The invention relates to a steaming mask, a steaming mask device, a manufacturing method of a steaming mask and a manufacturing method of a steaming mask device. The evaporation mask (20) has: a first mask (30), which forms an opening (35); and a second mask (40), which overlaps with the first mask (30), forming a plurality of through holes (45) with a face direction dimension smaller than the opening (35). The evaporation mask (20) has plural joints (16) and plural joints (16) that make the second mask (40) and the first mask (30) join each other. An incision (46) is formed along the outer edge (43) of the second mask (40) at the corresponding position between the outer edge (43) of the second mask (40) and the adjacent two joints (16).
【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀掩模的制造方法和蒸镀掩模装置的制造方法
本专利技术涉及在蒸镀材料向被蒸镀基板的蒸镀中所使用的蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀掩模的制造方法和蒸镀掩模装置的制造方法。
技术介绍
近年来，对于在智能手机、平板电脑等可携带的设备中使用的显示装置，要求高精细，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，对于可携带的设备而言，对应对超全高清的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。在显示装置中，有机EL显示装置由于响应性良好、耗电低、对比度高而备受关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知有使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模以所期望的图案形成像素的方法。具体而言，首先将有机EL显示装置用的基板(有机EL基板)投入蒸镀装置中，接着在蒸镀装置内使蒸镀掩模相对于有机EL基板密合，进行使有机材料蒸镀至有机EL基板的蒸镀工序。作为这样的蒸镀掩模的一例，可以举出JP2016-148112A所公开的蒸镀掩模。JP2016-148112A所公开的蒸镀掩模是利用镀覆处理而制造的。首先，在绝缘性的基材上形成导电性图案，然...
【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其具备：第一掩模，其形成有开口部；和第二掩模，其与所述第一掩模重叠，形成有复数个具有比所述开口部的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模具有使所述第二掩模和所述第一掩模相互接合的复数个接合部，所述复数个接合部沿着所述第二掩模的外缘排列，在所述第二掩模的所述外缘处，在与相邻的两个所述接合部之间对应的位置，形成有切口。
【技术特征摘要】
2017.07.05 JP 2017-1321621.一种蒸镀掩模，其具备：第一掩模，其形成有开口部；和第二掩模，其与所述第一掩模重叠，形成有复数个具有比所述开口部的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模具有使所述第二掩模和所述第一掩模相互接合的复数个接合部，所述复数个接合部沿着所述第二掩模的外缘排列，在所述第二掩模的所述外缘处，在与相邻的两个所述接合部之间对应的位置，形成有切口。2.一种蒸镀掩模装置，其具备权利要求1所述的蒸镀掩模和安装于所述蒸镀掩模的框架。3.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备：第一掩模，其形成有开口部；和第二掩模，其与所述第一掩模重叠，形成有复数个具有比所述开口部小的尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模的制造方法具有：接合工序，利用复数个接合部使具有基材、导电性图案和金属层的层积体的所述金属层...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛草昌人，中村友祐，冈本英介，村田佳则，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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