一种四探针电阻率测试仪校准模块制造技术

本实用新型专利技术提供了一种四探针电阻率测试仪校准模块，包括一电压表以及一四探针电阻率测试仪、一七档电阻模块、一七档旋转开关以及一DB9接口公头；所述电压表和七档旋转开关均与所述七档电阻模块相连接；所述七档旋转开关和四探针电阻率测试仪均与所述DB9接口公头相连接。本实用新型专利技术的优点在于：降低了校准装置的成本，与标准样片相比，更易于保存、运输，更容易溯源到上一级标准，具有较好的溯源性。

【技术实现步骤摘要】
一种四探针电阻率测试仪校准模块
本技术涉及一种校准模块，特别指一种四探针电阻率测试仪校准模块。
技术介绍
电阻率是半导体材料中一个很重要的性能指标，通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等信息。硅片材料的电阻率是太阳电池光电性能的重要参考指标，是太阳电池反向击穿电压、反向漏流以及正向压降、最大输出电流等参数的重要影响因子。对于硅晶体生产单位和使用硅晶体制造器件的企业，电阻率是硅片检测过程中工作量最大的检测参数，是硅片贸易合同中必定出现的检测参数。因为它将直接影响到生产出来的器件性能，但采用以前抽检的方法测量电阻率已远远无法满足产量及品质要求。目前，国内外通常采用的是直流四探针测试法，虽然各家电阻率测试厂家是参照标准进行设备的设计，但是测试结果仍然有差异，为了探讨电阻率测试结果存在差异的原因，急需开展对光伏用硅片电阻率量值溯源方法的研究。经检索，如申请日为2012.09.28，申请号为201220500218.X的中国技术专利公开了一种检定四探针电阻率测试仪的装置，该装置包括四探针电阻率测试仪和标准电阻箱，通过四探针电阻率测试仪对标准电阻箱的测试来达到检定的目的。但是该装置存在有如本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种四探针电阻率测试仪校准模块，包括一电压表以及一四探针电阻率测试仪，其特征在于：所述校准模块还包括一七档电阻模块、一七档旋转开关以及一DB9接口公头；所述电压表和七档旋转开关均与所述七档电阻模块相连接；所述七档旋转开关和四探针电阻率测试仪均与所述DB9接口公头相连接。

【技术特征摘要】
1.一种四探针电阻率测试仪校准模块，包括一电压表以及一四探针电阻率测试仪，其特征在于：所述校准模块还包括一七档电阻模块、一七档旋转开关以及一DB9接口公头；所述电压表和七档旋转开关均与所述七档电阻模块相连接；所述七档旋转开关和四探针电阻率测试仪均与所述DB9接口公头相连接。2.如权利要求1所述的四探针电阻率测试仪校准模块，其特征在于：所述七档电阻模块包括一第一档电阻、一第二档电阻、一第三档电阻、一第四档电阻、一第五档电阻、一第六档电阻以及一第七档电阻；所述第一档电阻、第二档电阻、第三档电阻、第四档电阻、第五档电阻、第六档电阻以及第七档电阻均为四端电阻，每所述四端电阻均由至少2个电阻串并联组成；所述第一档...

【专利技术属性】
技术研发人员：张煌辉，罗海燕，魏鹏，杨爱军，黎健生，李杰，刘燕红，陈彩云，何翔，
申请(专利权)人：福建省计量科学研究院福建省眼镜质量检验站，
类型：新型
国别省市：福建,35