具有减少的破裂的机械手子组件、终端受动器组件及方法技术

一种机械手子组件包括陶瓷或玻璃终端受动器的横摆、纵倾和/或垂直方位的调整能力。所述机械手子组件包括机械手部件、耦接至机械手部件的安装板、及耦接至安装板的易碎陶瓷或玻璃终端受动器，其中安装板包括相对于机械手部件的可调整方位。揭露调整机械手部件与终端受动器之间的方位的方法以及数种其他方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有减少的破裂的机械手子组件、终端受动器组件及方法相关申请本申请要求享有于2016年5月5日申请的名称为“ROBOTSUBASSEMBLIES,ENDEFFECTORASSEMBLIES,ANDMETHODSWITHREDUCEDCRACKING(具有减少的破裂的机械手子组件、终端受动器组件及方法)”的印度专利申请第201641015705号(代理案号23944IN/CHC)，以及于2016年8月1日申请的名称为“ROBOTSUBASSEMBLIES,ENDEFFECTORASSEMBLIES,ANDMETHODSWITHREDUCEDCRACKING(具有减少的破裂的机械手子组件、终端受动器组件及方法)”的美国专利申请第15/225,394号(代理案号23944USA/CHC)的优先权和权益，在此为了所有目的通过引用将它们的公开内容整体并入本文。
本公开内容涉及电子装置的制造，且更特定而言，涉及可调整的机械终端受动器组件及用于调整易碎的陶瓷或玻璃终端受动器的方位的方法。
技术介绍
在电子装置、产品及存储器制品的制造中，这些半导体晶片(例如基板-图案化的和非图案化的)的前体制品可通过一个或更多个机械手设备而传输于工具的各种腔室之中。举例而言，可从一个处理腔室传输至传送腔室内、从装载锁定室传输至处理腔室或从基板载具传输至工厂接口中的装载口。在这样的机械传输期间，基板置于耦接至机械手的臂部件的机械终端受动器上。举例而言，在现有技术的机械手中，终端受动器可耦接至机械手的可移动部件，诸如机械手腕部。在一些情况中，终端受动器由氧化铝材料制成，以便承受可能存在于操作环境中的高温及腐蚀性环境暴露。然而，现有的氧化铝终端受动器(或称为“叶片”)可能倾向于相对高的损坏率。因此，需要具有减小的损坏倾向的终端受动器设备、系统及方法。
技术实现思路
根据第一方面，提供一种机械手子组件。所述机械手子组件包括：机械手部件；耦接至机械手部件的安装板，其中安装板包括相对于机械手部件的可调整方位；及耦接至安装板的陶瓷或玻璃终端受动器。在另一方面中，提供一种终端受动器组件。所述终端受动器组件包括安装板，所述安装板被配置成能调整地耦接至机械手部件；终端受动器，所述终端受动器耦接至安装板；及方位调整构件，所述方位调整构件在机械手部件与安装板之间提供方位调整能力。在又另一方面中，提供一种调整陶瓷或玻璃终端受动器的方位的方法。所述方法包括：提供机械手部件、能调整地耦接至机械手部件的安装板和耦接至安装板的陶瓷或玻璃终端受动器；及通过调整机械手部件与安装板之间的一个或更多个间隙而相对于机械手部件调整陶瓷或玻璃终端受动器的横摆(roll)方位、纵倾(pitch)方位及垂直方位中的一个或更多个。根据本公开内容的这些及其他实施方式提供数种其他方面。本公开内容的实施方式的其他特征及方面将从以下描述、随附权利要求书及附图而变得完全显而易见。附图说明图1A图示根据现有技术的耦接至机械手腕部的陶瓷或玻璃终端受动器的等距视图。图1B图示根据现有技术的被图示为耦接至机械手腕部的陶瓷或玻璃终端受动器的一部分的部分侧视截面图。图1C图示根据现有技术的被图示为耦接至机械手腕部且使用垫片调整方位的陶瓷或玻璃终端受动器的一部分的部分截面视图。图2A图示根据一个或更多个实施方式的机械手子组件的等距视图。图2B图示根据一个或更多个实施方式的沿着图2A的截线2B-2B截取的机械手子组件的部分侧视截面图。图2C图示根据一个或更多个实施方式的用于附接终端受动器的附接组件的部分侧视截面图。图2D图示根据一个或更多个实施方式的在机械手部件与安装板之间包括用于方位调整的垫片的机械手子组件的部分侧视截面图。图2E图示根据一个或更多个实施方式的包括用于方位调整的垫片且在安装板的终端受动器附接表面上进一步包括倾斜表面的机械手子组件的部分侧视截面图。图2F图示根据一个或更多个实施方式的包括用于方位调整的垫片且在安装板的机械手部件附接表面上进一步包括倾斜表面的机械手子组件的部分侧视截面图。图3A图示根据一个或更多个实施方式的包括设定及锁定调整机构的机械手子组件的部分侧视截面图，其示出设定元件。图3B图示根据一个或更多个实施方式的包括设定及锁定调整机构的机械手子组件的侧视截面图，其示出锁定元件。图3C图示根据一个或更多个实施方式的示出设定及锁定调整机构的设定及锁定元件的可能位置的机械手子组件的等距视图。图4图示根据一个或更多个实施方式的机械手子组件的等距视图。