清洁系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种清洁系统。本公开内容的实施方式大体上涉及清洁基板，尤其是，涉及用于清洁工艺的终点检测的方法和装置。所述装置包括外部清洁槽、衬里和耦接至所述衬里的循环系统。所述循环系统包括用于将颗粒从流体中移除的过滤器。液体颗粒计数器流体耦接至所述衬里中的流体以用于进行颗粒计数。还描述了使用所述装置的方法。

【技术实现步骤摘要】
清洁系统本申请是申请日为2017年04月28日、申请号为201720466579.X、技术名称为“清洁系统”的技术专利申请的分案申请。
本公开内容的实施方式大体上涉及清洁基板，尤其是，涉及用于清洁工艺的终点检测的方法和装置。
技术介绍
在半导体基板处理中，特征结构尺寸和线宽越来越小的趋势引起了在具有更高精度的半导体基板上进行掩模、蚀刻和沉积材料的能力的重视。由于半导体特征结构减小，因此器件结构变得更加脆弱。同时，由如果在清洁步骤期间未被移除则会使器件丧失功能的最小杂散颗粒定义的致命的缺陷尺寸变得更小且更难从表面移除。因此，减小设备损坏是清洁工艺面对的主要问题之一。所以，这种特征结构尺寸越来越小的趋势引起了对半导体制造工艺，包括在这些工艺中使用的腔室组成部件，的清洁度的重视。目前，依赖于颗粒计数来确定清洁工艺的终点的清洁工艺需要在组成部件清洁工艺期间进行脱线(off-line)实验室分析。这要求操作者停止清洁工艺，并人工取出清洁工艺中使用的清洁溶液的样本。接着，该样本被送到实验室进行分析。或者，部件本身可以从清洁溶液中移除，并传送至远程位置以进行颗粒探测。这些人工密集工艺不仅带来了处理时间的显著增加，而且增加了其中移除了部件的工具的停机时间。工具停机时间的增加导致相应持有成本(CoO)的增加。因此，需要一种用于清洁腔室组成部件的装置和方法以减少用于腔室维修和清洁的停机时间。
技术实现思路
在一个实施方式中，清洁系统包括：外部槽；衬里，所述衬里设置在所述外部槽内用于保持流体；循环系统，所述循环系统耦接至所述槽以使所述衬里中的所述流体循环，所述循环系统包括过滤器，所述过滤器用于将颗粒从所述流体中移除；以及液体颗粒计数器，所述液体颗粒计数器与所述流体连通。此外，所述衬里可包括聚丙烯、聚乙烯或聚二氟乙烯。另外，所述外部槽可包括不锈钢。另外，所述外部槽可包括有涂层的金属。所述金属可为铝，所述涂层可为乙烯-四氟乙烯。此外，所述清洁系统可进一步包括换能器，所述换能器放置在所述外部槽和所述衬里之间用于搅动(agitate)包含在所述外部槽和所述衬里内的溶液。此外，所述清洁系统可进一步包括换能器，所述换能器放置在所述外部槽和所述衬里外部用于搅动包含在所述外部槽和所述衬里内的溶液，所述换能器放置在所述外部槽的底部下方。所述清洁系统可进一步包括耦接至所述外部槽的垂直壁的一个或多个附加的换能器。所述换能器可产生超声或兆声频率的振动。在另一个实施方式中，清洁系统包括：外部槽；衬里，所述衬里设置在所述外部槽内用于保持流体；循环系统，所述循环系统耦接至所述槽以使所述衬里中的所述流体循环，所述循环系统包括第一液体颗粒计数器和过滤器；以及第二液体颗粒计数器，所述第二液体颗粒计数器与所述衬里流体连通。此外，所述第一液体颗粒计数器和所述第二液体颗粒计数器可均包括光源和光电探测器。另外，所述清洁系统可进一步包括支撑件，所述支撑件放置在所述外部槽和所述衬里之间以用于支撑所述衬里。此外，所述清洁系统可进一步包括泵，所述泵将来自所述衬里的内部的流体输送至所述第二液体颗粒计数器。另外，所述衬里可包括聚丙烯、聚乙烯或聚二氟乙烯。此外，所述外部槽可包括不锈钢。另外，所述外部槽可包括有涂层的金属。所述有涂层的金属可为铝，所述涂层可为乙烯-四氟乙烯。此外，所述清洁系统可进一步包括换能器，所述换能器放置在所述外部槽和所述衬里之间用于搅动包含在所述外部槽和所述衬里内的溶液。此外，所述清洁系统可进一步包括：换能器，所述换能器放置在所述外部槽和所述衬里外部用于搅动包含在所述外部槽和所述衬里内的溶液，所述换能器放置在所述外部槽的底部下方；以及一个或多个附加的换能器，所述附加的换能器耦接至所述外部槽的垂直壁。在又另一个实施方式中，清洁系统包括：外部槽，所述外部槽包括不锈钢；衬里，所述衬里设置在所述外部槽内用于保持流体，所述衬里包括聚丙烯、聚乙烯或聚二氟乙烯；循环系统，所述循环系统耦接至所述槽用于使所述衬里中的所述流体循环，所述循环系统包括第一泵和用于将颗粒从所述流体中移除的过滤器：液体颗粒计数器，所述液体颗粒计数器与所述衬里的内部连通；以及第二泵，所述第二泵设置在所述液体颗粒计数器的下游以使来自所述衬里的所述内部的流体移动通过所述液体颗粒计数器。附图说明为了能够详细的理解本公开内容上述记载的特征，可参照实施方式获得上文简要概括的本公开内容的更特定的描述，一些实施方式绘示于附图中。然而，需要注意的是附图仅仅绘示示例性实施方式，因此，附图不应被视为对本公开内容的范围的限制，并且本公开内容可以允许其他同等效力的实施方式。图1A是根据本公开内容的一个方面的清洁系统的示意图。图1B是根据本公开内容的一个方面的清洁系统的示意图。图2是根据本公开内容的一个方面示出在清洁工艺期间的颗粒计数的曲线图。为了利于理解，尽可能使用了相同的附图标记以指代各图共用的相同元件。应考虑到的是，一个实施方式的元件和特征可以有利的并入到其他实施方式中，而无需另外说明。具体实施方式本公开内容的实施方式大体上涉及清洁基板，尤其是，涉及用于清洁工艺的终点检测的方法和装置。所述装置包括外部清洁槽、衬里和耦接至所述衬里的循环系统。所述循环系统包括用于将颗粒从流体中移除的过滤器。流体颗粒计数器流体耦接至所述衬里中的流体以用于进行颗粒计数。还描述了使用所述装置的方法。图1A是根据本公开内容的一个方面的清洁系统100A的示意图。清洁系统100A包括围绕衬里104的外部清洁槽102。换能器106放置在外部清洁槽102的下部中。可选支撑件108放置在换能器106上以支撑衬里104并且将衬里104和换能器106间隔开。选择性地，支撑件108可放置成使得衬里104搁置在外部清洁槽102的内表面上，因此，衬里104不接触换能器106。工件支撑件110放置在衬里104内，从而利于在清洁作业期间支撑工件112。外部清洁槽102和衬里104每一个可以为圆形、椭圆形、多边形、正方形、矩形、或任意其他合适的形状以用于分别容纳流体114a、114b。在一个实施方式中，衬里104可由诸如聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚二氟乙烯(PVDF)之类的材料制造而成，而外部清洁槽102可由不锈钢或有涂层的金属(例如，具有乙烯-四氟乙烯(ETFE)涂层的铝)形成。也考虑到其他不受清洁化学品侵害且不会产生大量微粒的材料。为了减少交叉污染，可根据位于衬里104中的工件112的材料而移除并替换衬里104。在一个实例中，包含在外部清洁槽102和衬里104的每一个中的流体114a和114b是去离子水。应考虑到的是，包含在外部清洁槽102和衬里104的每一个中的流体114a和114b可以是其他流体，例如，一种或多种溶剂、诸如标准清洁1(SC1)之类的清洁溶液、选择性沉积物去除试剂(SDR)、表面活性剂、酸类、碱类或任意其他有助于将污染物和/或微粒从组成部件移除的化学品。换能器106被配置为提供超声或兆声能量至流体114a、114b，从而利于工件112的清洁。可例如使用压电致动器或任意其他能够生成所需振幅的超声或兆声频率的振动的合适机构来实现换能器106。换能器106可以是所示的单一换能器，或可以是换能器阵列，所述换能器阵列被定向为将超声能量导向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洁系统，其特征在于，包括：外部槽；衬里，所述衬里设置在所述外部槽内用于保持流体；循环系统，所述循环系统被配置为使所述衬里中的所述流体循环，所述循环系统包括：第一液体颗粒计数器；过滤器，所述过滤器设置在所述第一液体颗粒计数器的下游；以及第一管道，所述第一管道将所述过滤器和所述第一液体颗粒计数器串联地流体耦接至所述衬里；第二液体颗粒计数器；以及第二管道，所述第二管道被配置为将容纳在所述衬里中的所述流体提供至所述第二液体颗粒计数器。

【技术特征摘要】
2016.05.13 US 62/336,253;2016.06.10 US 62/348,529;1.一种清洁系统，其特征在于，包括：外部槽；衬里，所述衬里设置在所述外部槽内用于保持流体；循环系统，所述循环系统被配置为使所述衬里中的所述流体循环，所述循环系统包括：第一液体颗粒计数器；过滤器，所述过滤器设置在所述第一液体颗粒计数器的下游；以及第一管道，所述第一管道将所述过滤器和所述第一液体颗粒计数器串联地流体耦接至所述衬里；第二液体颗粒计数器；以及第二管道，所述第二管道被配置为将容纳在所述衬里中的所述流体提供至所述第二液体颗粒计数器。2.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述第一液体颗粒计数器和所述第二液体颗粒计数器连接至不同的泵。3.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于进一步包括：支撑件，所述支撑件将所述衬里和所述外部槽间隔开，所述外部槽保持所述衬里与所述外部槽之间的流体。4.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于进一步包括：换能器，所述换能器放置在所述外部槽与所述衬里之间而被配置为搅动保持在所述外部槽内的所述流体。5.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述衬里由聚丙烯、聚乙烯或聚二氟乙烯构成。6.根据权利要求5所述的清洁系统，其特征在于，所述外部槽由不锈钢或有涂层的金属构成。7.根据权利要求6所述的清洁系统，其特征在于，所述有...

【专利技术属性】
技术研发人员：建生·王，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：美国,US