线圈组件及其制造方法技术

本发明专利技术提供了线圈组件及其制造方法。所述线圈组件包括磁性主体以及设置在所述磁性主体的外表面上的外电极。所述磁性主体包括：支撑构件，包括通孔和通路孔；线圈，设置在所述支撑构件的至少一个表面上；以及磁性材料，填充所述通孔并包封线圈和支撑构件。第一导电层设置在所述支撑构件的所述至少一个表面以及形成在所述支撑构件中的所述通路孔的侧表面上。所述通路孔填充有设置在所述第一导电层上的第二导电层的一部分。

Coil assembly and its manufacturing method

The invention provides a coil assembly and a manufacturing method thereof. The coil assembly comprises a magnetic body and an external electrode arranged on the external surface of the magnetic body. The magnetic body comprises a support member, including a through hole and a path hole; a coil, which is arranged on at least one surface of the support member; and a magnetic material, which fills the through hole and encapsulates the coil and the support member. The first conductive layer is disposed on at least one surface of the support member and on the side surface of the access hole formed in the support member. The path hole is filled with a part of a second conductive layer arranged on the first conductive layer.

【技术实现步骤摘要】
线圈组件及其制造方法本申请基于并要求于2017年6月28日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0081569号韩国专利申请的优先权的权益，该韩国专利申请的全部公开通过引用包含于此。
本公开涉及一种线圈组件及其制造方法，更具体地，涉及薄膜型功率电感器及其制造方法。
技术介绍
由于诸如智能手机和平板个人电脑(PC)的移动装置的高性能化趋势，已经提高了应用处理器(AP)的速度，同时显示器也已经变得更大，操作双核AP或四核AP所消耗的电力的量也已增加。因此，可能需要主要用于直流-直流(DC-DC)转换器中或噪声滤波器中的薄膜型电感器具有高电感和低直流电阻(Rdc)。此外，随着信息技术(IT)的技术进步，正在加速推进各种电子装置的小型化和薄型化，因此，用于电子装置中的薄膜型电感器也需要变薄。在小型化薄膜型电感器时需要保持减小线圈的宽度和增加其高度的趋势以增加线圈的高宽比。在这方面，还强调了连接线圈的过孔的问题。
技术实现思路
本公开的一方面可提供线圈组件和制造该线圈组件的方法，所述线圈组件可通过改善上线圈和下线圈的连接结构来增加具有高的高宽比的线圈的可靠性，同时简化制造工艺。根据本公开的一方面，线圈组件可包括：磁性主体，形成所述线圈组件的外部；以及外电极，设置在所述磁性主体的外表面上。所述磁性主体可包括：支撑构件，包括通孔和通路孔；线圈，设置在所述支撑构件的至少一个表面上；以及磁性材料，填充所述通孔并包封所述支撑构件和所述线圈。所述线圈可包括第一导电层和设置在所述第一导电层上的第二导电层。所述第一导电层可连续地设置在所述支撑构件的所述至少一个表面以及形成在所述支撑构件中的所述通路孔的侧表面上。所述第二导电层可包括设置在所述通路孔内的中心镀层以及设置在所述中心镀层上方和下方的线圈层。所述中心镀层可与所述线圈层一体地形成为单个结构。根据本公开的另一方面，一种用于制造线圈组件的方法可包括：提供支撑构件；在所述支撑构件中形成通路孔；当在所述支撑构件的至少一个表面上存在导电材料层时，去除所述导电材料层；在所述支撑构件的所述至少一个表面和所述通路孔的侧表面上形成第一导电层；在所述第一导电层的暴露表面上形成绝缘图案，所述绝缘图案具有在所述支撑构件的厚度方向上的多个开口；通过利用导电材料填充所述多个开口来形成第二导电层；去除所述绝缘图案；使用磁性材料形成磁性主体，所述磁性材料包封所述第二导电层和所述支撑构件；以及在所述磁性主体的外表面上形成外电极，所述外电极连接到所述第二导电层。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其它方面、特征以及优点将被更清楚地理解，在附图中：图1是根据示例性实施例的线圈组件的示意性透视图；图2是沿图1的I-I'线截取的示意性截面图；图3是图2的修改的示意性截面图；图4是图2的另一修改的示意性剖视图；以及图5A至图5K是根据另一示例性实施例的用于制造线圈组件的方法的示意性截面图。具体实施方式在下文中，将参照附图描述本公开的实施例。然而，可以以许多不同的形式说明本公开，并且本公开不应被解释为局限于这里阐述的特定实施例。确切地说，提供这些实施例使得本公开将是彻底的和完整的，并且将把公开的范围充分传达给本领域技术人员。在整个说明书中，将理解的是，当诸如层、区域或晶片(基板)的元件被称为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，该元件可直接“在”所述另一元件“上”、“直接连接到”所述另一元件或“直接结合到”所述另一元件，或者可存在置于其间的其它元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可以不存在置于其间的其它元件或层。同样的标号始终指示同样的元件。如这里使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项中的任意组合和全部组合。将明显的是，虽然可在这里使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种构件、组件、区域、层和/或部分，但是这些构件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例性实施例的教导的情况下，下面讨论的第一构件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分可被称为第二构件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。为了易于描述，可在这里使用诸如“在……上方”、“上部”、“在……下方”以及“下部”等的空间相关术语来描述如附图中示出的一个元件相对于其它元件的关系。将理解的是，除了附图中描绘的方位之外，空间相对术语还意图包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则相对于其它元件被描述为“上方”或“上部”的元件将随后被定位为相对于其它元件或特征的“下方”或“下部”。因此，术语“在……上方”可根据附图的具体方向方位包含“在……上方”和“在……下方”两种方位。装置可被另外定位(旋转90度或在其它方位)，并且可以相应地解释这里使用的空间相对描述语。这里使用的术语仅描述具体实施例，并且本公开不受限于此。如这里所使用的，除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式也意图包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包含”时，说明存在所陈述的特征、整数、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组，但不排除存在或添加一个或更多个其它特征、整数、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组。在下文中，将参照示出了本公开的实施例的示意图来描述本公开的实施例。在附图中，例如，由于制造技术和/或公差，可以估计示出的形状的修改。因此，本公开的实施例不应被解释为局限于这里示出的区域的具体形状，而是例如将包括因制造导致的形状的改变。下面的实施例也可以被单独地构成，或者作为它们中的几个或所有的组合构成。下面描述的本公开的内容可以具有各种构造，并仅在这里提出了需要的构造，但是本公开不限于此。在下文中，描述根据示例性实施例的线圈组件及其制造方法。然而，本公开不限于此。线圈组件图1是根据本公开的示例性实施例的线圈组件100的示意性透视图。参照图1，线圈组件100可包括磁性主体1以及设置在磁性主体1的外表面上的第一外电极21和第二外电极22。磁性主体1可形成线圈组件100的总体外部，磁性主体1可具有在厚度方向T上彼此相对的上表面和下表面、在长度方向L上彼此相对的第一端表面和第二端表面以及在宽度方向W上彼此相对的第一侧表面和第二侧表面，并且可具有大体上六面体形状。然而，本公开不限于此。磁性主体1可包括具有磁性性质的磁性材料11。例如，磁性材料可通过在树脂中掺入铁氧体或磁性金属颗粒来形成。磁性金属颗粒可包括例如从由铁(Fe)、硅(Si)、铬(Cr)、铝(Al)和镍(Ni)组成的组中选择的至少一种。除了磁性材料11之外，磁性主体1还可包括利用磁性材料11包封的支撑构件12和线圈13。设置在磁性主体1的外表面上的第一外电极21和第二外电极22可连接到设置在磁性主体1中的线圈13的引出部。图1示出了均具有“C”形状的第一外电极21和第二外电极22，但是第一外电极21和第二外电极22的详细结构和形状不受此具体限制。例如，第一外电极21和第二外电极22中的每个可具有不延伸到磁性主体1的上表面上的“L”形状，或者可以是仅设置在磁性主体1的下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线圈组件，所述线圈组件包括：磁性主体，所述磁性主体包括：支撑构件，包括通孔和通路孔；线圈，设置在所述支撑构件的至少一个表面上，所述线圈包括第一导电层和设置在所述第一导电层上的第二导电层；以及磁性材料，填充所述通孔并包封所述支撑构件、所述第一导电层和所述第二导电层；以及外电极，设置在所述磁性主体的外表面上，所述外电极连接到所述线圈，其中，所述第一导电层连续地设置在所述支撑构件的所述至少一个表面以及所述通路孔的侧表面上，所述第二导电层包括设置在所述通路孔内的中心镀层以及设置在所述中心镀层上方和下方的线圈层，所述中心镀层与所述线圈层一体地形成为单个结构。

