显示模组清洗装置及其清洗方法制造方法及图纸

一种显示模组清洗装置，其特征在于，包括：管道和喷头；管道分为主路管道和辅路管道；主路管道一侧连接进水口，另一侧连接辅路管道；其中，主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，第一主路管道和第二主路管道之间的距离等于第二主路管道和第三主路管道之间的距离，且这三条主路管道均设置于辅路管道；第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道分别单独与进水口相连接；辅路管道另一侧设置喷头，喷头正对于基板面进行设置；有益效果：通过将单侧进水改为双侧加中间同时进水，提高了现有技术中显示模组清洗不均匀，局部不干净的问题，可以使显示模组清洗不良导致的缺陷得到改善。

The Cleaning Device of Display Module and Its Cleaning Method

A display module cleaning device is characterized by: pipeline and nozzle; pipeline is divided into main pipeline and auxiliary pipeline; main pipeline is connected with water intake on one side and auxiliary pipeline on the other; main pipeline is divided into first main pipeline, second main pipeline and third main pipeline, and the distance between the first main pipeline and the second main pipeline is equal to the distance between the second main pipeline. The distance between the pipeline and the third main pipeline, and the three main pipelines are all located in the auxiliary pipeline; the first main pipeline, the second main pipeline and the third main pipeline are separately connected with the intake port; the other side of the auxiliary pipeline is provided with nozzles, which are set on the base surface; the beneficial effect is improved by changing the unilateral intake into the bilateral and the middle intake. In the prior art, the defects caused by poor cleaning of the display module can be improved due to the problems of uneven cleaning and local unclean cleaning of the display module.

