一种预置引线式薄膜传感器的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种预置引线式薄膜传感器的制作方法，包括：制作预置引线衬底：根据传感器的形状要求制作衬底模具，使衬底模具中衬底材料部分为空，引线部分为实；然后基于衬底模具获得衬底；将引线加入衬底中，并通过固化方式结合在一起，完成引线预置；再对衬底进行加工形成传感器衬底。本发明专利技术在衬底成型时，直接预留出引线的安装位置来预置引线，解决了传感器成型后再加工引线会面临的加工及定位难题。

A Fabrication Method of Preset Lead Thin Film Sensor

The invention relates to a method for fabricating a pre-positioned lead film sensor, which includes: fabricating a pre-positioned lead substrate: making a substrate mould according to the shape requirements of the sensor, making the substrate material part of the substrate mould empty and the lead part solid; then obtaining a substrate based on the substrate mould; adding the lead into the substrate, and combining the lead into the substrate by solidification method to complete the lead pre-positioning; Substrates are processed to form sensor substrates. In the process of forming the substrate, the installation position of the lead is reserved directly to preset the lead, which solves the processing and positioning problems faced by the re-processing lead after forming the sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种预置引线式薄膜传感器的制作方法
本专利技术涉及薄膜传感器
，尤其涉及一种预置引线式薄膜传感器的制作方法。
技术介绍
高超声速飞行器在大气中飞行，特别是再入时，由于激波压缩和粘性摩擦产生大量热能，会导致飞行器表面温度激增。飞行器再入导致的高温问题一般都会伴随着复杂的高温物理现象，现有经验和理论难以直接预测飞行器热环境，所以通常要依靠地面风洞试验对飞行器的热环境进行研究。而在高超声速飞行器的防热设计中，主要依赖风洞热流的测量值保障飞行器和飞行员的安全。随着推进一体化高超声速飞行器的发展，为了满足减小阻力、保证进气道性能等方面的要求，机身前缘、进气道唇口、隔板和控制舵等部件一般都采用曲率半径较小的尖翼前缘。根据气动加热的一般规律，对于高超声速飞行器热环境，部件迎风前缘曲率半径较小则对应越高的气动加热量。超燃发动机技术的研究，以及发动机和飞行器的一体化技术，导致飞行器燃烧室内气流静温可达1800℃以上，而模型表面和燃烧室内的热流可能高达5MW/m2以上，在如此高温的流场中，热传导和热辐射等作用会使得飞行器表面和内部的温度骤然升高，甚至可能会对飞行器产生致命的损坏。因此，在高超声速飞本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于包括：A、制作预置引线衬底：根据传感器的形状要求制作衬底模具，使衬底模具中衬底材料部分为空，引线部分为实；然后基于衬底模具获得衬底；将引线加入衬底中，并通过固化方式结合在一起，完成引线预置；再对衬底进行加工形成传感器衬底。

【技术特征摘要】
1.一种预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于包括：A、制作预置引线衬底：根据传感器的形状要求制作衬底模具，使衬底模具中衬底材料部分为空，引线部分为实；然后基于衬底模具获得衬底；将引线加入衬底中，并通过固化方式结合在一起，完成引线预置；再对衬底进行加工形成传感器衬底。2.根据权利要求1所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于还包括：B1、根据敏感元件的预设计制作掩膜，在传感器衬底上形成薄膜敏感元件，获得薄膜电阻热流传感器。3.根据权利要求1或2所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：所述引线材料包括铂、钯、金、银或铜。4.根据权利要求1所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于还包括：B2、将热电偶丝预置在传感器衬底中，采用直流磁控镀膜机在传感器衬底表面镀膜，形成热电偶结点，获得薄膜热电偶热流传感器。5.根据权利要求4所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：所述获得薄膜热电偶热流传感器的具体方法为：安装镀膜的靶，并选择靶材；加工安装座，将传感器衬底固定在安装座上，再将安装座摆放在直流磁控镀膜机真空室内的样品台上；启动真空泵，将所述真空室内以10-9000升/秒的初始抽速抽真空到1～5×10-4Pa；然后开启减压板，降低抽速到初始抽速的50％～30％，持续充入氩气达到1～8×...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘济春，孔荣宗，肖红云，张扣立，秦峰，
申请(专利权)人：中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51