【技术特征摘要】
2017.06.28 KR 10-2017-00815691.一种线圈组件，所述线圈组件包括：磁性主体，所述磁性主体包括：支撑构件，包括通孔和通路孔；线圈，设置在所述支撑构件的至少一个表面上，所述线圈包括第一导电层和设置在所述第一导电层上的第二导电层；以及磁性材料，填充所述通孔并包封所述支撑构件、所述第一导电层和所述第二导电层；以及外电极，设置在所述磁性主体的外表面上，所述外电极连接到所述线圈，其中，所述第一导电层连续地设置在所述支撑构件的所述至少一个表面以及所述通路孔的侧表面上，所述第二导电层包括设置在所述通路孔内的中心镀层以及设置在所述中心镀层上方和下方的线圈层，所述中心镀层与所述线圈层一体地形成为单个结构。2.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，所述中心镀层与所述线圈层在它们之间不具有界面。3.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，所述第一导电层的设置在所述支撑构件的所述至少一个表面上的部分的平均厚度与所述第一导电层的设置在所述通路孔的所述侧表面上的另一部分的平均厚度之差为500nm或更小，并且所述第一导电层的总平均厚度为1μm或更小。4.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，设置在所述支撑构件的所述至少一个表面上的所述第一导电层的上表面的宽度与设置在所述第一导电层上的所述第二导电层的下表面的宽度相同。5.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，所述第二导电层的所述线圈层包括多个层，所述多个层包括各向同性镀层和各向异性镀层的组合。6.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，所述第一导电层包括铝、钛、镍和钨中的至少一种。7.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，在所述第一导电层的侧表面上以及所述第二导电层的所述线圈层的侧表面、上表面或下表面上还设置有绝缘膜。8.根据权利要求7所述的线圈组件，其中，所述绝缘膜具有1μm或更小的平均厚度。9.根据权利要求1所述的线圈组件，其中，所述通路孔的...

【专利技术属性】
技术研发人员：奉康昱，文炳喆，金范锡，张振赫，柳正杰，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR