隔膜泵制造技术

提供一种能够提高流体的输送的喷出精度且抑制制造成本的隔膜泵。隔膜泵具备具有电机的驱动装置以及控制装置。所述控制装置能够检测所述电机的第一失步状态。所述控制装置配置为，使所述驱动装置动作以使隔膜或可动部件向前移动或向后移动直至与壳体或静止部件抵接为止，从而使所述电机变为第一失步状态。所述控制装置在检测到所述电机的第一失步状态的情况下，将在所述隔膜的往返移动方向上从所述隔膜或所述可动部件与对应的所述壳体或所述静止部件的抵靠位置隔开规定距离的位置重新设定为所述原点位置，所述控制装置能够在重新设定所述原点位置后使所述驱动装置动作，以使所述隔膜向前移动或向后移动至所述原点位置。

Diaphragm pump

A diaphragm pump capable of improving the ejection accuracy of fluid delivery and restraining the manufacturing cost is provided. The diaphragm pump has a drive device and a control device with a motor. The control device can detect the first out-of-step state of the motor. The control device is configured to make the driving device move so that the diaphragm or movable part moves forward or backward until it is connected with the housing or the stationary part, thereby turning the motor into the first out-of-step state. When the first out-of-step state of the motor is detected, the control device resets the position of the specified distance between the diaphragm or the movable part and the corresponding housing or the stationary part in the direction of the reciprocating movement of the diaphragm to the origin position, and the control device can reset the origin position after resetting the origin position. The driving device operates to move the diaphragm forward or backward to the origin position.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】隔膜泵
本专利技术涉及一种隔膜泵。
技术介绍
作为用于输送药液等流体的容积式往复泵，已知隔膜泵(例如，参照专利文献1)。在要求流体的输送具有高喷出精度时，例如制造半导体、液晶、有机EL、太阳能电池、LED时，经常使用所述隔膜泵。这种隔膜泵具有壳体、隔膜、驱动装置以及检测装置。所述隔膜配置为在所述壳体内形成有泵室，而且，能够以原点位置为基准进行往返移动以使所述泵室的容积变化。所述驱动装置构成为能够使所述隔膜往返移动。所述检测装置构成为检测所述隔膜的原点位置(活塞的基准位置)。另外，基于所述检测装置的检测结果来进行关于所述隔膜的原点复位，以确保喷出精度。然而，根据所述隔膜泵，由于将所述检测装置检测到的原点位置作为活塞的基准位置，因此，根据所述检测装置的安装精度、所述壳体的加工精度，在各产品之间喷出精度有可能会略微不同。另外，由于需要准备所述检测装置并设置于所述壳体等，因此导致所述隔膜泵的制造成本增加。现有技术专利文献专利文献1：日本特开2007-23935号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种提高流体的输送的喷出精度且能够抑制制造成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种隔膜泵，用于输送流体，其中，所述隔膜泵具有：壳体，容纳静止部件；隔膜，配置为在所述壳体内形成泵室，并且，能够以原点位置为基准进行往返移动以使所述泵室的容积变化；驱动装置，具有作为驱动源的电机以及与所述隔膜联动的可动部件，能够使所述隔膜往返移动；以及控制装置，用于控制所述驱动装置，以使所述隔膜向前移动或者向后移动，能够检测所述电机的第一失步状态，所述控制装置构成为，为了使所述电机变为第一失步状态，使所述驱动装置动作以使所述隔膜或所述可动部件向前移动或向后移动直至与所述壳体或所述静止部件抵接为止，在检测到所述电机的第一失步状态的情况下，将在所述隔膜的往返移动方向上的从所述隔膜或所述可动部件...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.04 JP 2016-1324191.一种隔膜泵，用于输送流体，其中，所述隔膜泵具有：壳体，容纳静止部件；隔膜，配置为在所述壳体内形成泵室，并且，能够以原点位置为基准进行往返移动以使所述泵室的容积变化；驱动装置，具有作为驱动源的电机以及与所述隔膜联动的可动部件，能够使所述隔膜往返移动；以及控制装置，用于控制所述驱动装置，以使所述隔膜向前移动或者向后移动，能够检测所述电机的第一失步状态，所述控制装置构成为，为了使所述电机变为第一失步状态，使所述驱动装置动作以使所述隔膜或所述可动部件向前移动或向后移动直至与所述壳体或所述静止部件抵接为止，在检测到所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：手岛一清，山田直人，成尾元彰，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP