用于自动产生晶片图像到设计的坐标映射的系统、方法及计算机程序产品技术方案

本发明专利技术提供一种用于自动产生晶片图像到设计的坐标映射的系统、方法及计算机程序产品。在使用中，晶片的设计由计算机处理器接收。另外，由所述计算机处理器接收由所述设计制造的晶片的图像。此外，由所述计算机处理器自动产生所述设计与所述图像之间的坐标映射。

System, Method and Computer Program Products for Automatically Generating Chip Image to Design Coordinate Mapping

The invention provides a system, method and computer program product for automatically generating coordinate mapping from wafer image to design. In use, the chip design is received by a computer processor. In addition, the image of the wafer manufactured by the design is received by the computer processor. In addition, the coordinate mapping between the design and the image is automatically generated by the computer processor.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于自动产生晶片图像到设计的坐标映射的系统、方法及计算机程序产品相关申请案本申请案主张2016年6月1日申请的第62/343853号美国临时专利申请案的权益，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及晶片图像处理，且更特定来说，涉及晶片设计到图像的映射。
技术介绍
一般来说，晶片图像处理涉及检验系统，其收集已由特定设计制造的晶片的图像及出于各种目的(例如为检测所述设计及/或所述晶片内的缺陷)处理所述图像。然而，此图像处理通常需要晶片设计与晶片图像之间的坐标映射。仅通过实例的方式，随着晶片特征的尺寸减少，缺陷同样地变得更小。在晶片图像内这些缺陷可归因于其小尺寸而是模糊的且因此难以准确地精确定位。用于图像映射的晶片可允许在设计及/或图像内更准确地定位上文所提及的缺陷。不幸的是，用于产生晶片设计到图像的映射的当前技术易受错误影响。特定来说，这些技术依靠用户在设计与图像之间手动形成关联。现有技术图1说明用户手动形成设计/图像关联的常规方法。如所展示，第一屏幕102显示设计且第二屏幕104显示晶片图像。用户选择(例如通过点击)所显示的设计中的位置及所显示的晶片图像中的位置(如本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种方法，其包括：由计算机处理器接收晶片的设计；由所述计算机处理器接收由所述设计制造的晶片的图像；及由所述计算机处理器在所述设计与所述图像之间自动产生坐标映射。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.01 US 62/343,853;2016.12.01 US 15/367,0761.一种方法，其包括：由计算机处理器接收晶片的设计；由所述计算机处理器接收由所述设计制造的晶片的图像；及由所述计算机处理器在所述设计与所述图像之间自动产生坐标映射。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述晶片的所述设计通过从存储所述设计的计算机存储器检索而接收。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述晶片的所述图像从检验系统接收。4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括由所述计算机处理器在显示装置上的用户接口内显示所述设计及所述图像。5.根据权利要求4所述的方法，其进一步包括由所述计算机处理器通过所述用户接口接收所述设计上的位置的第一用户选择及所述图像上的位置的第二用户选择。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述设计上的所述位置的所述第一用户选择包含所述设计上的两个点。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述图像上的所述位置的所述第二用户选择包含所述图像上的两个点。8.根据权利要求7所述的方法，其中所述设计与所述图像之间的所述坐标映射通过基于所述第一用户选择及所述第二用户选择处理所述设计及所述图像而自动产生。9.根据权利要求8所述的方法，其中由所述计算机处理器在所述设计与所述图像之间自动产生所述坐标映射包含：从所述设计收集对应于所述设计上的所述用户选定位置的设计片段。10.根据权利要求9所述的方法，其中由所述计算机处理器在所述设计与所述图像之间自动产生所述坐标映射进一步包含：基于所述晶片上的所述用户选定位置从所述图像收集跨越所述晶片图像内的多个裸片的多个晶片片块。11.根据权利要求10所述的方法，其中所述晶片上的所述用户选定位置在所述晶片上的第一裸片内，且其中跨越所述晶片图像内的多个裸片的所述多个晶片片块包含：来自由所述用户选择的所述第一裸片上的所述位置的第一组晶片片块，来自与所述第一裸片相同的裸片行内的其它裸片的第二组晶片片块，及来自毗邻具有所述第一裸片的所述裸片行的裸片行内的其它裸片的第三组晶片片块。12.根据权利要求11所述的方法，其中使用与所述第一组晶片片块的图案匹配来识别所述第二组晶片片块及所述第三组晶片片块。13.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·巴塔查里亚，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US