毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法，制备方法在线栅制备装置中进行，第一叶片和第二叶片上的上表面沿各自的长度方向设置有多个沿宽度方向贯穿且规格相同的凹槽，第一叶片和第二叶片上的凹槽一一对应；制备方法包括：1)将多根金属丝分别顺次穿过第一叶片和第二叶片上相对应的两个凹槽并拉直；2)转动第一叶片和第二叶片；3)测量相邻两个凹槽的距离和第一叶片与第二叶片的夹角；4)计算出相邻两根金属丝之间的垂直距离为z·sin[(180°‑δ)/2]；5)装配至线栅偏振片金属框架上。该制备方法在保障线栅结构参数的情况下，能有效降低制造线栅的工艺难度，降低线栅的损耗。

Fabrication of millimeter wave terahertz line grating polarizer

The invention discloses a preparation method of millimeter-wave terahertz wave linear grating polarizer, which is carried out in a wire grating preparation device. The upper surface of the first blade and the second blade is provided with a plurality of grooves which run through the width direction and have the same specifications along their respective length directions, and the grooves on the first blade and the second blade correspond one to one; the preparation method includes: 1) multiple metal wires are arranged; Two grooves corresponding to the first and second blades are passed and straightened in sequence; 2) the first and second blades are rotated; 3) the distance between the two adjacent grooves and the angle between the first and second blades are measured; 4) the vertical distance between the two adjacent wires is calculated to be Z. sin [(180 / 2]; 5) assembled on the metal frame of the linear grid polarizer. Under the condition of guaranteeing the structural parameters of wire grids, the preparation method can effectively reduce the technological difficulty of manufacturing wire grids and the loss of wire grids.

【技术实现步骤摘要】
毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法
本专利技术涉及毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法。
技术介绍
目前最常用的太赫兹偏振片是由等间距排列的金属线制成的线栅。极化线栅是毫米波太赫兹波准光学链路中的核心器件之一，它主要用于电磁波的极化和分离作用，可广泛应用于毫米波和太赫兹波偏振测量系统、太赫兹成像系统、全极化辐射计定标源和激光器等。当电场经过线栅，投影到金属线方向的电场会被吸收或者反射。由于线栅的直径远小于波长，垂直于线栅方向的电场将会透射。因此，理想情况下经线栅透射的电场是与线栅方向垂直的线偏振电场。线栅的消光比主要取决于金属线的宽度(或直径)、金属材料的复折射率以及金属线的周期。随着系统采用电磁波频率的提高，所需线栅直径和线栅周期逐渐减小，达到微米量级，这给利用传统技术制备线栅带来了很大的困难，制作过程中要保证每条金属线之间的间距相同比较困难，所以成本较高，且重复性相对较差。为了解决这个问题，人们专利技术了利用光刻和金属膜制备工艺相结合，在一定厚度的高阻硅片衬底上沉积一定厚度的金属薄膜，制备出具有基底材料的偏振片。该方法保证了样品之间的重复性，但基底的存在会损耗一部分透射的电场能量，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法，其特征在于，制备方法在线栅制备装置中进行，线栅制备装置包括端部相互铰接的第一叶片(1)和第二叶片(2)，第一叶片(1)和第二叶片(2)上的上表面沿各自的长度方向设置有多个沿宽度方向贯穿且规格相同的凹槽，第一叶片(1)和第二叶片(2)上的凹槽一一对应；其中，制备方法包括：1)将多根金属丝(4)分别顺次穿过第一叶片(1)和第二叶片(2)上相对应的两个凹槽，每根金属丝(4)的两端均连接有牵引机构以拉直对应的金属丝(4)；2)转动第一叶片(1)和第二叶片(2)以改变第一叶片(1)和第二叶片(2)之间的夹角从而改变相邻两根金属丝(4)之间的垂直距离；3)测量第...

【技术特征摘要】
1.一种毫米波太赫兹波线栅偏振片的制备方法，其特征在于，制备方法在线栅制备装置中进行，线栅制备装置包括端部相互铰接的第一叶片(1)和第二叶片(2)，第一叶片(1)和第二叶片(2)上的上表面沿各自的长度方向设置有多个沿宽度方向贯穿且规格相同的凹槽，第一叶片(1)和第二叶片(2)上的凹槽一一对应；其中，制备方法包括：1)将多根金属丝(4)分别顺次穿过第一叶片(1)和第二叶片(2)上相对应的两个凹槽，每根金属丝(4)的两端均连接有牵引机构以拉直对应的金属丝(4)；2)转动第一叶片(1)和第二叶片(2)以改变第一叶片(1)和第二叶片(2)之间的夹角从而改变相邻两根金属丝(4)之间的垂直距离；3)测量第一叶片(1)或第二叶片(2)上相邻两个凹槽的中心线间的距离以及第一叶片(1)与第二叶片(2)之间形成的夹角；4)计算出相邻两根金属丝(4)之间的垂直距离为z·sin[(180°-δ)/2]以确定相邻两根金属丝(4)之间的垂直距离是否满足设计要求；其中，z为相邻两个凹槽的中心线间的距离，δ为第一叶片(1)与第二叶片(2)之间形成的夹角；5)当步骤4)中相邻两根金属丝(4)之间的垂直距离满足设计需求后，将线栅固定框架放到多根金属丝(4)的下方并通过固定胶与金属丝(4)粘接固定，待金属丝(4)位于线栅固定框架固定后装配至线栅偏振片金属框架(5)上。2.根据权利要求1所述的制备毫米波太赫兹波线栅偏振片的方法，其特征在于，在步骤1)中牵引机构牵...

【专利技术属性】
技术研发人员：席洪柱，贺兆昌，荣双全，邓清东，刘岩，郭萌，
申请(专利权)人：安徽华东光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34