法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法技术

法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层；去除工序，其在形成工序之后，通过蚀刻自牺牲层同时去除二维状地排列的多个去除预定部；切断工序，其在去除工序后，沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。

Fabrication of Fabry-Paro interferometric filters

The fabrication method of Fabry-Paro interferometric filters includes: forming process, forming a first mirror layer with multiple first mirrors, a sacrificial layer with multiple removal predetermined parts, and a second mirror layer with multiple second mirrors, which comprises a portion corresponding to a plurality of two-dimensional arranged substrates and is cut off into a plurality of substrates along each of multiple lines, forming a first mirror layer with multiple first mirrors, a sacrificial layer with multiple removal predetermined parts, and a second mirror layer with multiple second mirrors. The removal process removes several removal predefined parts in two-dimensional arrangement by etching self-sacrificing layer after forming the process, and the cutting process cuts the wafer into multiple substrates along various lines after removing the process.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法
本专利技术涉及一种法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法。
技术介绍
作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、在基板上经由空隙而相互相对的固定镜及可动镜、及划定空隙的中间层的滤光器(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-506154号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述那样的法布里-帕罗干涉滤光器由于为微细的构造体，因而在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，难以提高制造效率及成品率这两者。因此，本专利技术的目的在于，提供一种可提高制造效率及成品率这两者的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法。解决问题的技术手段本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层以1个第1镜部、1个去除预定部、及1个第2镜部自1个基板侧按该顺序配置的方式形成；去除工序，其在形成工序后，通过蚀刻自牺牲层同时去除二维状地排列的多个去除预定部；切断工序，其在去除工序后，沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。在该法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，通过蚀刻自牺牲层去除多个去除预定部的去除工序以晶圆级实施。由此，与该去除工序以各个芯片级实施的情况相比，可效率极其良好地在第1镜部与第2镜部之间形成空隙。而且，由于对二维状地排列的多个去除预定部同时实施牺牲层的蚀刻等，在晶圆内的任意的与基板对应的部分、及包围其的周围的与基板对应的部分同时进行工艺，因而可减少晶圆面内的应力的偏倚。因而，根据该法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，可提高制造效率及成品率这两者。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在形成工序中，形成第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少1层沿着多条线的各个被部分地薄化的第1薄化区域。在沿着各条线将晶圆切断成多个基板的切断工序中，虽然第2镜层中与各第2镜部对应的部分成为浮在空隙上的状态，但由于预先形成有沿着各条线被薄化的第1薄化区域，因而与未形成该第1薄化区域的情况相比，外力难以作用于空隙周边的结构，其结果，可有效地抑制空隙周边的结构破损那样的事态。再者，“第1薄化区域”包括第1镜层、牺牲层、及第2镜层中沿着各条线的部分的全部被去除的区域。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在形成工序中，在晶圆的第2主面形成应力调整层，且形成将应力调整层沿着多条线的各个部分薄化的第2薄化区域。由此，可抑制由第1主面侧与第2主面侧之间的层构成的不一致引起的晶圆的翘曲。再有，由于应力调整层沿着各条线被部分地薄化，因而可在沿着各条线将晶圆切断成多个基板时，抑制在应力调整层产生损坏。再者，“第2薄化区域”包括应力调整层中沿着各条线的部分的全部被去除的区域。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在形成工序中，通过至少将牺牲层及第2镜层中沿着多条线的各个的部分薄化而形成第1薄化区域。由此，可在沿着各条线将晶圆切断成多个基板时，更有效地抑制牺牲层中的空隙周边的部分、及浮在空隙上的第2镜部破损那样的事态。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在形成工序中，在将形成于第1镜层上的牺牲层中沿着多条线的各个的部分薄化后，在牺牲层上形成第2镜层，由此由第2镜层包覆沿着多条线的各个相互相对的牺牲层的侧面。