除电室、除电系统以及除电方法技术方案

本发明专利技术提供一种除电室(20)，其设于第一区域(11)与第二区域(12)之间的交界处。除电室包括将第一区域和室内空间分隔开的第一分隔件(26)、将第二区域和室内空间分隔开的第二分隔件(27)、以及设于第一分隔件与第二分隔件之间的室内空间的加湿喷嘴(21)。加湿喷嘴以雾状喷出水或水蒸气而提高室内空间的湿度。

Electricity Removal Chamber, Electricity Removal System and Electricity Removal Method

The invention provides a deionization chamber (20), which is located at the junction between the first area (11) and the second area (12). The degaussing chamber includes a first partition (26) separating the first area from the indoor space, a second partition (27) separating the second area from the indoor space, and a humidifying nozzle (21) located in the indoor space between the first partition and the second partition. The humidifying nozzle sprays water or vapor in a fog shape to increase the humidity of the indoor space.

【技术实现步骤摘要】
除电室、除电系统以及除电方法
本专利技术涉及为了维持和提高洁净室内的洁净度而对人、物体进行除电的除电室和使用该除电室的除电系统。而且，本专利技术还涉及一种除电方法。
技术介绍
在光学材料、半导体、药品、食品等的制造工厂等的洁净室中，要求一定程度以上的洁净度。当附着于作业人员的衣服、器材等的灰尘被带入到洁净室内时，会使洁净室的洁净度降低。因此，出于去除附着在要进入洁净室的作业人员的衣服、器材等的灰尘的目的，在洁净室的入口设有风淋室。在风淋室中，通过自空气喷出孔喷出风速为20m/s～30m/s左右的高压空气，从而吹掉并去除所附着的灰尘。当作业人员的衣服等带有静电时，存在即使自风淋的空气喷出孔喷射高压空气也无法充分地去除所附着的灰尘的情况。另外，存在在洁净室内设置清洁度不同的多个区域来管理洁净度的情况，当作业人员的衣服等带有静电时，混入洁净室内的灰尘会附着于作业人员，导致灰尘被带向要求更高洁净度的区域。在专利文献1中，记载有如下一种方法：对进入风淋室内的人、物体喷射高湿度的高压空气而设为难以产生静电的状态，再去除灰尘。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000－74437号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在喷射高湿度的高压空气来进行除电的方法中，需要喷射高湿度空气直至室内的空气被高湿度空气置换为止，以提高室内的湿度。因此，人、物体在室内的滞留时间较长，导致工作效率降低。另外，在风淋中，由于将来自空气喷出孔的高压空气直接对人、物体进行喷射，因此，当高湿度空气的喷射时间较长时，会产生衣服等沾湿这样的问题。鉴于上述问题，本专利技术的目的在于，提供一种即使短时间滞留在室内也能够高效地去除人、物体的静电的洁净室用的除电室和除电系统。用于解决问题的方案本专利技术的除电系统在设于第一区域与第二区域之间的交界处的除电室内对人或物体进行除电。除电室包括将第一区域和室内空间在空间上分隔开的第一分隔件、将第二区域和室内空间分隔开的第二分隔件、以及设于第一分隔件与第二分隔件之间的室内空间的加湿喷嘴。第一分隔件和第二分隔件各自能够开闭。滞留在第一区域的人、物体能够打开第一分隔件而进入室内空间。除电结束后，滞留在室内空间的人、物体打开第二分隔件而进入第二区域。加湿喷嘴能够对室内空间以雾状喷出水或水蒸气。通过自加湿喷嘴向室内空间以雾状喷出水或水蒸气，能够提高室内空间的湿度，从而对滞留在室内空间的人或物体进行除电。优选的是，自加湿喷嘴以雾状喷出平均粒径为20μm以下的水滴。优选的是，除电系统除了具备上述除电室以外，还具备传感器。传感器对滞留在第一区域内的人或物体的向距除电室的预定距离内靠近的情况进行检测。根据来自传感器的信号，开始向室内空间以雾状喷出水或水蒸气。因此，能够在人或物体打开所述第一分隔件而自第一区域进入室内空间之前使室内空间的湿度上升。专利技术的效果本专利技术的除电室利用自加湿喷嘴以雾状喷出的水或水蒸气来提高室内空间的湿度，因此能够高效地去除滞留在室内空间的人或物体的静电。因此，能够缩短人或物体滞留在室内的时间。另外，通过根据来自传感器的信号在人或物体进入室内空间之前开始加湿，能够进一步缩短人或物体滞留在室内的时间。通过缩短在室内的滞留时间，能够提高工作效率并缩短接受来自加湿喷嘴的水蒸气、加湿空气的喷雾的时间，因此能够防止衣服等沾湿。附图说明图1是具备除电系统的洁净室的示意图。