The invention discloses an error compensation system and method for isosceles trapezoidal prism of laser rotary scanning optical device, including theodolite, reflector and several optical wedges, in which the isosceles trapezoidal prism to be compensated is located between the reflector and theodolite, and the optical wedges are located on one or both sides of the isosceles trapezoidal prism to be compensated. The system and method can realize the error compensation of isosceles trapezoidal prism. It has the characteristics of high compensation accuracy, good stability, short production cycle, high output, low cost and can be applied to batch industrial applications.
【技术实现步骤摘要】
激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统及方法
本专利技术属于激光微孔加工领域，涉及一种激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统及方法。
技术介绍
激光微孔加工的一种重要实现方式是把激光器出射的光束通过等腰梯形棱镜的变换，结合精密机械旋转运动，引导激光会聚点按照规定轨迹对材料发生作用，从而实现对工件的高精度微孔加工。随着工业技术的发展，如汽车排放标准的提高、电子产品的高密度集成等，对激光微孔加工提出了更高的要求，需要孔径更小，精度更高，而影响微孔加工精度的一个核心问题就是等腰梯形棱镜的加工精度，它是影响微孔加工最小孔径、孔径精度及孔型质量的关键因素，从而对等腰梯形棱镜的加工精度提高到一个苛刻的程度，常规的光学机床加工已很难满足精度要求，大多通过高级光学技师手工磨制。另外，光学机床精度直接决定了光学元件的加工精度，只能通过工装、工艺做有限的提高，而要达到接近无误差的理想等腰梯形棱镜状态基本不可能。手工磨制等腰梯形棱镜虽然可以达到很高的精度，但是稳定性差、周期长、产量低、价格贵，不适合批量化的工业应用。因此需要开发出一种新的能够实现等腰梯形棱镜误差补偿的系统及方法...
【技术保护点】
1.一种激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，其特征在于，包括经纬仪(1)、反射镜(4)及若干光楔(3)，其中，待补偿等腰梯形棱镜(2)位于反射镜(4)与经纬仪(1)之间，各光楔(3)位于待补偿等腰梯形棱镜(2)的一侧或者两侧。
【技术特征摘要】
1.一种激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，其特征在于，包括经纬仪(1)、反射镜(4)及若干光楔(3)，其中，待补偿等腰梯形棱镜(2)位于反射镜(4)与经纬仪(1)之间，各光楔(3)位于待补偿等腰梯形棱镜(2)的一侧或者两侧。2.根据权利要求1所述的激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，其特征在于，光楔(3)的数量为两块，两块光楔(3)分别为位于经纬仪(1)与待补偿等腰梯形棱镜(2)之间以及待补偿等腰梯形棱镜(2)与反射镜(4)之间。3.根据权利要求1所述的激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，其特征在于，光楔(3)的数量为两块，两块光楔(3)均位于经纬仪(1)与待补偿等腰梯形棱镜(2)之间或者待补偿等腰梯形棱镜(2)与反射镜(4)之间。4.根据权利要求1所述的激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，其特征在于，所述光楔(3)的数目为三块，三块光楔(3)组成光学补偿单元，所述光学补偿单元位于经纬仪(1)与待补偿等腰梯形棱镜(2)之间或者待补偿等腰梯形棱镜(2)与反射镜(4)之间。5.一种激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿方法，其特征在于，基于权利要求2或3所述的激光旋扫光学器件等腰梯形棱镜的误差补偿系统，包括以下步骤：选取任一光楔(3)为调节光楔，再沿该光楔(3)的光轴旋转该光楔(3)，同时通过经纬仪(1)观察待补偿等腰梯形棱镜(2)与两个光楔(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员：种洪涛，李望望，贺磊，
申请(专利权)人：西安脉科莱斯光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。