一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的放电模块制造技术

本发明专利技术公开了一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的放电模块，包括放电单元封装板、套接在放电单元封装板进气端的通气元件Ⅰ和套接在放电单元封装板出气端的通气元件Ⅱ；放电单元封装板包括密封板件Ⅰ和密封板件Ⅱ，密封板件Ⅰ的下表面具有凹槽Ⅰ，密封板件Ⅱ的上表面具有与凹槽Ⅰ相对应的凹槽Ⅱ，凹槽Ⅰ与凹槽Ⅱ相对设置且通过两者的槽壁顶部将密封板件Ⅰ和密封板件Ⅱ贴合为一体；凹槽Ⅰ与凹槽Ⅱ所围空间内设有放电单元。本发明专利技术通过在附有薄片金属电极的介质板Ⅰ下表面和/或栅状金属电极表面镀一层半导体薄膜，以含氧气体为气源下，其较大的表面积可在与等离子体接触的过程中通过一系列多相反应进一步促进臭氧的合成。

【技术实现步骤摘要】
一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的新型放电模块
本专利技术涉及一种臭氧合成模块，尤其涉及一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的新型放电模块。
技术介绍
臭氧作为一种公认的绿色强氧化剂，被广泛地应用于污水处理、空气净化等工农业生产中，且效果显著。近来，随着工农业生产的飞速发展，需应对的环境污染问题也趋于严重，这相应地增加了臭氧的需求量，因而对臭氧发生器的臭氧合成性能提出了更高的要求。就目前常用的介质阻挡放电臭氧发生器而言，增大反应器尺寸以及合理地设计电极结构均可有效地提高臭氧产量。但虽然反应器尺寸增大后使臭氧产量明显提高且该方法在工农业生产中也较为常用，然而对于需进行现场臭氧处理的应用来说，反应器尺寸的增加则会明显加大臭氧发生器的操作及运输难度。因而，为了研发高臭氧合成效率的中小型臭氧发生器以方便现场应用，在较小的反应器尺寸下，通过改变电极结构来提高臭氧合成是非常有效的手段。
技术实现思路
鉴于现已有技术存在的不足，本专利技术提供了一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的新型放电模块。本专利技术具有较小的尺寸，其电极结构为一薄片金属电极附着在一介质板的上表面，一栅状金属电极与该介质板下表面相对并附着本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的新型放电模块，其特征在于，包括放电单元封装板、套接在所述放电单元封装板进气端的通气元件Ⅰ和套接在所述放电单元封装板出气端的通气元件Ⅱ；所述通气元件Ⅰ的一端具有与所述放电单元封装板进气端相匹配的密封腔体Ⅰ，所述通气元件Ⅰ的另一端具有进气孔，所述进气孔通过气体缓冲区腔体Ⅰ与所述密封腔体Ⅰ连通；所述通气元件Ⅱ的一端具有与所述放电单元封装板出气端相匹配的密封腔体Ⅱ，所述通气元件Ⅱ的另一端具有出气孔，所述出气孔通过气体缓冲区腔体Ⅱ与所述密封腔体Ⅱ连通；所述放电单元封装板包括密封板件Ⅰ和密封板件Ⅱ，所述密封板件Ⅰ的下表面具有凹槽Ⅰ，所述密封板件Ⅱ的上表面具有与所述凹槽...

【技术特征摘要】
1.一种基于表面催化薄膜增强臭氧合成的新型放电模块，其特征在于，包括放电单元封装板、套接在所述放电单元封装板进气端的通气元件Ⅰ和套接在所述放电单元封装板出气端的通气元件Ⅱ；所述通气元件Ⅰ的一端具有与所述放电单元封装板进气端相匹配的密封腔体Ⅰ，所述通气元件Ⅰ的另一端具有进气孔，所述进气孔通过气体缓冲区腔体Ⅰ与所述密封腔体Ⅰ连通；所述通气元件Ⅱ的一端具有与所述放电单元封装板出气端相匹配的密封腔体Ⅱ，所述通气元件Ⅱ的另一端具有出气孔，所述出气孔通过气体缓冲区腔体Ⅱ与所述密封腔体Ⅱ连通；所述放电单元封装板包括密封板件Ⅰ和密封板件Ⅱ，所述密封板件Ⅰ的下表面具有凹槽Ⅰ，所述密封板件Ⅱ的上表面具有与所述凹槽Ⅰ相对应的凹槽Ⅱ，所述凹槽Ⅰ与所述凹槽Ⅱ相对设置且通过两者的槽壁顶部将所述密封板件Ⅰ和所述密封板件Ⅱ贴合为一体；所述放电单元封装板进气端具有进气狭缝，所述进气狭缝通过所述气体缓冲区腔体Ⅰ与所述进气孔连通，所述进气狭缝包括两个分别位于所述密封板件Ⅰ和所述密封板件Ⅱ上且相对设置的进气槽；所述放电单元封装板出气端具有出气狭缝，所述出气狭缝通过所述气体缓冲区腔体Ⅱ与所述出气孔连通，所述出气狭缝包括两个分别位于所述密封板件Ⅰ和所述密封板件Ⅱ上且相对设置的出气槽；所述进气狭缝和所述出气狭缝均与所述凹槽Ⅰ与所述凹槽Ⅱ所围空间连通；所述凹槽Ⅰ与所述凹槽Ⅱ所围空间内设有放电单元；所述放电单元与电源连接；所述电源采用高压交流电源。2.根据权利要求1所述的模块，其特征在于：所述放电单元包括位于所述凹槽Ⅰ槽底的介质层Ⅰ和位于所述凹槽Ⅱ槽底的介质层Ⅱ；所述介质层Ⅰ上表面附有薄片金属电极；所述介质层Ⅱ上表面附有栅状金属电极；所述介质层Ⅰ下表面和/或所述栅状金属电极表面镀有一层半...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱斌，李猛，朱益民，王宁会，李铁，唐晓佳，周子皓，郑立彪，
申请(专利权)人：大连海事大学，大连懋源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21