【技术实现步骤摘要】
显示模组清洗装置及其清洗方法
技术实现思路
本专利技术涉及面板领域，特别是涉及一种显示模组清洗装置及其清洗方法。
技术介绍
随着液晶面板行业越来越朝着高清显示方向发展，大尺寸液晶面板的需求越来越受到市场的青睐，国内已有多家G11代面板厂商已建成或正常建设中，随着显示能力的提高，清晰度的要求越高，面板上线路的线宽越来越细，极细微的异物都会导致图形的验证变形，因此，显示模组的洁净度在一定程度也影响了其显示效果。为了提高产品良率，在生产过程中，对无尘室环境洁净度及设备清洗能力的要求越来越高。阵列光刻生产线(ArrayPhotoLine)通常为阵列厂的产能瓶颈，涂布显影设备因细小颗粒物(Particle)等导致的产品重工占该工艺中的50％以上(由于基板清洗不干净所导致的)；不仅影响产能，也会影响产品良率的提升；因此，提高设备清洗能力可显著提升大时代面板生产线的生产效率。在现有的技术中，清洗管路的进水管一般都是从单侧进水，详见图1，101为进水口，控制整个清洗装置的进水；102为进水管道，负责将进水口流入的水输送到各喷头103处，再经喷头103喷出对基板进行冲洗。但是随着基板尺寸的增加，进水管道的长度也会随之增加，距离进水口越远的地方其水压也会逐渐减小，因此，其对基板的清洗能力也会随之减弱，导致在距离进水口远的地方其基板表面的异物或是光阻有残留，基板局部清洗不干净。综上所述，在现有的显示模组的清洗技术中，还存在基板局部清洗不干净的问题未能得到解决，急需改进。
技术实现思路
本专利技术涉及一种显示模组清洗装置及其清洗方法，用于解决现有技术中存在的基板面清洗不均匀，局部不干净的问题。本专利技术提供的显示模组清洗装置，包括：管道和喷头；所述管道分为主路管道和辅路管道；所述主路管道一侧连接进水口，另一侧连接所述辅路管道；其中，所述主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道均设置于所述辅路管道一侧，且所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道分别单独与进水口相连接；所述辅路管道另一侧设置所述喷头，所述喷头正对于基板面进行设置。根据本专利技术提供的一优选实施例，相邻所述喷头平均且等距地设置于所述辅路管道。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述第一主路管道与所述第二主路管道之间的距离等于所述第二主路管道与所述第三主路管道之间的距离。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述辅路管道两端结尾处设置有连接装置，所述连接装置处连接密封盖或是下一段清洗装置。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道的直径、材质和外形都相同。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道的中段位置各呈90度弯折后与所述辅路管道连接。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述辅路管道两端结尾处使用时用密封盖连接。根据本专利技术提供的一优选实施例，所述辅路管道两端结尾处的连接方式为螺纹连接或是嵌套连接。根据本专利技术提供的一种显示模组的清洗方法，结合本专利技术所提供的显示模组清洗装置，具体清洗步骤如下：S10，清洗：使用显示模组清洗装置均匀地对基板进行清洗；S20，涂布：使用涂布机在基板上涂覆一层光阻层；S30，进行低压干燥和软烤，使光阻中的有机物得到充分挥发，胶膜干燥，形成硬膜；S40，曝光：将光罩上的电路结构图形转移至光阻表面；S50，显影：使用显影设备，将受光区域的光阻层进行溶解；S60，再次使用显示模组清洗装置对基板进行清洗，分别对基板的正、背面的光阻和显影残留的混合液进行清洗。根据本专利技术提供的一种显示模组的清洗方法实施例，所述喷头将高压低流速的水转化成低压高流速的水喷出。技术效果：本专利技术提供的显示模组清洗装置及其清洗方法，通过将单侧进水改为双侧加中间同时进水，提高了现有技术中显示模组局部清洗不干净的问题，可以使显示模组清洗不良导致的缺陷得到改善。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的显示模组清洗装置的第一结构示意图。图2为本专利技术实施例提供的显示模组清洗装置的第二结构示意图。图3A，3B为本专利技术实施例提供的显示模组清洗装置的局部放大结构图。图4为本专利技术实施例提供的显示模组清洗方法的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。本专利技术提供的显示模组清洗装置及其清洗方法的具体实施方式，具体请结合下图2，图3A，图3B和图4进行详细说明。图2为本专利技术显示模组清洗装置的一结构200示意图，其中，201为进水口，202为第一主路管道，203为第二主路管道，204为第三主路管道，205为辅路管道。图3A，3B为本专利技术显示模组清洗装置结构的局部放大图，主要用于表达所述辅路管道205两端结尾处两种不同的连接方式，3A为螺纹式连接，3B为嵌套式连接。图4为本专利技术显示模组清洗方法的流程示意图。从图2中可以看出，本专利技术提供的显示模组清洗装置，包括：管道和喷头；所述管道分为主路管道和辅路管道205；其中，所述主路管道分为第一主路管道202、第二主路管道203和第三主路管道204；所述第一主路管道202、所述第二主路管道203和所述第三主路管道204均设置在所述辅路管道205一侧，且所述第一主路管道202、所述第二主路管道203和所述第三主路管道204分别单独与所述进水口201相连接；所述辅路管道205另一侧设置所述喷头，所述喷头正对于基板面进行设置。为了降低随着水管长度的增加，距离出水口越远的地方水压越小，甚至不能供水的问题，设置三条主路管道，且每两条主路管道之间的距离相等。直接增加了所述辅路管道205上的水压，保证了所述辅路管道205上每一段位置的水压都是相等的，不会随着管道长度的增加，水流逐渐流失而导致距离进水口远的地方，喷头出水量小，甚至无法出水。所述第一主路管道202、所述第二主路管道203和所述第三主路管道204分别单独连接进水口201，可以保证本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示模组清洗装置，其特征在于，包括：管道和喷头；所述管道分为主路管道和辅路管道；所述主路管道一侧连接进水口，另一侧连接所述辅路管道；其中，所述主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道均设置于所述辅路管道一侧，且所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道分别单独与进水口相连接；所述辅路管道另一侧设置所述喷头，所述喷头正对于基板面进行设置。

【技术特征摘要】
1.一种显示模组清洗装置，其特征在于，包括：管道和喷头；所述管道分为主路管道和辅路管道；所述主路管道一侧连接进水口，另一侧连接所述辅路管道；其中，所述主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道均设置于所述辅路管道一侧，且所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道分别单独与进水口相连接；所述辅路管道另一侧设置所述喷头，所述喷头正对于基板面进行设置。2.根据权利要求1所述的显示模组清洗装置，其特征在于，相邻所述喷头平均且等距地设置于所述辅路管道。3.根据权利要求1所述的显示模组清洗装置，其特征在于，所述第一主路管道与所述第二主路管道之间的距离等于所述第二主路管道和所述第三主路管道之间的距离。4.根据权利要求1所述的显示模组清洗装置，其特征在于，所述辅路管道两端结尾处设置有连接装置，所述连接装置处连接密封盖或是下一段清洗装置。5.根据权利要求1所述的显示模组清洗装置，其特征在于，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道的直径、材质和外形均相同。6.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘继承，王江，陈敬华，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44