附图标记说明100、洁净室；20、加湿室(除电室)；21、加湿喷嘴；26、27、除电帘(分隔件)；11、第一区域；12、第二区域；15、传感器。具体实施方式图1是具备本专利技术的除电系统的洁净室100的示意图。洁净室100具有第一区域11和要求清洁度比第一区域的洁净度高的第二区域12，在第一区域11与第二区域12之间设有除电室20。除电室20是以去除人、物体的静电为目的的加湿室。加湿室20通过作为第一分隔件的除电帘26而与第一区域11分隔开，并通过作为第二分隔件的除电帘27而与第二区域12分隔开。除电帘26、27能够进行开闭，作业人员能够打开除电帘26而从第一区域11进入加湿室20。在被除电帘26、27分隔出的加湿室20内的天花板、壁面上设有加湿喷嘴21，该加湿喷嘴21能够向室内空间喷出雾状的水滴、水蒸气。在加湿室20的地板面上设有排水道29，积存在室内的地板面上的水自排水道29排出到室外。自加湿喷嘴21以雾状喷出的水或水蒸气只要能够使室内空间的湿度上升即可。为了防止作业人员的衣服等沾湿且发挥在高湿度环境下的较高除电效果，优选以雾状喷出被称作干雾的微细水滴。干雾例如是平均粒径为20μm以下的水滴。干雾能够利用一流体喷嘴或二流体喷嘴来形成，该一流体喷嘴将水压缩而使水微细化，该二流体喷嘴利用压缩气体来使水微细化。从基本上不含有粗大的水滴且能够使平均粒径较小的方面考虑，优选为二流体喷嘴。通过使用二流体喷嘴，例如，能够形成水滴的最大粒径为50μm以下且平均粒径为10μm以下的超微细水滴。对于具备二流体喷嘴作为加湿喷嘴的加湿器，可举出株式会社池内制造的“AKIMistD”、“AKIMistE”等。人或物体滞留在室内空间的期间内的室内空间的相对湿度优选为80％以上，更优选为85％以上，进一步优选为90％以上。室内空间的相对湿度并不需要始终在上述范围内，只要人或物体滞留在室内空间的期间内的相对湿度的最大值在上述范围内即可。为了将室内的湿度维持为较高而高效地去除静电，优选的是，在作业人员滞留在室内的期间内，自加湿喷嘴21持续以喷雾状喷出水或水蒸气。在除电结束后，停止自加湿喷嘴21喷雾，作业人员打开除电帘27向第二区域12移动。也可以是，在作业人员打开了除电帘27时停止加湿或作业人员向第二区域移动之后停止加湿。除电的结束以作业人员进入室空间后经过预定时间、室内空间达到设定湿度等为基准即可。另外，也可以在室内空间达到设定湿度以上之后经过预定时间再结束除电。也可以利用蜂鸣声、来自旋转灯的光等来告知室内的作业人员除电结束。为了自风淋室的空气喷出孔喷射被设定为高湿度的高压空气而去除静电，需要喷射高湿度空气直至室内空间的空气被高湿度空气置换为止，以使室内高湿度化。因此，作业人员、物体在室内的滞留时间较长，从而导致工作效率降低。另外，当喷射高湿度的空气的时间较长时，会产生衣服等沾湿之类的问题。与此相对，在本专利技术的除电室中，自加湿喷嘴21以雾状喷出水或水蒸气。在二流体喷嘴等中，以雾状喷出含有微细水滴的空气，但该空气的相对湿度实质上为100％。因而，能够利用短时间的喷雾来提高室内空间的湿度，即使在人或物体在室空间内的滞留时间较短的情况下也能够高效地去除静电。从进一步缩短滞留在室内的时间的观点考虑，也可以是，在人、物体向室内进入之前，预先自加湿喷嘴向室内空间以雾状喷出水或水蒸气来进行加湿。例如，若使加湿装置始终工作并使室内空间始终为加湿状态，则由于在人、物体进入到室内时湿度已经上升，因此，人、物体不必在室内等待至湿度上升，能够进一步缩短在室内的滞留时间。另一方面，使加湿装置始终工作的做法是不经济的。另外，当自加湿喷嘴向室内空间持续地以雾状喷出水或水蒸气时，室内的地板面成为湿润的状态，从而有可能产生室内污染、作业人员容易滑倒等不良情况。因此，优选的是，设置对自第一区域11侧向第二区域12移动的作业人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种除电室，其设于第一区域与要求洁净度比所述第一区域的洁净度高的第二区域之间的交界处，其中，该除电室包括：第一分隔件，其将所述第一区域和室内空间分隔开，该第一分隔件能够开闭；第二分隔件，其将所述第二区域和所述室内空间分隔开，该第二分隔件能够开闭；以及加湿喷嘴，其设于所述第一分隔件与所述第二分隔件之间的室内空间，通过自所述加湿喷嘴以雾状喷出水或水蒸气而提高室内空间的湿度，从而对滞留在室内空间的人或物体进行除电。

【技术特征摘要】
2017.07.06 JP 2017-1330881.一种除电室，其设于第一区域与要求洁净度比所述第一区域的洁净度高的第二区域之间的交界处，其中，该除电室包括：第一分隔件，其将所述第一区域和室内空间分隔开，该第一分隔件能够开闭；第二分隔件，其将所述第二区域和所述室内空间分隔开，该第二分隔件能够开闭；以及加湿喷嘴，其设于所述第一分隔件与所述第二分隔件之间的室内空间，通过自所述加湿喷嘴以雾状喷出水或水蒸气而提高室内空间的湿度，从而对滞留在室内空间的人或物体进行除电。2.根据权利要求1所述的除电室，其中，所述加湿喷嘴能够向所述室内空间内以雾状喷出平均粒径为20μm以下的水滴。3.一种除电系统，其特征在于，该除电系统在第一区域与要求洁净度比所述第一区域的洁净度高的第二区域之间的交界处具有权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴炳俊，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP