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一种DUV宽光谱无胶起偏器制造技术

技术编号:19962564 阅读:55 留言:0更新日期:2019-01-03 11:59
本发明专利技术涉及一种DUV宽光谱无胶起偏器,包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层;所述BBO晶体按一定角度切割,并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面,两片BBO的光轴相互平行;所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。本发明专利技术可工作于波长220nm‑1000nm之间,偏振光消光比大于30dB。

A DUV Wide Spectrum Non-glue Polarizer

The present invention relates to a DUV wide spectrum non-glue polarizer, which comprises a first BBO crystal, a second BBO crystal and an intermediate refractive index layer arranged at the joint of two BBO crystals. The BBO crystal is cut at a certain angle, and the optical axis of the BBO crystal is parallel to the incident optical surface, and the optical axes of the two BBOs are parallel to each other; the intermediate refractive index layer is photoglued with two BBO crystals, respectively. The invention can work between 220 nm and 1000 nm, and the extinction ratio of polarized light is greater than 30 dB.

【技术实现步骤摘要】
一种DUV宽光谱无胶起偏器
本专利技术涉及起偏器设计领域,特别是一种DUV宽光谱无胶起偏器。
技术介绍
随着现代光学技术的发展,各种各样的偏光器件应用越来越多,常见的偏光器件有格兰-汤姆逊,格兰-泰勒,格兰-激光,玻璃型及塑料基的偏光器件,玻璃型及塑料器件消光比差,对高功率激光及紫外光的抵抗能力差,而格兰棱镜通常采用的晶体材料有YVO4或天然冰洲石组成,虽然可以工作在很宽的波长范围内如400nm-2000nm之间,但由于材料特性,在紫外波段小于350nm以下透光性能差,限制其不能应用于紫外波段,虽然也有基于BBO材料的格兰棱镜,但通常只能达到紫外很小一段波长范围内,未见可以使用在220nm-1000nm范围的格兰棱镜。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的是提出一种DUV宽光谱无胶起偏器,可工作于波长220nm-1000nm之间,偏振光消光比大于30dB。本专利技术采用以下方案实现:一种DUV宽光谱无胶起偏器,包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层;所述BBO晶体按一定角度切割,并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面,两片BBO的光轴相互平行;本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种DUV宽光谱无胶起偏器,其特征在于:包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层;所述BBO晶体按一定角度切割,并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面,两片BBO的光轴相互平行;所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。

【技术特征摘要】
1.一种DUV宽光谱无胶起偏器,其特征在于:包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层;所述BBO晶体按一定角度切割,并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面,两片BBO的光轴相互平行;所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。2.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器,其特征在于:所述中间折射率层采用SiO2材料、Mgf2材料或熔石英玻璃材料,其透光波段为215nm-2000nm。3.根据权利要求2所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器,其特征在于:所述中间折射率层为SiO2膜层或Mgf2膜层。4.根据权利要求2所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器,其特征在于:所述中间折射率层采用深紫外透过性能好的熔石英玻璃层,透光波段从215nm-2000nm;所述熔石英玻璃层的厚度为1-10000um。5.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:张妹玉
申请(专利权)人:闽江学院
类型:发明
国别省市:福建,35

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