由此，可防止在通过蚀刻自牺牲层去除去除预定部时将牺牲层的侧面的一部分去除。再有，在所制造的法布里-帕罗干涉滤光器中，可防止成为杂散光的光自相当于牺牲层的侧面的中间层的侧面入射。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在切断工序中，通过激光的照射，沿着多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，使龟裂自改质区域在晶圆的厚度方向上伸展，由此沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。由此，与通过刀片切割将晶圆切断成多个基板的情况相比，外力难以作用于空隙周边的结构，因而可更有效地抑制空隙周边的结构破损那样的事态。另外，可防止在实施刀片切割时产生的微粒、刀片切割所使用的冷却洗净水等侵入空隙，从而可防止法布里-帕罗干涉滤光器的特性劣化。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在切断工序中，通过使贴附于晶圆的第2主面侧的扩展胶带扩张，而使龟裂自改质区域沿晶圆的厚度方向伸展。由此，可在具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，抑制因扩展胶带的贴附导致产生损坏。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在切断工序中，在第2主面侧贴附有扩展胶带的状态下，使激光自与扩展胶带相反侧向晶圆入射。由此，可抑制由扩展胶带导致的激光的散射、衰减等，从而可沿着各条线在晶圆的内部可靠地形成改质区域。本专利技术的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，也可在切断工序中，在第2主面侧贴附有扩展胶带的状态下，使激光自扩展胶带侧经由扩展胶带向晶圆入射。由此，例如在自上方照射激光的情况下，即使所产生的微粒通过自身重量而落下，由于扩展胶带作为罩而发挥功能，因而也可抑制这样的微粒附着于第2镜层等。专利技术的效果根据本专利技术，可提供一种可提高制造效率及成品率这两者的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法。附图说明图1是一个实施方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的俯视图。图2是图1的法布里-帕罗干涉滤光器的仰视图。图3是沿着图1的III-III线的法布里-帕罗干涉滤光器的剖视图。图4是于图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法所用的晶圆的俯视图。图5(a)及(b)是用于说明图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法的剖视图。图6(a)及(b)是用于说明图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法的剖视图。图7(a)及(b)是用于说明图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法的剖视图。图8(a)及(b)是用于说明图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法的剖视图。图9(a)及(b)是用于说明图1的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法的剖视图。图10是图1的法布里-帕罗干涉滤光器的变形例的外缘部分的放大剖视图。图11(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的一个例子的图。图12(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的一个例子的图。图13(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的其他例的图。图14(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的其他例的图。图15(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的其他例的图。图16(a)及(b)是用于说明图10的法布里-帕罗干涉滤光器的制造工序的其他例的图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的实施方式详细地进行说明。再者，在各图中对相同或相当的部分标注相同的符号，并省略重复的说明。[法布里-帕罗干涉滤光器的构成]如图1、图2及图3所示，法布里-帕罗干涉滤光器1具备基板11。基板11具有第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个所述基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，以1个所述第1镜部、1个所述去除预定部、及1个所述第2镜部自1个所述基板侧按该顺序配置的方式形成；去除工序，其在所述形成工序之后，通过蚀刻自所述牺牲层同时去除二维状地排列的多个所述去除预定部；切断工序，其在所述去除工序之后，沿着多条所述线的各个将所述晶圆切断成多个所述基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.27 JP 2016-106269;2016.08.24 JP 2016-163941.一种法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个所述基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，以1个所述第1镜部、1个所述去除预定部、及1个所述第2镜部自1个所述基板侧按该顺序配置的方式形成；去除工序，其在所述形成工序之后，通过蚀刻自所述牺牲层同时去除二维状地排列的多个所述去除预定部；切断工序，其在所述去除工序之后，沿着多条所述线的各个将所述晶圆切断成多个所述基板。2.如权利要求1所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，在所述形成工序中，形成所述第1镜层、所述牺牲层、及所述第2镜层的至少1者沿着多条所述线的各个被部分地薄化的第1薄化区域。3.如权利要求2所述的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，在所述形成工序中，在所述晶圆的第2主面形成应力调整层，且形成所述应力调整层沿着多条所述线的各个被部分地薄化的第2薄化区域。4.如权利要求2或3所述的法布里-帕罗干涉滤光...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP