一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法技术

本发明专利技术公开了一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法，其中，米量级反射镜自动化柔性装校平台包括底座和可转动地安装在底座上部的转台，转台包括装配面板和顶升板，在装配面板上沿顶升板的周向穿设有能够靠近或远离顶升板的定位销，在顶升板的上表面设置有柔性洁净垫，在装配面板的两侧均设置有锁螺丝组件。采用本发明专利技术提供的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法，不仅解决了米量级反射镜的自动化柔性批量装校的问题，避免了人工干预引入的洁净问题，大大提高了装校效率，还使反射镜各处的预紧力均匀，减小了反射的波前误差，提高反射镜的装校质量和稳定性，同时可以推广应用到其他精密光学元件的装校工艺上。

An Automatic Flexible Alignment Platform and Method for Metric Mirror

The invention discloses an automatic flexible calibration platform and method for a meter-scale mirror, in which the automatic flexible calibration platform for a meter-scale mirror includes a base and a turntable rotatably mounted on the upper part of the base, and the turntable includes an assembly panel and a jack-up plate. A positioning pin which can be close to or far from the jack-up plate is inserted along the circumference of the assembly panel, and the jack-up plate is mounted on the platform. The upper surface is provided with a flexible cleaning pad, and the locking screw assembly is arranged on both sides of the assembly panel. The automatic flexible calibration platform and method of the meter-scale mirror provided by the invention not only solves the problem of automatic flexible batch calibration of the meter-scale mirror, avoids the problem of cleanliness introduced by manual intervention, greatly improves the efficiency of calibration, but also makes the pre-tightening force of the mirror uniform, reduces the wavefront error of reflection, and improves the quality of the mirror installation and calibration. At the same time, it can be applied to the calibration process of other precision optical elements.

【技术实现步骤摘要】
一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法
本专利技术属于米量级光学元件精密装校
，具体涉及一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法。
技术介绍
在高功率固体激光器中，以美国NIF大型激光装置为例，为了在实验室内创造发生聚变所需的极端高温高压环境，该类型装置由数百束高能固体激光经过长达数百米的光路后精准地射向直径为几毫米的靶球上，每束高能激光到达靶心的时间偏差小于60ps，打靶误差低于50μm。如此高的精度要求要靠每条光路中上成千上万块精密光学元件同时来保证，其中，传输反射镜主要是为了将高能激光束引导靶球，具有位置调整、对准方向和光程匹配等关键功能，其面形精度会直接影响激光的光束质量(波前误差)和靶心的能量密度。目前，高功率固体激光装置中的反射镜的夹持工艺主要以背支撑、周向夹持等工艺为主，我国高功率固体激光装置中的反射镜装校工艺主要以周向夹持工艺为主。为了实现米量级的反射镜的夹持附加波前误差控制在1/3波长内且具备良好的稳定性，对反射镜周向近100余颗预紧螺钉的预紧工艺提出了较高的要求。目前主要依靠人工预紧，存在预紧力不均匀等问题，导致面型控制较差，装校工艺一致性较差且效本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，包括底座(1)和可转动地安装在底座(1)上部的转台(2)，其特征在于：所述转台(2)包括位于底座(1)上方且可相对底座(1)转动的装配面板(201)以及可升降地设置在装配面板(201)中心位置的顶升板(202)，在所述装配面板(201)上沿顶升板(202)的周向穿设有能够靠近或远离顶升板(202)的定位销(203)，在所述顶升板(202)的上表面设置有柔性洁净垫(3)，在所述装配面板(201)的两侧均设置有锁螺丝组件(4)。

【技术特征摘要】
1.一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，包括底座(1)和可转动地安装在底座(1)上部的转台(2)，其特征在于：所述转台(2)包括位于底座(1)上方且可相对底座(1)转动的装配面板(201)以及可升降地设置在装配面板(201)中心位置的顶升板(202)，在所述装配面板(201)上沿顶升板(202)的周向穿设有能够靠近或远离顶升板(202)的定位销(203)，在所述顶升板(202)的上表面设置有柔性洁净垫(3)，在所述装配面板(201)的两侧均设置有锁螺丝组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，其特征在于：在所述装配面板(201)的下方平行设置有转动基板(204)和顶升母版(205)，所述顶升母版(205)位于装配面板(201)和转动基板(204)之间，并通过内侧支撑杆(206)与顶升板(202)固定连接，所述装配面板(201)通过外侧支撑杆(207)与装配面板(201)固定连接，在所述转动基板(204)的下部设置有升降动力装置(208)和转动动力机构(209)，所述升降动力装置(208)穿过转动基板(204)后与顶升母版(205)连接，所述顶升母版(205)和顶升板(202)能够在升降动力装置(208)的带动下同步升降，所述转动动力机构(209)与转动基板(204)连接，所述装配面板(201)、转动基板(204)和顶升母版(205)能够在转动动力机构(209)的带动下同步转动。3.根据权利要求2所述的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，其特征在于：在所述顶升母版(205)通过至少两根升降导向杆(210)可上下滑动地安装在转动基板(204)上，各根升降导向杆(210)的上端均与顶升母版(205)固定连接，在所述转动基板(204)上设置有可滑动地套装在对应升降导向杆(210)上的无尘导向滑套(211)。4.根据权利要求3所述的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，其特征在于：所述无尘导向滑套(211)包括呈圆筒形的滑套安装筒(211a)，在该滑套安装筒(211a)的内腔中安装有至少一个与水平滑动导杆(210)滑动配合的滑套基体(211b)，在所述滑套安装筒(211a)的两端均安装有除尘加长环(211c)，在所述滑套安装筒(211a)和除尘加长环(211c)上均安装有与各自内腔连通的排尘进气口(211d)，在所述除尘加长环(211c)远离滑套安装筒(211a)的一侧端面上盖有密封盖板(211e)，各个密封盖板(211e)与对应除尘加长环(211c)之间设置有密封圈(211f)。5.根据权利要求2所述的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，其特征在于：所述转动动力机构(209)包括转动动力电机(209a)和减速机(209b)，所述转动动力电机(209a)通过减速机(209b)带动转动基板(204)转动，所述升降动力装置(208)为升降动力电缸，该升降动力电缸的活塞杆依次穿过减速机(209...

【专利技术属性】
技术研发人员：全旭松，曹庭分，何坤，徐旭，何川，张尽力，刘长春，陈海平，罗欢，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，江苏西顿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51