图5图示根据一个或更多个实施方式的调整终端受动器的方位的方法的流程图。具体实施方式电子装置制造处理制备各种前体制品以生产最终电子装置(例如计算机芯片)，这些前体制品诸如图案化及非图案化的半导体晶片、玻璃板、掩模(本文将所有这些前体制品称为“基板”或“多个基板”)。在执行一个或更多个处理的制造工具中从一个位置传输这些基板至另一位置期间，基板可由终端受动器(有时称为“叶片”)承载。在传输期间基板置于终端受动器上。由于制造容限及容限累积，作为校准过程的一部分，有时在使用之前将先调整终端受动器的方位，以确保终端受动器关于各种处理腔室和/或装载锁定腔室的适当方位。特别地，方位调整可包括横摆调整、纵倾调整、垂直调整或这些调整的结合。在现有技术的终端受动器组件100中，如图1A至图1C中所示，可通过使用一个或更多个垫片101(诸如垫圈)在终端受动器102与机械手腕部104之间提供调整能力来执行方位调整，一个或更多个垫片101插入终端受动器102与机械手腕部104之间。若垫片101用于调整终端受动器102的横摆、纵倾或垂直方位中的一个或更多个，诸如图1C中所示，则可能发生屈曲且弯曲应力可能施加至终端受动器102的一个或更多个部分上。在材料非常易碎的陶瓷或玻璃终端受动器的情况中，此举可造成非所欲的应力，从而导致被施加最高弯曲应力的区域中的破裂，诸如在紧固件106A、106B之间的区域一105，或甚至在紧固件106B外侧的区域二107中。其他区域亦可能易于破裂。本文所使用的陶瓷意指通过在高温下焙烧非金属矿物制成的硬的、易碎、耐热且耐腐蚀材料。本文所使用的玻璃意指通过融化纯的二氧化硅形成的能承受高温的透明或半透明的玻璃状固体。用于终端受动器的玻璃可由熔融石英或熔融二氧化硅制成。本公开内容的实施方式可减少或消除此种陶瓷或玻璃终端受动器破裂，同时仍允许横摆方位调整、纵倾方位调整或垂直方位调整中的一个或更多个。因此，根据第一方面，一个或更多个实施方式提供机械手子组件，包括机械手部件(诸如机械手腕部)、耦接至机械手部件的安装板、及固定地耦接至安装板的陶瓷或玻璃终端受动器，其中安装板包括相对于机械手部件的可调整方位。可调整方位可提供于安装板与机械手部件(例如腕部)之间，其中两个构件均可为具有相对高延展性和/或弹性的金属，且因此呈现承受弯曲应力而不会破裂或破损的能力。在改良的机械手子组件中，陶瓷或玻璃终端受动器严格地夹持在安装板和附接组件的互相平行的表面之间，使得陶瓷或玻璃终端受动器实质上主要受到压缩应力，压缩应力较不易于造成陶瓷或玻璃终端受动器的破裂。以下参照图2A至图5描述终端受动器组件、机械手子组件的这些及其他实施方式以及调整终端受动器的方位的方法，其中全篇使用类似本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手子组件，包含：机械手部件；耦接至所述机械手部件的安装板，其中所述安装板包括相对于所述机械手部件的可调整方位；及耦接至所述安装板的陶瓷或玻璃终端受动器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.05 IN 201641015705;2016.08.01 US 15/225,391.一种机械手子组件，包含：机械手部件；耦接至所述机械手部件的安装板，其中所述安装板包括相对于所述机械手部件的可调整方位；及耦接至所述安装板的陶瓷或玻璃终端受动器。2.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述陶瓷或玻璃终端受动器通过附接组件固定地附接至所述安装板，所述附接组件包括：附接板，及耦接于所述安装板与所述附接板之间的紧固件。3.如权利要求2所述的机械手子组件，其中所述安装板的所述可调整方位通过一个或更多个垫片而提供，所述一个或更多个垫片位于所述安装板与所述机械手部件之间。4.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述陶瓷或玻璃终端受动器包含氧化铝。5.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述机械手部件包含最外侧的机械手部件。6.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述机械手部件包含机械手腕部。7.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述机械手部件包含横梁，所述横梁上设置有多个机械手腕部。8.如权利要求1所述的机械手子组件，其中所述可调整方位通过设定及锁定...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉贾·库玛·塔努，达蒙·K·考克斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US