用于喷淋臂调试的定位工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于喷淋臂调试的定位工装，包括：基台，同心安装在旋转卡盘上并随所述旋转卡盘一起转动，所述基台用于确定至少一个喷淋臂的初始高度；对正圆心部件，安装在所述基台顶面的几何中心，所述对正圆心部件用于确定所述至少一个喷淋臂的喷嘴头的移动路径经过所述旋转卡盘的中心；以及起喷位部件，安装在所述基台的边缘，用于确定所述至少一个喷淋臂的起喷位。通过根据本实用新型专利技术的用于喷淋臂调试的定位工装，可提高喷淋臂调试时间及精度，有效地减少人员的重复劳动，可使多腔室同一位置的喷淋臂的物理工作参数一致，对机台的整体工作表现带来积极影响。

【技术实现步骤摘要】
用于喷淋臂调试的定位工装
本技术涉及半导体单片清洗
，具体地，涉及用于喷淋臂调试的定位工装。
技术介绍
当前，在半导体单片清洗机设备出厂前需要对腔室中机械部件进行定位调试，对于八腔室标准清洗机而言，要求八个腔室的各机械工艺参数一致，这就需要调试人员耗费大量精力在统一各腔室参数上。尤其在喷淋臂的调试上更是费时费力，因为它的可变参数较多，与主旋转轴之间还存在制约关系，因此急需一种简易工装来帮助调试人员进行喷淋臂的高效定位调试。公开于本技术
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的一般
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
为了解决半导体单片清洗机中喷淋臂的调试全靠人眼观察配合手动调节，费时费力且定位准确度差的问题，本技术提出了一种用于喷淋臂调试的定位工装。所述用于喷淋臂调试的定位工装包括：基台，同心安装在旋转卡盘上并随所述旋转卡盘一起转动，所述基台用于确定至少一个喷淋臂的初始高度；对正圆心部件，安装在所述基台顶面的几何中心，所述对正圆心部件用于确定所述至少一个喷淋臂的喷嘴头的移动路径经过所述旋转卡盘的中心；以及起喷位部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于喷淋臂调试的定位工装，其特征在于，包括：基台，同心安装在旋转卡盘上并随所述旋转卡盘一起转动，所述基台用于确定至少一个喷淋臂的初始高度；对正圆心部件，安装在所述基台顶面的几何中心，所述对正圆心部件用于确定所述至少一个喷淋臂的喷嘴头的移动路径经过所述旋转卡盘的中心；以及起喷位部件，安装在所述基台的边缘，用于确定所述至少一个喷淋臂的起喷位。

【技术特征摘要】
1.一种用于喷淋臂调试的定位工装，其特征在于，包括：基台，同心安装在旋转卡盘上并随所述旋转卡盘一起转动，所述基台用于确定至少一个喷淋臂的初始高度；对正圆心部件，安装在所述基台顶面的几何中心，所述对正圆心部件用于确定所述至少一个喷淋臂的喷嘴头的移动路径经过所述旋转卡盘的中心；以及起喷位部件，安装在所述基台的边缘，用于确定所述至少一个喷淋臂的起喷位。2.根据权利要求1所述的用于喷淋臂调试...

【专利技术属性】
技术研发人员：许璐，张凇铭，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11