一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的宽频带、高灵敏度声传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种声传感器，具体是一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的声传感器，包括封闭腔体，放在封闭腔体正上方的多个薄膜，位于封闭腔体内部的直波导和环形谐振腔。多个薄膜用于隔离外界环境，传导声波，形成封闭腔体，使得声波引起封闭腔体内气体体积发生变化，从而引起气体密度的变化，进而引起腔内气体折射率的改变。而封闭腔体内的气体是作为波导耦合谐振腔结构的包层存在，波导耦合谐振腔结构在包层密度发生变化时，其谐振频率会发生飘移，以此来检测外部声波。该传感器由于使用波导耦合谐振腔结构，以声波致腔内全反射的气体介质折射率的变化为检测原理，其声探测频带宽、灵敏度高，适用于水下声信号的检测、工业环境中的过程控制和医疗诊断等领域。

【技术实现步骤摘要】
一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的宽频带、高灵敏度声传感器
本专利技术涉及声传感器，具体为一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的宽频带、高灵敏度声传感器。
技术介绍
声传感器是能够感受声波并转换成可用输出信号的传感器。传统的声传感器主要以薄膜或压电材料为敏感结构，通过机械振动来采集声信号，这种声传感器受运动部件的影响，频带只集中在运动部件的共振频率处，使得传感器的频带较窄；基于可移动部件的检测原理，本征的检测灵敏度不高，而且，传统的结构还易受外界环境的影响易产生较严重的噪声，信噪比较低，传感器的灵敏度低。随着新一代工业技术及信息技术的发展，对声信号检测频域上的带宽及其灵敏度都提出了更高的要求，超宽频带高灵敏度声信号测试技术是探测、成像、侦察等测试装备的发展需求。超宽频带高灵敏度声传感器件，可以获取更多的信息，实现更加精准、快速的目标识别、分析和参数设定，在军民应用领域都有着广阔的市场前景。因此，基于新原理、新方法的超宽频带、高灵敏度声传感器成为了重要发展方向。基于声波-光信号转换原理的声信号测试技术，相比传统的基于各种声传感器件的声信号测试技术，具有优异的抗电磁干扰、宽的频带响应范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的宽频带、高灵敏度声传感器，其特征在于：包括窄线宽可调谐激光器（1）、光隔离器（2）、电光调制器（3）、封闭腔体（5）、在封闭腔体正上方用于透声的多个封装薄膜（4）、位于封闭腔体内部的直波导（6）和环形谐振腔（8）耦合结构、用于光反射介质的封装在封闭腔体（5）内的气体（7）、光电探测器（9）、信号调制解调模块（10）、低通滤波器模块（11）和比例积分微分反馈控制模块（12），窄线宽可调谐激光器（1）、光隔离器（2）、电光调制器（3）依次连接，由电光调制器（3）输出的光波与直波导（6）甩出封闭腔体（5）的一端光纤相连，直波导（6）甩出封闭腔体（5）的另一端光...

【技术特征摘要】
1.一种多薄膜封装式波导耦合谐振腔结构的宽频带、高灵敏度声传感器，其特征在于：包括窄线宽可调谐激光器（1）、光隔离器（2）、电光调制器（3）、封闭腔体（5）、在封闭腔体正上方用于透声的多个封装薄膜（4）、位于封闭腔体内部的直波导（6）和环形谐振腔（8）耦合结构、用于光反射介质的封装在封闭腔体（5）内的气体（7）、光电探测器（9）、信号调制解调模块（10）、低通滤波器模块（11）和比例积分微分反馈控制模块（12），窄线宽可调谐激光器（1）、光隔离器（2）、电光调制器（3）依次连接，由电光调制器（3）输出的光波与直波导（6）甩出封闭腔体（5）的一端光纤相连，直波导（6）甩出封闭腔体（5）的另一端光纤输出光波...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永秋，薛晨阳，张文栋，陈晨，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西,14