The invention discloses an electron beam alignment detection tube and an electron beam alignment detection device. The electron beam alignment detection tube includes: insulators, output electrodes and detection inductors; insulators and output electrodes are welded together by brazing; multiple detection inductors are enclosed in a hollow structure; insulators are wrapped in the upper part of the hollow structure; hollow structure is placed in the electron beam tube; the output electrodes correspond to the detection inductors one by one; and the output electrodes correspond with the detection inductors along the insulators. The inner wall penetrates and connects with the external electric signal detection device; when the electron beam in the electron beam tube contacts with the induction plate, the electric signal is transmitted to the electric signal detection device through the output electrode. If the electric signal detection device receives the electric signal, the electron beam is not in the coaxial state, and the electron beam is adjusted and debugged. The electronic beam alignment detection tube and the electronic beam alignment detection device provided by the invention can reduce the difficulty of the electronic beam alignment debugging and shorten the debugging time.
【技术实现步骤摘要】
一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置
本专利技术涉及电子束对中检测领域,特别是涉及一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置。
技术介绍
目前,在磁透镜中,电子束的对中校正都依赖于其内部的偏转线圈装置,包括:电子枪的对中、照明束的平移、倾斜调整,还有扫描电子显微镜中的电子束扫描。偏转线圈装置是电子束进行合轴对中的重要执行元件。通常情况下,磁透镜的聚焦线圈都处于大气中,需要在内部加入电子束管,为电子束提供良好的真空环境,偏转线圈安装在电子束管的上部,当成像系统发现电子束处于未合轴状态时,可以调整偏转线圈内的电流,通过磁场的变化达到电子束的最佳合轴状态。但是,当电子束轨迹接触到电子束管道内壁上时,底部探测器无法接收信号,因此,成像系统无法正常成像,此时电子束只能通过盲调进行对中校正,给对中校正的调试造成困难,延长调试的时间。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种电子束对中检测装置,以解决电子束对中校正调试困难,调试时间长的问题。为实现上述目的,本专利技术提供了如下方案:一种电子束对中检测管,包括:绝缘件、输出电极以及检测感应片;所述绝缘件与所述输出电极采用钎焊方式焊接在一起;所述输出电极包括多个;所述检测感应片包括多个;多个所述检测感应片围成一个中空结构;所述绝缘件包裹于所述中空结构的上部;所述绝缘件用于避免电流信号对所述电子束对中检测管进行干扰;所述中空结构置于电子束管内;所述输出电极与所述检测感应片一一对应且一个所述输出电极只与一个所述检测感应片相对应;相对应的所述输出电极以及所述检测感应片焊接在一起;所述输出电极沿着所述绝缘件的内壁穿出,与外部的电 ...
【技术保护点】
1.一种电子束对中检测管,其特征在于,包括:绝缘件、输出电极以及检测感应片;所述绝缘件与所述输出电极采用钎焊方式焊接在一起;所述输出电极包括多个;所述检测感应片包括多个;多个所述检测感应片围成一个中空结构;所述绝缘件包裹于所述中空结构的上部;所述绝缘件用于避免电流信号对所述电子束对中检测管进行干扰;所述中空结构置于电子束管内;所述输出电极与所述检测感应片一一对应且一个所述输出电极只与一个所述检测感应片相对应;相对应的所述输出电极以及所述检测感应片焊接在一起;所述输出电极沿着所述绝缘件的内壁穿出,与外部的电信号检测装置相连接;所述电子束管内的电子束与感应片相接触时,产生电信号,所述电信号通过所述输出电极传输至所述电信号检测装置,若所述电信号检测装置接收到所述电信号时,则确定所述电子束未处于合轴状态,对所述电子束进行对中校正调试。
【技术特征摘要】
1.一种电子束对中检测管,其特征在于,包括:绝缘件、输出电极以及检测感应片;所述绝缘件与所述输出电极采用钎焊方式焊接在一起;所述输出电极包括多个;所述检测感应片包括多个;多个所述检测感应片围成一个中空结构;所述绝缘件包裹于所述中空结构的上部;所述绝缘件用于避免电流信号对所述电子束对中检测管进行干扰;所述中空结构置于电子束管内;所述输出电极与所述检测感应片一一对应且一个所述输出电极只与一个所述检测感应片相对应;相对应的所述输出电极以及所述检测感应片焊接在一起;所述输出电极沿着所述绝缘件的内壁穿出,与外部的电信号检测装置相连接;所述电子束管内的电子束与感应片相接触时,产生电信号,所述电信号通过所述输出电极传输至所述电信号检测装置,若所述电信号检测装置接收到所述电信号时,则确定所述电子束未处于合轴状态,对所述电子束进行对中校正调试。2.根据权利要求1所述的电子束对中检测管,其特征在于,所述检测感应片为四象限检测感应片;相对的两个所述四象限检测感应片为一组四象限检测感应片组,共四组,每组所述四象限检测感应片组为一个象限区域;四组所述四象限检测感应片组处于同一水平面内且处于不同的圆周半径上。3.根据权利要求2所述的电子束对中检测管,其特征在于,所述四象限检测感应片的材料为耐高温导电金属。4.根据权利要求1所述的电子束对中检测管,其特征在于,所述绝缘件的材料为绝缘耐高温材料;所述绝缘件的材料的热膨胀系数与所述输出电极的材料的热膨胀系数相同。5.根据权利要求1所述的电子束对中检测管,其特征在于,所述输出电极与所述绝缘件焊接在一起,焊接后所述电子束对中检测管的真空漏率低于1×10-8Pa·m3/s。6.一种电子束对中检测装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:王岩,赵伟霞,刘俊标,殷伯华,董增雅,王丽娟,韩立,
申请(专利权)人:中国科学院电工研究所,
类型:发明
国别省市:北京,11
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