一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果显示方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果的显示方法，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述测试平台不涉及复杂的电机控制，而且利用吸力控制测试片与电极的接触电阻，测量更加精确。该微区电阻率测量装置运用伪测量值法进行测量，同时与手机APP相结合，测量简单方便，更加智能化。一种硅片微区电阻率结果的显示方法，可以更直观形象的显示出待测试片电阻率的均匀性，从而判断待测试片是否符合工业要求。

A Micro-Area Resistivity Measuring Device Based on Pseudo-Measurement Method and Its Results Display Method

The invention relates to a micro-area resistivity measurement device based on pseudo-measurement value method and a display method of the results. The device comprises a box, a control system module, a communication module, a sealed door, a test platform column, a test platform, a suction pipe, a motor, a fan blade, a wood plug, a ventilation duct, a test slot, an electrode, an aspiration hole and a liquid crystal display screen. The test platform does not involve complex motor control, and uses suction to control the contact resistance between the test piece and the electrode, so that the measurement is more accurate. The micro-area resistivity measurement device uses pseudo-measurement method to measure, and combines with mobile phone APP. The measurement is simple, convenient and more intelligent. A method for displaying the resistivity results of silicon wafer micro-area can visually display the uniformity of resistivity of the wafer to be tested, and thus judge whether the wafer to be tested meets the industrial requirements.

【技术实现步骤摘要】
一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果显示方法
本专利技术涉及半导体测量装置
，具体涉及一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果显示方法。
技术介绍
以集成电路为基础的电子信息产业已成为世界第一大产业。以单晶硅为衬底的集成电路集成度越来越高。硅片材料的直径越来越大，同时图形不断微细化，电路尺寸日益缩小，这些都对晶体材料的机械性质、电学性质等提出了更为严格的要求。开展对半导体材料的电阻率分布的测试研究，特别是对微区的电特性及其均匀性的研究，具有重要的理论及现实意义。目前，测量半导体电阻率装置多如参考文献[1]所示，采用四探针法，四探针法属于接触测量方法，具有耗时，污染测试硅片，精度低，测量时间长的优点。另一种则如参考文献[2]所述，采用EIT测量方法。EIT测量方法的测量精度不高，测量装置电极移动过于复杂，影响最终的测量结果。对于测量的最后结果，即薄层电阻率的分布可以由不同的形式来表示，其最终目的是让人一目了然，容易理解，便于日后做深层次的分析研究。其中，利用离散的思想将大量的数据显示在坐标或平面上，以图像结合数值的显示方式，是一种非常好的方法。现有的测量结果表示方法主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置，其特征在于，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述箱体上部设置一密封门，箱体底部内表面固定一测试平台柱；在所述测试平台柱上固定一测试平台；在所述测试平台承载面上设置若干个测试槽，该测试槽为圆形；在所述测试槽上均匀固定若干数量的电极，该电极贯通测试平台，并且电极上端需比测试槽面高出一部分；在所述测试平台中部横截面的中心呈发射状散开一些通风道，所述通风道不与电极发生接触；在所述测试槽面上均匀分布若干吸气孔，吸气孔与通风道贯通，用于吸附电极与待测试片，使...

【技术特征摘要】
1.一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置，其特征在于，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述箱体上部设置一密封门，箱体底部内表面固定一测试平台柱；在所述测试平台柱上固定一测试平台；在所述测试平台承载面上设置若干个测试槽，该测试槽为圆形；在所述测试槽上均匀固定若干数量的电极，该电极贯通测试平台，并且电极上端需比测试槽面高出一部分；在所述测试平台中部横截面的中心呈发射状散开一些通风道，所述通风道不与电极发生接触；在所述测试槽面上均匀分布若干吸气孔，吸气孔与通风道贯通，用于吸附电极与待测试片，使其接触良好；在所述测试平台柱的中空处嵌入一吸气管，使密封性良好；在所述吸气管底部固定一电机，驱动扇叶转动，产生气流；所述扇叶与电机连接，固定在电机上方；在测试平台侧面的通气道口均匀分布若干数量的木塞，将通气道堵塞，木塞的数量与通风道的数量相等；通信模块、液晶显示屏、电机、电极均与控制系统模块电连接，控制系统模块通过通信模块控制电机的转速及电极的激励大小，并通过液晶显示屏显示测量的结果分布，通信模块与用户移动端的APP进行通信连接。2.根据权利要求1所述的一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置，其特征在于所述电极在不同尺寸的所述测试槽上分布的数量分别为8、16、32个。3.根据权利要求1所述的一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置，其特征在于所述通风道为16条。4.根据权利要求1所述的一种基于伪测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘新福，王梦丹，李倩文，
申请(专利权)人：河北工业大学，
类型：发明
国别省市：天津,12