的方式设置在所述管主体的端；所述法兰状的电极至少在被所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持的部分具有沿着所述流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻的凹凸形状；且在所述熔解步骤之前，对所述第1管进行加热而使其热膨胀，利用所述管主体和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个夹持所述凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管及所述熔解炉的所述端部中的所述一个连接。2.根据权利要求1所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述熔融玻璃处理装置还具有配置在所述管各自的周围的隔热构件；所述法兰状的电极以被所述第1管的周围的第1隔热构件和所述第2管的周围的第2隔热构件夹持的方式设置；所述法兰状的电极在被所述第1隔热构件和所述第2隔热构件夹持的所述法兰状电极的外周部也具有所述凹凸形状；且对所述第1管进行加热时，对所述第1隔热构件进行加热而使其热膨胀，利用所述第1隔热构件和所述第2隔热构件夹持位于所述法兰状电极的外周部的所述凹凸形状的部分使其变形。3.根据权利要求1或2所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述法兰状的电极具有所述凹凸形状在所述法兰状电极的延伸方向上重复出现的形状；且所述凸部及所述凹部排列的方向的所述凹凸形状的重复单元的长度小于所述管主体的直径。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃衬底的制造方法，其中所述法兰状的电极以被所述管主体和所述第2管夹持的方式配置；在将所述管主体、所述法兰状的电极、所述凸部、所述凹部、所述凹凸形状分别称为第1管主体、第1法兰状的电极、第1凸部、第1凹部、第1凹凸形状时，所述第2管包含：第2管主体；及第2法兰状的电极，其向所述第2管主体外突出；所述第2法兰状的电极以被所述第2管主体和所述第1管的所述第1法兰状的电极夹持的方式设置在所述第2管主体的端；所述第2法兰状的电极至少在被所述第2管主体和所述第1法兰状的电极夹持的部分具有沿着所述流路的延伸方向鼓出的第2凸部及凹陷的第2凹部相邻的第2凹凸形状；且对所述第1管进行加热时，利用所述第2管主体和所述第1法兰状的电极夹持所述第2凹凸形状使其变形，从而将所述第1管和所述第2管连接。5.一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括：熔解步骤，其利用熔...

【专利技术属性】
技术研发人员：守本将，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP