衍射光栅以及分光装置制造方法及图纸

在衍射光栅(2)的照射区域(21)中，包括第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)。在衍射光栅(2)处，第1照射区域(21A)的槽(22)的闪耀波长与第2照射区域(21B)的槽(23)的闪耀波长不同。即，在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间，被分光的光的波长与衍射效率的关系不同。因此，在分光装置中，在衍射光栅(2)的第2照射区域(21B)反射的光中的短波长侧的光不发生衍射，不被检测器接收。于是，在分光装置(1)中，短波长侧的像差得以校正。这样，在衍射光栅(2)处，能够通过以在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间使闪耀波长不同的方式形成槽(22、23)这样的简易的构成来校正像差。

Diffraction grating and spectrometer

In the irradiation region (21) of the diffraction grating (2), the first irradiation region (21A) and the second irradiation region (21B) are included. At the diffraction grating (2), the blazing wavelength of slot (22) in the first irradiation region (21A) is different from that of slot (23) in the second irradiation region (21B). That is to say, between the first irradiation region (21A) and the second irradiation region (21B), the relationship between the wavelength of the splitted light and the diffraction efficiency is different. Therefore, in the spectrometer, the light reflected in the second irradiation area (21B) of the diffraction grating (2) does not diffract at the short wavelength side and is not received by the detector. Thus, in the spectrometer (1), the aberration on the short wavelength side is corrected. Thus, at the diffraction grating (2), aberrations can be corrected by forming grooves (22, 23) with different blazing wavelengths between the first irradiation region (21A) and the second irradiation region (21B).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衍射光栅以及分光装置
本专利技术涉及一种使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光的衍射光栅以及具备该衍射光栅的分光装置。
技术介绍
以往以来，利用具备衍射光栅的分光装置。在分光装置中，向衍射光栅的照射区域照射光。然后，在衍射光栅处，使所照射的光衍射，分光成各个波长的光(例如，参照下述专利文献1)。在这样的分光装置中，一般来说，容易产生各种像差。例如，在分光装置中，容易产生球面像差、彗形像差、像散以及色像差等像差。这些像差是由于光学系统中的构件的形状、光中的各个波长下的折射率的差异等而引起的，会对各个波长的分辨率造成不良影响。在专利文献1所记载的分光装置(分光器)中，在规定条件下制造(曝光)衍射光栅，另外，在规定条件下配置光学系统，从而校正在上述分光装置中产生的像差。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2518505号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在上述以往的分光装置中，用于制造(构成)衍射光栅的条件复杂(受限定)。因此，存在难以通过简易的构成来校正像差这样的不佳状况。本专利技术是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于，提供一种能够通过简易的构成来校正像差的衍射光栅以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衍射光栅，其使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光，所述衍射光栅的特征在于，在所述照射区域形成有使光衍射的多个槽，关于所述多个槽中的至少一部分的槽，衍射效率达到峰值的波长即闪耀波长与其他槽不同。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种衍射光栅，其使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光，所述衍射光栅的特征在于，在所述照射区域形成有使光衍射的多个槽，关于所述多个槽中的至少一部分的槽，衍射效率达到峰值的波长即闪耀波长与其他槽不同。2.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述多个槽中的位于所述照射区域的中心部的槽的闪耀波长小于位于外侧的槽的闪耀波长。3.根据权利要求2所述的衍射光栅，其特征在于，所述多个槽中的位于光的分散方向的中心部的槽的闪耀波长小于位于所述分散方向的外侧的槽的闪耀波长。4.根据权利要求2所述的衍射光栅，其特征在于，所述多个槽中的位于与光的分散方向正交的非分散方向的中心部的槽的闪耀波长小于位于所述非分散方向的外侧的槽的闪耀波长。5.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述至少一部分的槽的深度与其他槽的深度不同，由此，在所述至少一部分的槽与其他槽之间，闪耀波长不同。6.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述照射区域由凹面...

【专利技术属性】
技术研发人员：笹井浩行，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP